ステッパー PPS-8500株式会社オーク製作所

仕様

向いている所：反り・伸縮のあるパネル露光

工程・基板の区分

パネル基板用

露光波長

ghi線、gh線、i線、レシピ連動

解像力

2.0µm L/S、レジスト厚2.0µm

露光領域

52×33mm

重ね合せ精度

≦1.0µm、Ave+3σ

対応基板寸法

最大510×515mm

価格

—公式資料で確認できず

縮小比

1:1

開口数NA

0.16・0.1可変

焦点深度

—公式資料で確認できず

機能・⁠⁠⁠条件

反り基板の吸着搬送、オートフォーカス

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

公表値の評価条件をメーカーに確認してから他社と比較します。

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