Question 1

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexはどんな人に向いている？

Accepted Answer

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは、金型のような重い物をナノで測る人向けです。3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは、ステージが最大600mm動き、30kgまで載る大型の白色干渉顕微鏡です。

Question 2

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの強みは？

Accepted Answer

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは、金型のような重い物も、精密部品と同じ機械で測れます。分解能は0.01nmで、独自のDEAPで高速に測ります。

Question 3

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexはどんな方式？

Accepted Answer

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの種類は大型ステージ型です。大きく重い部品を載せられる型です。

Question 4

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの主な仕様は？

Accepted Answer

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの測り方は白色干渉（DEAP）、垂直分解能は0.01nmです。ステージは電動XY、最大600mm、載せられる重さは30kgです。

Question 5

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexと白色干渉計搭載レーザ顕微鏡 VK-X4000はどっちがいい？

Accepted Answer

金型のような重い物をナノで測るなら3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex、素材に合わせて測り方を変えるならキーエンスの白色干渉計搭載レーザ顕微鏡 VK-X4000です。3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの測り方は白色干渉（DEAP）、垂直分解能は0.01nmです。キーエンスの白色干渉計搭載レーザ顕微鏡 VK-X4000の測り方はレーザ共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉、ステージは大型XY電動、300mmです。

Question 6

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの特長は？

Accepted Answer

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの特長は透明多層膜の測定、高速カメラです。キーエンスの白色干渉計搭載レーザ顕微鏡 VK-X4000の特長は白色干渉5倍レンズで視野を従来の4倍です。

Question 7

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexと白色光干渉計搭載画像測定機 QVWLI HYPER 404 Proはどっちがいい？

Accepted Answer

金型のような重い物をナノで測るなら3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex、寸法と微細な3D形状を1台でならミツトヨの白色光干渉計搭載画像測定機 QVWLI HYPER 404 Proです。3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexの測り方は白色干渉（DEAP）、垂直分解能は0.01nmです。ミツトヨの白色光干渉計搭載画像測定機 QVWLI HYPER 404 Proの測り方は白色干渉と画像測定、ステージはXY 400×400mmです。

Question 8

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexはどこのメーカー？

Accepted Answer

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rexは株式会社東京精密の製品です。東京精密の主な製品分野はCMP装置・エアゲージ・白色干渉計・表面粗さ測定器です。

	3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex株式会社東京精密	白色干渉計搭載レーザ顕微鏡 VK-X4000株式会社キーエンス	白色光干渉計搭載画像測定機 QVWLI HYPER 404 Pro株式会社ミツトヨ
種類	大型ステージ型	複合型（画像測定・レーザ顕微鏡）	複合型（画像測定・レーザ顕微鏡）
測り方	白色干渉（DEAP）	レーザ共焦点、フォーカスバリエーション、白色干渉	白色干渉と画像測定
垂直分解能	0.01nm	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
視野・測定エリア	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
ステージ	電動XY、最大600mm	大型XY電動、300mm	XY 400×400mm
高さの範囲	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	WLIと画像の共通範囲240mm
繰り返し精度	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	2σ≦0.08μm
価格	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
載せられる重さ	30kg	—公式資料で確認できず	25kg
質量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	1205kg（設置台含む）
特長	透明多層膜の測定、高速カメラ	白色干渉5倍レンズで視野を従来の4倍	3Dデータから表面性状と粗さを解析

3D白色干渉顕微鏡 Opt-scope Rex

比較表での位置