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真空チャック（ポーラスチャック）部分吸着型（微細ポーラス）

部分吸着真空チャック ANYCHUCK

西村陶業株式会社

気孔1〜5μmの部分吸着セラミック真空チャック

価格
公開価格なし（見積もり）
吸い方
部分吸着型（微細ポーラス）
向いている所
大きさの違う薄物を1枚で吸う
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比較表での位置

部分吸着真空チャック ANYCHUCKは、真空チャックのメーカー8社比較⁠の吸い方が部分吸着型（微細ポーラス）の2製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 10製品比較表の製品
  • 2製品同じ吸い方
  • 3製品公開価格あり
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部分吸着真空チャック ANYCHUCK​の強みと方式

ワークで覆わない所があっても吸える部分吸着の型で、大きさの違うワークをチャックを替えずに固定できます。気孔は直径1〜5μmと細かく、フィルムや金属箔に吸着の跡を残しにくい作りです。最大2000×2000mmまで作れます。

向いている所大きさの違う薄物を1枚で吸う

吸い方：部分吸着型（微細ポーラス）

気孔をごく細かくして、ワークで覆わない所があっても空気が漏れにくくした型です。大きさの違うワークや複数のワークを、チャックを替えずに1枚で吸えます。フィルムや金属箔に吸着の跡が残りにくい作りです。

部分吸着真空チャック ANYCHUCK​の仕様

吸い方
部分吸着型（微細ポーラス）
吸い方
ワークで覆わない所があっても吸う部分吸着
吸着面の大きさ
最大2000×2000mm
吸着面の材質
セラミックスのポーラス（白色素材、静電気対策の緑〜青色素材）
気孔径・穴
1〜5μm
平面度・精度
最高で平面度1μm
真空源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
本体の材質
セラミック・金属・グラナイト
質量
—公式資料で確認できず
特長
ドライ・ウェットで使える、単体で最大500℃

型式は無く、大きさと材質は注文ごとに決める。500×300×30tで平面度2μmに仕上げた例がある。

同じ種類の他社製品との違い

真空チャックの価格公開価格のある3製品・安い順
  1. 角型ポーラスチャック YPS-0100-055株式会社吉岡精工115,500円
  2. 丸型ポーラスチャック YPR-0200-055株式会社吉岡精工138,600円
  3. バキュームチャック VCM0303E株式会社ナベヤ281,000円

製品の特徴ごとの分類

部分吸着真空チャック ANYCHUCK西村陶業株式会社多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）株式会社ナノテム真空チャック（ピンチャック）株式会社NTKセラテック
吸い方部分吸着型（微細ポーラス）部分吸着型（微細ポーラス）穴・溝・ピン吸着型
吸い方ワークで覆わない所があっても吸う部分吸着部分吸着、浮上搬送もできる細かいピンの先でウエハを支えて吸う
吸着面の大きさ最大2000×2000mm—公式資料で確認できず12インチのウエハ
吸着面の材質セラミックスのポーラス（白色素材、静電気対策の緑〜青色素材）アルミナの多孔質セラミックス（黒）—公式資料で確認できず
気孔径・穴1〜5μm2μm（気孔率40%）—公式資料で確認できず
平面度・精度最高で平面度1μm□500mmで目標20μm、コミット30μm（平面平行度）平面度0.2μm、L/F0.05μm以下
真空源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
本体の材質セラミック・金属・グラナイト—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長ドライ・ウェットで使える、単体で最大500℃表面抵抗10の6乗〜10の9乗Ω/sqで除電するウエハの形に合わせて凹凸を付けられる、吸着ゾーンとピンの並びを変えられる

真空チャックの10製品を比較表で見る

部分吸着真空チャック ANYCHUCK​のよくある質問

Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKはどんな人に向いている？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKは、大きさの違う薄物を1枚で吸う人向けです。部分吸着真空チャック ANYCHUCKは、ワークで覆わない所があっても吸える部分吸着の型で、大きさの違うワークをチャックを替えずに固定できます。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKの強みは？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKの気孔は直径1〜5μmと細かく、フィルムや金属箔に吸着の跡を残しにくい作りです。最大2000×2000mmまで作れます。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKはどんな方式？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKの吸い方は部分吸着型（微細ポーラス）⁠で⁠す⁠。気孔をごく細かくして、ワークで覆わない所があっても空気が漏れにくくした型です。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKの主な仕様は？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKの吸い方はワークで覆わない所があっても吸う部分吸着、吸着面の大きさは最大2000×2000mmです。吸着面の材質はセラミックスのポーラス（白色素材、静電気対策の緑〜青色素材）、気孔径・穴は1〜5μmです。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKと多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）はどっちがいい？
大きさの違う薄物を1枚で吸うなら部分吸着真空チャック ANYCHUCK、静電気を嫌う極薄基板・フィルムならナノテムの多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）で⁠す⁠。部分吸着真空チャック ANYCHUCKの吸い方はワークで覆わない所があっても吸う部分吸着、吸着面の大きさは最大2000×2000mmです。ナノテムの多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の吸い方は部分吸着、浮上搬送もできる、吸着面の材質はアルミナの多孔質セラミックス（黒）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKの本体の材質は？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKの本体の材質はセラミック・金属・グラナイトです。カネテックの真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530の本体の材質は鉄（高さ60mm）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKの平面度・精度は？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKの平面度・精度は最高で平面度1μmです。ナノテムの多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の平面度・精度は□500mmで目標20μm、コミット30μm（平面平行度）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKの特長は？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKの特長はドライ・ウェットで使える、単体で最大500℃です。ナノテムの多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の特長は表面抵抗10の6乗〜10の9乗Ω/sqで除電する。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKと真空チャック（ピンチャック）はどっちがいい？
大きさの違う薄物を1枚で吸うなら部分吸着真空チャック ANYCHUCK、露光装置・検査装置のウエハ固定ならNTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）⁠で⁠す⁠。部分吸着真空チャック ANYCHUCKの吸い方はワークで覆わない所があっても吸う部分吸着、吸着面の大きさは最大2000×2000mmです。NTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）の吸い方は細かいピンの先でウエハを支えて吸う、吸着面の大きさは12インチのウエハです。
Q.部分吸着真空チャック ANYCHUCKはどこのメーカー？
部分吸着真空チャック ANYCHUCKは西村陶業株式会社の製品です。登記上の本店は〒607-8322 京都府京都市山科区川田清水焼団地町3番地の2。西村陶業の主な製品分野は真空チャック・ジルコニア・セラミックス・アルミナです。

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    出典
    1. 西村陶業株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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