窒化ガリウム自立基板

窒化ガリウム基板（HVPE法）

三菱ケミカル株式会社

HVPE法で作る単結晶のGaN基板。

価格: 公開価格なし（見積もり）
主な仕様: 口径2インチ
種類: 自立基板
向いている所: 表面の平らさを見る発光デバイス向け

公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

窒化ガリウム基板（HVPE法）は、窒化ガリウムのメーカー5社比較⁠の種類「自立基板」の3製品の1つとして載っています。

5社掲載社数
6製品比較表の製品
3製品同じ種類
0製品公開価格あり

比較表を見る

窒化ガリウム基板（HVPE法）の強みと方式

自社設計のHVPE装置で作る単結晶のGaN基板です。表面の粗さはRms0.2nm以下で、MOCVDでエピを重ねる土台に使います。公式は口径の一覧を出しておらず、写真で示すのは2インチです。

向いている所表面の平らさを見る発光デバイス向け

種類：自立基板

GaNの単結晶だけでできた基板です。上にエピの層を重ねて、レーザーダイオードやLED、パワーデバイスを作ります。電気を通すn型と、電気を通しにくい半絶縁性があります。

窒化ガリウム基板（HVPE法）の仕様

種類: 自立基板
口径: 2インチ
導電型: —公式資料で確認できず
下地の基板: —公式資料で確認できず
製法: HVPE法
厚さ: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
純度: —公式資料で確認できず
酸素量: —公式資料で確認できず
層の作り: —公式資料で確認できず
転位密度: —公式資料で確認できず
移動度: —公式資料で確認できず
破壊電圧: —公式資料で確認できず
反り: —公式資料で確認できず
面方位: —公式資料で確認できず
表面の粗さ: Rms0.2nm以下
用途: 紫色・青色・緑色レーザーダイオード、パワーデバイス、高周波デバイス

液相で育てるSCAAT・SCAAT-LPは開発中のため表には載せない。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

	窒化ガリウム基板（HVPE法）三菱ケミカル株式会社	GaN基板住友化学株式会社	GaN基板（青色LD・LED用）住友電気工業株式会社
種類	自立基板	自立基板	自立基板
口径	2インチ	2インチ、4インチ	2インチ、4インチ
導電型	—公式資料で確認できず	n型導電性、半絶縁性（2インチ）	n型
下地の基板	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
製法	HVPE法	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
厚さ	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	400±30μm・400±50μm
価格	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
純度	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
酸素量	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
層の作り	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
転位密度	—公式資料で確認できず	1〜4E6/cm²	—公式資料で確認できず
移動度	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	80cm²/V・s以上
破壊電圧	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
反り	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	30μm以下・50μm以下
面方位	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず	(0001)±1.0°
表面の粗さ	Rms0.2nm以下	—公式資料で確認できず	—公式資料で確認できず
用途	紫色・青色・緑色レーザーダイオード、パワーデバイス、高周波デバイス	レーザーダイオード、高出力LED	青色レーザーダイオード、LED

窒化ガリウムの6製品を比較表で見る

窒化ガリウム基板（HVPE法）のよくある質問

Q.窒化ガリウム基板（HVPE法）はどんな人に向いている？

窒化ガリウム基板（HVPE法）は、表面の平らさを見る発光デバイス向けに使う人向けです。窒化ガリウム基板（HVPE法）は、自社設計のHVPE装置で作る単結晶のGaN基板です。

Q.窒化ガリウム基板（HVPE法）の強みは？

表面の粗さはRms0.2nm以下で、MOCVDでエピを重ねる土台に使います。公式は口径の一覧を出しておらず、写真で示すのは2インチです。

Q.窒化ガリウム基板（HVPE法）はどんな方式？

窒化ガリウム基板（HVPE法）の種類は自立基板です。GaNの単結晶だけでできた基板です。

Q.窒化ガリウム基板（HVPE法）の主な仕様は？

窒化ガリウム基板（HVPE法）の口径は2インチ、製法はHVPE法です。表面の粗さはRms0.2nm以下、用途は紫色・青色・緑色レーザーダイオード、パワーデバイス、高周波デバイスです。

Q.窒化ガリウム基板（HVPE法）とGaN基板はどっちがいい？

表面の平らさを見る発光デバイス向けなら窒化ガリウム基板（HVPE法）、n型と半絶縁性を選べるなら住友化学のGaN基板です。窒化ガリウム基板（HVPE法）の口径は2インチ、製法はHVPE法です。住友化学のGaN基板の口径は2インチ、4インチ、導電型はn型導電性、半絶縁性（2インチ）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

Q.窒化ガリウム基板（HVPE法）とGaN基板（青色LD・LED用）はどっちがいい？

表面の平らさを見る発光デバイス向けなら窒化ガリウム基板（HVPE法）、厚さ・反りの規格を公開なら住友電気工業のGaN基板（青色LD・LED用）⁠で⁠す⁠。窒化ガリウム基板（HVPE法）の口径は2インチ、製法はHVPE法です。住友電気工業のGaN基板（青色LD・LED用）の口径は2インチ、4インチ、厚さは400±30μm・400±50μmです。

Q.窒化ガリウム基板（HVPE法）はどこのメーカー？