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真空チャック（ポーラスチャック）穴・溝・ピン吸着型

真空チャック（ピンチャック）

株式会社NTKセラテック

平面度0.2μmのウエハ用ピンチャック

価格
公開価格なし（見積もり）
吸い方
穴・溝・ピン吸着型
向いている所
露光装置・検査装置のウエハ固定
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

真空チャック（ピンチャック）は、真空チャックのメーカー8社比較⁠の吸い方「穴・溝・ピン吸着型」の5製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 10製品比較表の製品
  • 5製品同じ吸い方
  • 3製品公開価格あり
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真空チャック（ピンチャック）​の強みと方式

12インチで平面度0.2μmまで追い込んだピンチャックで、露光装置や検査装置のウエハ固定に使います。反ったウエハに合わせて、チャックの形を凹凸に調整できます。吸着ゾーンとピンの並びも注文ごとに決めます。

向いている所露光装置・検査装置のウエハ固定

吸い方：穴・溝・ピン吸着型

金属やセラミックの面にあけた穴や溝、細かいピンの先で吸う型です。ゴム紐で吸う範囲を囲む加工用の型、エアーだけで吸う型、平面度を追い込んだウエハ用のピンチャックがあります。

真空チャック（ピンチャック）​の仕様

吸い方
穴・溝・ピン吸着型
吸い方
細かいピンの先でウエハを支えて吸う
吸着面の大きさ
12インチのウエハ
吸着面の材質
—公式資料で確認できず
気孔径・穴
—公式資料で確認できず
平面度・精度
平面度0.2μm、L/F0.05μm以下
真空源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
本体の材質
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
特長
ウエハの形に合わせて凹凸を付けられる、吸着ゾーンとピンの並びを変えられる

型式は無く、形は注文ごとに決める。

同じ種類の他社製品との違い

真空チャックの価格公開価格のある3製品・安い順
  1. 角型ポーラスチャック YPS-0100-055株式会社吉岡精工115,500円
  2. 丸型ポーラスチャック YPR-0200-055株式会社吉岡精工138,600円
  3. バキュームチャック VCM0303E株式会社ナベヤ281,000円

製品の特徴ごとの分類

真空チャック（ピンチャック）株式会社NTKセラテック真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530カネテック株式会社真空チャック SVA2025株式会社スーパーツール
吸い方穴・溝・ピン吸着型穴・溝・ピン吸着型穴・溝・ピン吸着型
吸い方細かいピンの先でウエハを支えて吸うグリッド溝に入れたゴム紐の内側で吸う直径1mmの真空穴で吸う
吸着面の大きさ12インチのウエハ150W×300Lmm200×250mm
吸着面の材質—公式資料で確認できず鉄FC300
気孔径・穴—公式資料で確認できず模様間隔P=20真空穴は直径1mm
平面度・精度平面度0.2μm、L/F0.05μm以下—公式資料で確認できず平行度0.01mm/100mm
真空源—公式資料で確認できず専用の真空源装置（VPU-E10・VPU-D20・VPU-EG）真空エジェクター内蔵（コンプレッサーの入力圧力0.5〜0.7MPa、最大真空圧-88kPa）
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
本体の材質—公式資料で確認できず鉄（高さ60mm）FC300（高さ65mm）
質量—公式資料で確認できず約22kg—公式資料で確認できず
特長ウエハの形に合わせて凹凸を付けられる、吸着ゾーンとピンの並びを変えられる吸引口が2か所、マグネットチャックの上に載せて使える最大吸着力1.31kN、減圧弁内蔵

真空チャックの10製品を比較表で見る

真空チャック（ピンチャック）​のよくある質問

Q.真空チャック（ピンチャック）はどんな人に向いている？
真空チャック（ピンチャック）は、露光装置・検査装置のウエハ固定に使う人向けです。真空チャック（ピンチャック）は、12インチで平面度0.2μmまで追い込んだピンチャックで、露光装置や検査装置のウエハ固定に使います。
Q.真空チャック（ピンチャック）の強みは？
真空チャック（ピンチャック）は、反ったウエハに合わせて、チャックの形を凹凸に調整できます。吸着ゾーンとピンの並びも注文ごとに決めます。
Q.真空チャック（ピンチャック）はどんな方式？
真空チャック（ピンチャック）の吸い方は穴・溝・ピン吸着型です。金属やセラミックの面にあけた穴や溝、細かいピンの先で吸う型です。
Q.真空チャック（ピンチャック）の主な仕様は？
真空チャック（ピンチャック）の吸い方は細かいピンの先でウエハを支えて吸う、吸着面の大きさは12インチのウエハです。平面度・精度は平面度0.2μm、L/F0.05μm以下、特長はウエハの形に合わせて凹凸を付けられる、吸着ゾーンとピンの並びを変えられる。
Q.真空チャック（ピンチャック）と真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530はどっちがいい？
露光装置・検査装置のウエハ固定なら真空チャック（ピンチャック）、平面研削で非磁性の板を押さえるならカネテックの真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530です。真空チャック（ピンチャック）の吸い方は細かいピンの先でウエハを支えて吸う、吸着面の大きさは12インチのウエハです。カネテックの真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530の吸い方はグリッド溝に入れたゴム紐の内側で吸う、吸着面の大きさは150W×300Lmmです。
Q.真空チャック（ピンチャック）と真空チャック SVA2025はどっちがいい？
露光装置・検査装置のウエハ固定なら真空チャック（ピンチャック）、マシニングでステンレス・アルミを押さえるならスーパーツールの真空チャック SVA2025です。真空チャック（ピンチャック）の吸い方は細かいピンの先でウエハを支えて吸う、吸着面の大きさは12インチのウエハです。スーパーツールの真空チャック SVA2025の吸い方は直径1mmの真空穴で吸う、吸着面の大きさは200×250mmです。
Q.真空チャック（ピンチャック）のほかにNTKセラテックの真空チャックはある？
あります。NTKセラテックの真空チャックには、真空チャック（ピンチャック）のほかに真空チャック（ポーラスチャック）（吸い方はポーラス面の全面で吸う）があります。
Q.真空チャック（ピンチャック）はどこのメーカー？
真空チャック（ピンチャック）は株式会社NTKセラテックの製品です。登記上の本店は〒981-3206 宮城県仙台市泉区明通3丁目5番。NTKセラテックの主な製品分野はアルミナ・セラミックス・ジルコニア・真空チャックです。

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    真空チャック（ポーラスチャック）

    真空チャック SVA2025

    株式会社スーパーツール

    真空エジェクターを内蔵した鋳鉄製の型で、工場のコンプレッサーにチューブを差すだけで吸えます。

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    出典
    1. 株式会社NTKセラテック 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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