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真空チャック（ポーラスチャック）全面吸着型（ポーラス）

真空チャック（ポーラスチャック）

株式会社NTKセラテック

ウエハ薄化工程向けのセラミックス製ポーラスチャック

価格
公開価格なし（見積もり）
吸い方
全面吸着型（ポーラス）
向いている所
ウエハ薄化の研削・CMP
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

真空チャック（ポーラスチャック）は、真空チャックのメーカー8社比較⁠の吸い方「全面吸着型（ポーラス）」の3製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 10製品比較表の製品
  • 3製品同じ吸い方
  • 3製品公開価格あり
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真空チャック（ポーラスチャック）​の強みと方式

ポーラス部と基台部の境目まで平らに仕上げる製法で、ウエハを薄く削るグラインダー・ポリッシャー・CMPの固定に使います。ポーラスはアルミナと炭化ケイ素から選べます。基台に冷却用の中空溝も入れられます。

向いている所ウエハ薄化の研削・CMP

吸い方：全面吸着型（ポーラス）

細かい孔が続いたセラミックや金属の板（ポーラス）の面全体で吸う型です。薄いワークでも変形させずに平らに押さえられます。ワークでポーラス面を全部覆うのが基本で、はみ出た所はマスキングします。

真空チャック（ポーラスチャック）​の仕様

吸い方
全面吸着型（ポーラス）
吸い方
ポーラス面の全面で吸う
吸着面の大きさ
—公式資料で確認できず
吸着面の材質
アルミナポーラス、炭化ケイ素ポーラス
気孔径・穴
—公式資料で確認できず
平面度・精度
—公式資料で確認できず
真空源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
本体の材質
セラミックス（冷却用の中空溝も入れられる）
質量
—公式資料で確認できず
特長
離型性・導電性の表面コートもできる

型式は無く、材料・気孔径・大きさは注文ごとに決める。

同じ種類の他社製品との違い

真空チャックの価格公開価格のある3製品・安い順
  1. 角型ポーラスチャック YPS-0100-055株式会社吉岡精工115,500円
  2. 丸型ポーラスチャック YPR-0200-055株式会社吉岡精工138,600円
  3. バキュームチャック VCM0303E株式会社ナベヤ281,000円

製品の特徴ごとの分類

真空チャック（ポーラスチャック）株式会社NTKセラテック丸型ポーラスチャック YPR-0200-055株式会社吉岡精工角型ポーラスチャック YPS-0100-055株式会社吉岡精工
吸い方全面吸着型（ポーラス）全面吸着型（ポーラス）全面吸着型（ポーラス）
吸い方ポーラス面の全面で吸うポーラス面の全面で吸うポーラス面の全面で吸う
吸着面の大きさ—公式資料で確認できず直径200mm100×100mm
吸着面の材質アルミナポーラス、炭化ケイ素ポーラスアルミナセラミックアルミナセラミック
気孔径・穴—公式資料で確認できず55μm55μm
平面度・精度—公式資料で確認できず5μm5μm
真空源—公式資料で確認できず真空ポンプにつなぐ（同社で真空ポンプYVP-0018-667も扱う）真空ポンプにつなぐ（同社で真空ポンプYVP-0018-667も扱う）
価格—公式資料で確認できず138,600円115,500円
本体の材質セラミックス（冷却用の中空溝も入れられる）SUSSUS
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長離型性・導電性の表面コートもできる側面・下面から配管を出せる、即納品側面・下面から配管を出せる、即納品

真空チャックの10製品を比較表で見る

真空チャック（ポーラスチャック）​のよくある質問

Q.真空チャック（ポーラスチャック）はどんな人に向いている？
真空チャック（ポーラスチャック）は、ウエハ薄化の研削・CMPに使う人向けです。真空チャック（ポーラスチャック）は、ポーラス部と基台部の境目まで平らに仕上げる製法で、ウエハを薄く削るグラインダー・ポリッシャー・CMPの固定に使います。
Q.真空チャック（ポーラスチャック）の強みは？
真空チャック（ポーラスチャック）のポーラスはアルミナと炭化ケイ素から選べます。基台に冷却用の中空溝も入れられます。
Q.真空チャック（ポーラスチャック）はどんな方式？
真空チャック（ポーラスチャック）の吸い方は全面吸着型（ポーラス）⁠で⁠す⁠。細かい孔が続いたセラミックや金属の板（ポーラス）の面全体で吸う型です。
Q.真空チャック（ポーラスチャック）の主な仕様は？
真空チャック（ポーラスチャック）の吸い方はポーラス面の全面で吸う、吸着面の材質はアルミナポーラス、炭化ケイ素ポーラスです。本体の材質はセラミックス（冷却用の中空溝も入れられる）、特長は離型性・導電性の表面コートもできる。
Q.真空チャック（ポーラスチャック）と丸型ポーラスチャック YPR-0200-055はどっちがいい？
ウエハ薄化の研削・CMPなら真空チャック（ポーラスチャック）、丸いウエハを丸ごと吸うなら吉岡精工の丸型ポーラスチャック YPR-0200-055です。真空チャック（ポーラスチャック）の吸い方はポーラス面の全面で吸う、吸着面の材質はアルミナポーラス、炭化ケイ素ポーラスです。吉岡精工の丸型ポーラスチャック YPR-0200-055の価格は138,600円、吸い方はポーラス面の全面で吸う。
Q.真空チャック（ポーラスチャック）と角型ポーラスチャック YPS-0100-055はどっちがいい？
ウエハ薄化の研削・CMPなら真空チャック（ポーラスチャック）、在庫品を買って試す角型なら吉岡精工の角型ポーラスチャック YPS-0100-055です。真空チャック（ポーラスチャック）の吸い方はポーラス面の全面で吸う、吸着面の材質はアルミナポーラス、炭化ケイ素ポーラスです。吉岡精工の角型ポーラスチャック YPS-0100-055の価格は115,500円、吸い方はポーラス面の全面で吸う。
Q.真空チャック（ポーラスチャック）のほかにNTKセラテックの真空チャックはある？
あります。NTKセラテックの真空チャックには、真空チャック（ポーラスチャック）のほかに真空チャック（ピンチャック）（吸い方は細かいピンの先でウエハを支えて吸う）があります。
Q.真空チャック（ポーラスチャック）はどこのメーカー？
真空チャック（ポーラスチャック）は株式会社NTKセラテックの製品です。登記上の本店は〒981-3206 宮城県仙台市泉区明通3丁目5番。NTKセラテックの主な製品分野はアルミナ・セラミックス・ジルコニア・真空チャックです。

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    真空チャック（ポーラスチャック）

    部分吸着真空チャック ANYCHUCK

    西村陶業株式会社

    ワークで覆わない所があっても吸える部分吸着の型で、大きさの違うワークをチャックを替えずに固定できます。

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    出典
    1. 株式会社NTKセラテック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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