真空チャック（ポーラスチャック）のメーカー8社比較【2026年】

値段を公式に出しているのは2社です。吉岡精工の即納品は角型YPS-0100-055が115,500円、丸型YPR-0200-055が138,600円で、ナベヤのバキュームチャックVCM0303Eは281,000円です。注文で作る型は見積です。

ポーラスチャックは細かい孔の続いた板の面全体で吸うので、薄いワークも変形させずに押さえます。吉岡精工の解説では、穴や溝の真空チャックは薄いワークを吸うと変形します。厚みのある板を加工で押さえるなら、カネテックのKVR-G1530やスーパーツールのSVA2025のような穴・溝の型で足ります。

部分吸着は、ワークで覆わない所があっても吸える性質です。西村陶業のANYCHUCKは気孔1〜5μm、ナノテムのエアロフィックスは気孔径2μmで、大きさの違うワークを1枚で吸えます。ナベヤのセラミック吸着テーブルの気孔径55μmの型では、覆わない所にマスキングをします。

吉岡精工は気孔径2μmから約230μmまで作り、標準は55μmです。粗いと吸う力が強くなりますが、エアー漏れで力が落ちやすくなります。細かいと部分吸着ができ、より薄いワークも吸えます。

NTKセラテックのピンチャックは12インチで平面度0.2μm、西村陶業のANYCHUCKは平面度1μmまで仕上げられます。吉岡精工は吸着面の平面度を3μm以下に仕上げ、即納品の精度は5μmです。加工用ではスーパーツールのSVA2025が平行度0.01mm/100mmです。

吸い方で違います。ナベヤのVCM0303EとスーパーツールのSVA2025は、工場のコンプレッサーのエアーだけで吸い、真空ポンプを置きません。カネテックのKVR-G1530は専用の真空源装置VPU-E10・VPU-D20・VPU-EGにつなぎます。

除電できる材質を選びます。ナノテムのエアロフィックスは表面抵抗10の6乗〜10の9乗Ω/sqで、イオナイザーを足さずに除電します。吉岡精工のSiCポーラスチャックは体積抵抗率約10の7乗Ω・cmです。西村陶業のANYCHUCKにも静電気対策の素材があります。

樹脂・アルミ・ステンレスなど磁石の付かない板を押さえる型があります。カネテックのKVR-G1530は鉄製で、マグネットチャックの上に載せて使えます。スーパーツールのSVA2025は最大吸着力1.31kN、ナベヤのVCM0303Eは300×300mmで、密着用丸ゴムで囲った面を吸います。

モリシン工業はアルミハニカムパネルで2,000×4,000mmまで作ります。西村陶業のANYCHUCKは最大2000×2000mm、吉岡精工のポーラスチャックは丸型でφ500mm、角型で□500mmまで作れます。

ナベヤは、吸着口からエアーを逆に吹いてセラミックの中の異物を出す手入れを案内しています。そのときの供給エアー圧は0.2MPa以下です。それでも詰まりが取れないときは、メーカーで吸着面を研削するかセラミックを替えます。

吉岡精工のHoVaCはヒーターを内蔵し、最大250°Cまで加熱しながら吸えます。西村陶業のANYCHUCKは真空チャック単体で最大500℃、ナノテムのエアロフィックスは150℃までの環境で使えます。

ナベヤは、吸着力（N）を真空圧力（kPa）×吸着面積（mm²）⁠×0.001で出す式を載せています。ワークで覆う面積が大きいほど強く吸います。モリシン工業の解説では、完全な真空なら吸着穴の開口1cm²あたり約1kgの力です。