真空チャック（ポーラスチャック）⁠と⁠は⁠？ウエハ・フィルム・薄板を吸って固定する真空チャックの種類（全面吸着・部分吸着・穴や溝）と、気孔径・平面度・価格の選び方

真空チャック（ポーラスチャック）⁠と⁠⁠⁠⁠は

真空チャックは、細かい孔のあいた板や穴・溝のある面から空気を引き、ワークを負圧で平らな面に固定する治具です。爪やクランプでつかめない薄いウエハ・フィルム・基板・薄板を、ダイシング・研削・検査・印刷の工程で押さえます。

比較ページには、日本の会社が自社で作る真空チャックを、各社の代表の型の単位で載せています。静電気の力で吸う静電チャック、ワークを持ち上げる真空パッド、磁力で固定するマグネットチャックは載せていません。

3つの種類

• 全面吸着型（ポーラス）は、細かい孔の続いた板の面全体で吸います。例は吉岡精工の角型ポーラスチャック YPS-0100-055、NTKセラテックのポーラスチャックです
• 部分吸着型（微細ポーラス）は、気孔をごく細かくして、ワークで覆わない所があっても吸います。例は西村陶業の ANYCHUCK、ナノテムのエアロフィックスです
• 穴・溝・ピン吸着型は、金属やセラミックの面の穴・溝・ピンで吸います。例はカネテックの KVR-G1530、ナベヤの VCM0303E、スーパーツールの SVA2025、モリシン工業のアルミハニカム真空チャック、NTKセラテックのピンチャックです

ポーラスと穴吸着の違い

• 吉岡精工の解説では、穴や溝の真空チャックは薄いワークを吸うと変形します。ポーラスチャックは全面で吸うので変形しません
• 厚みのある樹脂やアルミの板をマシニングや研削で押さえるなら、穴・溝の型で足ります
• カネテックの KVR-G1530 は鉄製で、マグネットチャックの上に載せて使えます

気孔径の選び方

• 吉岡精工は気孔径2μmから約230μmまで作り、標準は55μmです
• 気孔が粗いと吸う力が強くなりますが、エアー漏れで力が落ちやすくなります
• 気孔が細かいと部分吸着ができ、より薄いワークも吸えます
• 西村陶業の ANYCHUCK は気孔1〜5μm、ナノテムのエアロフィックスは気孔径2μmです

平面度

• NTKセラテックのピンチャックは、12インチで平面度0.2μmです
• 西村陶業の ANYCHUCK は、平面度1μmまで仕上げられます
• 吉岡精工は吸着面の平面度を3μm以下に仕上げ、即納品の精度は5μmです
• スーパーツールの SVA2025 は、平行度0.01mm/100mmです

真空源

• ナベヤの VCM0303E とスーパーツールの SVA2025 は、工場のコンプレッサーのエアーだけで吸います
• カネテックの KVR-G1530 は、専用の真空源装置につなぎます
• ポーラスチャックは、真空ポンプかエジェクターを別に用意する型が多くあります

静電気と熱

• ナノテムのエアロフィックスは表面抵抗10の6乗〜10の9乗Ω/sqで、イオナイザーを足さずに除電します
• 吉岡精工の SiC ポーラスチャックは体積抵抗率約10の7乗Ω・cmです
• 吉岡精工の HoVaC はヒーターを内蔵し、最大250°Cまで加熱しながら吸えます

手入れ

• ナベヤは、吸着口からエアーを逆に吹いてセラミックの中の異物を出す手入れを案内しています。そのときの供給エアー圧は0.2MPa以下です
• 詰まりが取れないときは、メーカーで吸着面を研削するかセラミックを替えます

値段

• 値段を公式に出しているのは吉岡精工とナベヤです
• 吉岡精工の角型 YPS-0100-055 は115,500円、丸型 YPR-0200-055 は138,600円です
• ナベヤのバキュームチャック VCM0303E は281,000円です
• 注文で大きさや形を決める型は、各社とも見積です