GUIDE白色干渉計とは？
白色干渉計とは？白色干渉顕微鏡・3次元光学式プロファイラーの種類（卓上・大型ステージ・複合・組み込み）と、分解能・視野・価格の選び方
精密部品・
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白色干渉計は、
白色干渉計とは
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比較ページには、
4つの種類
- 卓上型は、
机や除振台の 上に置く型です。 例はブルカーの ContourX-100と ContourX-500、 ZYGOの NewView 9000と ZeGage Pro、 Polytecの Micro.Viewです - 大型ステージ型は、
大きく 重い部品を 載せる 型です。 例は東京精密の Opt-scope Rexです - 複合型は、
白色干渉の ほかの 測り方も 1台に 積む型です。例は ミツトヨの QVWLI HYPER 404 Pro、 キーエンスの VK-X4000です - 組み込み型は、
生産ラインや 装置に 組み込む型です。例は キーエンスの WI-5000、 ミツトヨの WLI-Unit-003です
分解能と繰り返し精度の見方
- Opt-scope Rexと
Micro.Viewの 垂直分解能は、 どちらも 0.01nmです - Micro.Viewの
再現性は、 RMSで 0.05nmです - QVWLI HYPER 404 Proの
繰り返し精度は、 2σ≦0.08μmです - WI-5000の
繰り返し精度は、 0.1μmです - Polytecは、
垂直分解能は 選んだ対物 レンズに 依存しないと 説明しています。 低い倍率で 広く見ても、 高さの 細かさは 落ちません
視野とステージの見方
- Micro.Viewの
視野は、 0.6倍の 対物で最大 15.5×11.7mmです - WI-5000の
測定エリアは、最大 10×10mmです - Opt-scope Rexの
ステージは 最大600mm動き、 ワークは 30kgまで 載ります - QVWLI HYPER 404 Proの
測定範囲は 400×400×240mmで、 ワークは 25kgまで 載ります - NewView 9000は、
自動ステージの 移動範囲が 150mm、 傾斜が 4度です - 1回で
入らない面は、 複数の 視野を つなぐ スティッチングで 測ります
場所と素材で確かめること
- 振動の
ある場所では、 耐振動の 機能と 除振台を 確かめます。 ZeGage Proは SureScanで 振動の 影響を 受けに くくしています - 透明な膜は、
測れる 厚みを 確かめます。 Opt-scope Rexは 光学長 1.5μm以上の 透明膜を 最大積層 6まで 解析できます - 反射の
弱い試料は、 試料反射率の 範囲を 確かめます。 Micro.Viewは 0.05〜100%です - 素材や
形がいろいろ あるなら、 測り方を 切り替えられる VK-X4000の ような 複合型も 見ます
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