分割投影露光装置 UX-5894SCウシオ電機株式会社

仕様

向いている所：パッケージ基板の大面積露光

工程・基板の区分

パネル基板用

露光波長

i線

解像力

5µm L/S

露光領域

250×250mm

重ね合せ精度

—公式資料で確認できず

対応基板寸法

510×515mm

価格

—公式資料で確認できず

縮小比

—公式資料で確認できず

開口数NA

—公式資料で確認できず

焦点深度

—公式資料で確認できず

機能・⁠⁠⁠条件

オートスケール機能、最大0.1%自動変倍

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

UX-5シリーズの型式別仕様表による。重ね合せ精度の数値は掲載ページに記載なし。シリーズ共通の焦点深度は型式別の値と分け、仕様欄には転記していません。

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