i線ステッパー NSR-2205iL1株式会社ニコン

仕様

向いている所：既存のi線設備の置き換え

工程・基板の区分

前工程のウエハー用

露光波長

i線365nm

解像力

≦350nm、オプション適用時

露光領域

22×22mm

重ね合せ精度

≦70nm、SMO、オプション適用時

対応基板寸法

150mm・200mm

価格

—公式資料で確認できず

縮小比

1:5

開口数NA

0.45

焦点深度

—公式資料で確認できず

機能・⁠⁠⁠条件

既存i線装置との互換性

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

SMOは自己重ね精度。解像力・重ね合わせ精度のオプション条件は仕様欄のとおり。

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