白色干渉計のメーカー6社比較【2026年】

公式に値段を出している会社はなく、どれも見積もりです。ステージ・対物レンズ・除振台の構成で変わるので、測りたいワークと範囲を伝えて見積もりを取ります。ZYGOはNewView 9000の仕様書とパンフレットを公式ページで案内しています。

卓上型・大型ステージ型・複合型・組み込み型の4つに分かれます。卓上型はContourX-100やNewView 9000、大型ステージ型はOpt-scope Rex、複合型はQVWLI HYPER 404 ProやVK-X4000、組み込み型はWI-5000やWLI-Unitです。

白色干渉計は部品の表面の粗さと形を面で測ります。レーザー干渉計は平面や波面、機械の位置決めを測ります。距離や変位を測るなら、比較ページ「レーザー干渉計」を見てください。

白色干渉は干渉縞から高さを取ります。キーエンスのVK-X4000は、レーザ共焦点・フォーカスバリエーション・白色干渉の3つの原理を1台で切り替えます。素材や形がいろいろあるなら、こうした複合型が使えます。

触れないので、柔らかい物や微細な物も測れます。東京精密はXY方向の走査が不要なので測定が速いとしています。面の粗さ（Sa・Sz）を取れる機種もあります。

公式に数字を出している中では、東京精密のOpt-scope RexとPolytecのMicro.Viewが0.01nmです。Polytecは、垂直分解能は選んだ対物レンズに依存しないと説明しています。繰り返し精度はMicro.ViewがRMSで0.05nm、QVWLI HYPER 404 Proが2σ≦0.08μmです。

Opt-scope Rexはステージが最大600mm動き、ワークは30kgまで載ります。QVWLI HYPER 404 Proは測定範囲400×400×240mmで、25kgまで載ります。VK-X4000にも可動ストローク300mmの大型XY電動ステージがあります。

Micro.Viewは0.6倍の対物で最大15.5×11.7mmです。WI-5000は最大10×10mmです。1回で入らない面は、複数の視野をつなぐスティッチングで測ります。

ZYGOのZeGage ProはSureScanで振動の影響を受けにくくしています。ミツトヨのQVWLI Proはエアー式の除振台が標準です。置く場所の振動が気になるなら、デモ機で測ってから決めます。

キーエンスのWI-5000は、鏡面体・透明体・黒色体を1回の撮影で測ると案内しています。東京精密は光学長1.5μm以上の透明膜を最大積層6まで解析できます。Micro.Viewの試料反射率は0.05〜100%です。