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真空チャック（ポーラスチャック）穴・溝・ピン吸着型

アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）

モリシン工業株式会社

アルミハニカムで軽く作るオーダーメイドの真空チャック

価格
公開価格なし（見積もり）
吸い方
穴・溝・ピン吸着型
向いている所
液晶パネル・大判の吸着プレート
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）は、真空チャックのメーカー8社比較⁠の吸い方「穴・溝・ピン吸着型」の5製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
  • 10製品比較表の製品
  • 5製品同じ吸い方
  • 3製品公開価格あり
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アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）​の強みと方式

アルミハニカムパネルを使った真空チャックで、2,000×4,000mmの大判でも軽く作れます。吸着穴はレーザー加工なら直径0.03mm・ピッチ0.6mmまで細かくでき、フィルムの変形を抑えます。大きさと穴は注文ごとに決めて作ります。

向いている所液晶パネル・大判の吸着プレート

吸い方：穴・溝・ピン吸着型

金属やセラミックの面にあけた穴や溝、細かいピンの先で吸う型です。ゴム紐で吸う範囲を囲む加工用の型、エアーだけで吸う型、平面度を追い込んだウエハ用のピンチャックがあります。

アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）​の仕様

吸い方
穴・溝・ピン吸着型
吸い方
吸着穴で吸う（穴径・ピッチ・吸着エリアを決めて作る）
吸着面の大きさ
100mm弱〜2,000×4,000mm
吸着面の材質
アルミハニカムパネル（表面をSUS430にもできる）
気孔径・穴
レーザー加工で直径0.03mm・ピッチ0.6mm
平面度・精度
約±0.05mm/m
真空源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
本体の材質
アルミハニカムパネル
質量
—公式資料で確認できず
特長
軽い、黒アルマイトで吸着面を黒くできる

型式は無く、大きさ・穴・吸着エリアは注文ごとに決める。

同じ種類の他社製品との違い

真空チャックの価格公開価格のある3製品・安い順
  1. 角型ポーラスチャック YPS-0100-055株式会社吉岡精工115,500円
  2. 丸型ポーラスチャック YPR-0200-055株式会社吉岡精工138,600円
  3. バキュームチャック VCM0303E株式会社ナベヤ281,000円

製品の特徴ごとの分類

アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）モリシン工業株式会社真空チャック（ピンチャック）株式会社NTKセラテック真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530カネテック株式会社
吸い方穴・溝・ピン吸着型穴・溝・ピン吸着型穴・溝・ピン吸着型
吸い方吸着穴で吸う（穴径・ピッチ・吸着エリアを決めて作る）細かいピンの先でウエハを支えて吸うグリッド溝に入れたゴム紐の内側で吸う
吸着面の大きさ100mm弱〜2,000×4,000mm12インチのウエハ150W×300Lmm
吸着面の材質アルミハニカムパネル（表面をSUS430にもできる）—公式資料で確認できず鉄
気孔径・穴レーザー加工で直径0.03mm・ピッチ0.6mm—公式資料で確認できず模様間隔P=20
平面度・精度約±0.05mm/m平面度0.2μm、L/F0.05μm以下—公式資料で確認できず
真空源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず専用の真空源装置（VPU-E10・VPU-D20・VPU-EG）
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
本体の材質アルミハニカムパネル—公式資料で確認できず鉄（高さ60mm）
質量—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず約22kg
特長軽い、黒アルマイトで吸着面を黒くできるウエハの形に合わせて凹凸を付けられる、吸着ゾーンとピンの並びを変えられる吸引口が2か所、マグネットチャックの上に載せて使える

真空チャックの10製品を比較表で見る

アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）​のよくある質問

Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）はどんな人に向いている？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）は、液晶パネル・大判の吸着プレートに使う人向けです。アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）は、アルミハニカムパネルを使った真空チャックで、2,000×4,000mmの大判でも軽く作れます。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の強みは？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の吸着穴はレーザー加工なら直径0.03mm・ピッチ0.6mmまで細かくでき、フィルムの変形を抑えます。大きさと穴は注文ごとに決めて作ります。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）はどんな方式？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の吸い方は穴・溝・ピン吸着型です。金属やセラミックの面にあけた穴や溝、細かいピンの先で吸う型です。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の主な仕様は？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の吸い方は吸着穴で吸う（穴径・ピッチ・吸着エリアを決めて作る）、吸着面の大きさは100mm弱〜2,000×4,000mmです。吸着面の材質はアルミハニカムパネル（表面をSUS430にもできる）、気孔径・穴はレーザー加工で直径0.03mm・ピッチ0.6mmです。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）と真空チャック（ピンチャック）はどっちがいい？
液晶パネル・大判の吸着プレートならアルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）、露光装置・検査装置のウエハ固定ならNTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）⁠で⁠す⁠。アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の吸い方は吸着穴で吸う（穴径・ピッチ・吸着エリアを決めて作る）、吸着面の大きさは100mm弱〜2,000×4,000mmです。NTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）の吸い方は細かいピンの先でウエハを支えて吸う、吸着面の大きさは12インチのウエハです。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の本体の材質は？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の本体の材質はアルミハニカムパネルです。カネテックの真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530の本体の材質は鉄（高さ60mm）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の平面度・精度は？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の平面度・精度は約±0.05mm/mです。NTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）の平面度・精度は平面度0.2μm、L/F0.05μm以下です。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の特長は？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の特長は軽い、黒アルマイトで吸着面を黒くできる。NTKセラテックの真空チャック（ピンチャック）の特長はウエハの形に合わせて凹凸を付けられる、吸着ゾーンとピンの並びを変えられる。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）と真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530はどっちがいい？
液晶パネル・大判の吸着プレートならアルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）、平面研削で非磁性の板を押さえるならカネテックの真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530です。アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）の吸い方は吸着穴で吸う（穴径・ピッチ・吸着エリアを決めて作る）、吸着面の大きさは100mm弱〜2,000×4,000mmです。カネテックの真空チャック（グリッドシール式） KVR-G1530の吸い方はグリッド溝に入れたゴム紐の内側で吸う、吸着面の大きさは150W×300Lmmです。
Q.アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）はどこのメーカー？
アルミハニカム真空チャック（オーダーメイド）はモリシン工業株式会社の製品です。モリシン工業の主な製品分野は真空チャックです。

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    出典
    1. モリシン工業株式会社 公式
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