i線ステッパー FPA-5520iV LF2オプションキヤノン株式会社

仕様

向いている所：大型・高密度配線パッケージ

工程・基板の区分

後工程のウエハー用

露光波長

i線365nm

解像力

≦0.8µm

露光領域

52×68mm

重ね合せ精度

≦0.10µm

対応基板寸法

300mm

価格

—公式資料で確認できず

縮小比

1:2

開口数NA

0.24〜0.12、自動可変

焦点深度

—公式資料で確認できず

機能・⁠⁠⁠条件

繋ぎ露光で100×100mm

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

LF2オプション構成の値です。基本機・HR・LFの仕様とは区別しています。100×100mmは繋ぎ露光時で、単一ショットの画角ではありません。

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