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LITHOGRAPHY-STEPPER / MZ-27562

i線ステッパー NSR-SF155株式会社ニコン

投影レンズを吊るすスカイフック構造で振動の影響を抑えます。

2026年10月28日確認

仕様

向いている所：大口径ウエハーの量産露光

工程・基板の区分
前工程のウエハー用
露光波長
i線365nm
解像力
≦280nm
露光領域
26×33mm
重ね合せ精度
≦25nm、SMO
対応基板寸法
200mm・300mm
価格
—公式資料で確認できず
縮小比
1:4
開口数NA
0.62
焦点深度
—公式資料で確認できず
機能・⁠⁠⁠条件
スカイフック構造、ウエハステージ高速化

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

SMOは自己重ね精度。解像力・重ね合わせ精度のオプション条件は仕様欄のとおり。

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出典（2026年10月28日確認）

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