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真空チャック（ポーラスチャック）部分吸着型（微細ポーラス）

多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）

株式会社ナノテム

気孔径2μmで除電もする部分吸着の真空チャック

価格
公開価格なし（見積もり）
吸い方
部分吸着型（微細ポーラス）
向いている所
静電気を嫌う極薄基板・フィルム
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比較表での位置

多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）は、真空チャックのメーカー8社比較⁠の吸い方が部分吸着型（微細ポーラス）の2製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 10製品比較表の製品
  • 2製品同じ吸い方
  • 3製品公開価格あり
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多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）​の強みと方式

吸着面そのものが静電気を逃がす材料で、イオナイザーを足さずに除電できます。気孔径2μm・気孔率40%のアルミナ多孔質で、ワークで覆わない所があっても吸えます。ドライ・ウェットのどちらの環境でも使えます。

向いている所静電気を嫌う極薄基板・フィルム

吸い方：部分吸着型（微細ポーラス）

気孔をごく細かくして、ワークで覆わない所があっても空気が漏れにくくした型です。大きさの違うワークや複数のワークを、チャックを替えずに1枚で吸えます。フィルムや金属箔に吸着の跡が残りにくい作りです。

多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）​の仕様

吸い方
部分吸着型（微細ポーラス）
吸い方
部分吸着、浮上搬送もできる
吸着面の大きさ
—公式資料で確認できず
吸着面の材質
アルミナの多孔質セラミックス（黒）
気孔径・穴
2μm（気孔率40%）
平面度・精度
□500mmで目標20μm、コミット30μm（平面平行度）
真空源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
本体の材質
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
特長
表面抵抗10の6乗〜10の9乗Ω/sqで除電する

平面タイプ・ロールタイプがあり、G8サイズにも作れる。

同じ種類の他社製品との違い

真空チャックの価格公開価格のある3製品・安い順
  1. 角型ポーラスチャック YPS-0100-055株式会社吉岡精工115,500円
  2. 丸型ポーラスチャック YPR-0200-055株式会社吉岡精工138,600円
  3. バキュームチャック VCM0303E株式会社ナベヤ281,000円

製品の特徴ごとの分類

多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）株式会社ナノテム部分吸着真空チャック ANYCHUCK西村陶業株式会社真空チャック（ピンチャック）株式会社NTKセラテック
吸い方部分吸着型（微細ポーラス）部分吸着型（微細ポーラス）穴・溝・ピン吸着型
吸い方部分吸着、浮上搬送もできるワークで覆わない所があっても吸う部分吸着細かいピンの先でウエハを支えて吸う
吸着面の大きさ—公式資料で確認できず最大2000×2000mm12インチのウエハ
吸着面の材質アルミナの多孔質セラミックス（黒）セラミックスのポーラス（白色素材、静電気対策の緑〜青色素材）—公式資料で確認できず
気孔径・穴2μm（気孔率40%）1〜5μm—公式資料で確認できず
平面度・精度□500mmで目標20μm、コミット30μm（平面平行度）最高で平面度1μm平面度0.2μm、L/F0.05μm以下
真空源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
本体の材質—公式資料で確認できずセラミック・金属・グラナイト—公式資料で確認できず
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長表面抵抗10の6乗〜10の9乗Ω/sqで除電するドライ・ウェットで使える、単体で最大500℃ウエハの形に合わせて凹凸を付けられる、吸着ゾーンとピンの並びを変えられる

真空チャックの10製品を比較表で見る

多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）​のよくある質問

Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）はどんな人に向いている？
多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）は、静電気を嫌う極薄基板・フィルムに使う人向けです。多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）は、吸着面そのものが静電気を逃がす材料で、イオナイザーを足さずに除電できます。
Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の強みは？
多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）は、気孔径2μm・気孔率40%のアルミナ多孔質で、ワークで覆わない所があっても吸えます。ドライ・ウェットのどちらの環境でも使えます。
Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）はどんな方式？
多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の吸い方は部分吸着型（微細ポーラス）⁠で⁠す⁠。気孔をごく細かくして、ワークで覆わない所があっても空気が漏れにくくした型です。
Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の主な仕様は？
多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の吸い方は部分吸着、浮上搬送もできる、吸着面の材質はアルミナの多孔質セラミックス（黒）⁠で⁠す⁠。気孔径・穴は2μm（気孔率40%）、平面度・精度は□500mmで目標20μm、コミット30μm（平面平行度）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）と部分吸着真空チャック ANYCHUCKはどっちがいい？
静電気を嫌う極薄基板・フィルムなら多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）、大きさの違う薄物を1枚で吸うなら西村陶業の部分吸着真空チャック ANYCHUCKです。多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の吸い方は部分吸着、浮上搬送もできる、吸着面の材質はアルミナの多孔質セラミックス（黒）⁠で⁠す⁠。西村陶業の部分吸着真空チャック ANYCHUCKの吸い方はワークで覆わない所があっても吸う部分吸着、吸着面の大きさは最大2000×2000mmです。
Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の特長は？
多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の特長は表面抵抗10の6乗〜10の9乗Ω/sqで除電する。西村陶業の部分吸着真空チャック ANYCHUCKの特長はドライ・ウェットで使える、単体で最大500℃です。
Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）と真空チャック（ピンチャック）はどっちがいい？
静電気を嫌う極薄基板・フィルムなら多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）、露光装置・検査装置のウエハ固定ならNTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）⁠で⁠す⁠。多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）の吸い方は部分吸着、浮上搬送もできる、吸着面の材質はアルミナの多孔質セラミックス（黒）⁠で⁠す⁠。NTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）の吸い方は細かいピンの先でウエハを支えて吸う、吸着面の大きさは12インチのウエハです。
Q.多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）はどこのメーカー？
多孔質セラミックス真空チャック エアロフィックス（黒2μm・レギュラー）は株式会社ナノテムの製品です。長岡技術科学大学発のベンチャー企業で、新潟県長岡市で多孔質セラミックスの真空チャック「エアロフィックス」を作っています。

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    真空エジェクターを内蔵した鋳鉄製の型で、工場のコンプレッサーにチューブを差すだけで吸えます。

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    出典
    1. 株式会社ナノテム 公式
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