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ベローズバルブ高純度ガス用(エア式)

ベローズバルブ FP-71-6.35#A

株式会社フジキン

フジキンの空気圧シリンダー式・メタルガスケット式のベローズバルブ(6.35mm)。

価格
公開価格なし(見積もり)
種類
高純度ガス用(エア式)
向いている所
半導体装置の超高純度ガスの自動弁
カタログ
あり(PDF)

比較表での位置

ベローズバルブ FP-71-6.35#Aは、ベローズバルブのメーカー7社比較⁠の種類「高純度ガス用(エア式)」の4製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 12製品比較表の製品
  • 4製品同じ種類
  • 0製品公開価格あり
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ベローズバルブ FP-71-6.35#A​の強みと方式

空気圧シリンダーで開け閉めする、半導体製造装置向けの細径ベローズバルブです。作動圧は0.34〜0.69MPaで、最高使用圧力は1MPaです。キャップの色で常時開と常時閉を見分けられます。

向いている所半導体装置の超高純度ガスの自動弁

種類:高純度ガス用(エア式)

圧縮空気で開け閉めする型です。空気が切れると閉じる常時閉(NC)と、開く常時開(NO)があります。装置の中で自動で切り替えるガスラインに付けます。

ベローズバルブ FP-71-6.35#A​の仕様

種類
高純度ガス用(エア式)
駆動方式
空気圧シリンダー式
呼び径・サイズ
6.35mm
接続
メタルガスケット式
本体の材質
SUS316L
ベローズの材質
—公式資料で確認できず
使用圧力
1MPa
使える温度
-10〜80℃
Cv値
0.3
シート・ステム先端
—公式資料で確認できず
リーク量
—公式資料で確認できず
作動圧
0.34〜0.69MPa
主な流体
特殊材料ガス、真空
価格
—公式資料で確認できず

公式サイトの通常価格の表示は0円で、価格は記載なし。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

ベローズバルブ FP-71-6.35#A株式会社フジキン高温用ベローズバルブ HBVイハラサイエンス株式会社ベローズバルブ SBB20CS-WCT-EP-316L株式会社キッツエスシーティー
種類高純度ガス用(エア式)高純度ガス用(エア式)高純度ガス用(エア式)
駆動方式空気圧シリンダー式手動、空気作動式(NC・NO)自動(NC)
呼び径・サイズ6.35mm1/4・3/8・1/2インチ20A
接続メタルガスケット式VTF、BI-Lok突合せ溶接
本体の材質SUS316LSUS316L316L
ベローズの材質—公式資料で確認できずSUS316L—公式資料で確認できず
使用圧力1MPaVac.〜1MPa0.98MPa
使える温度-10〜80℃-10〜200℃流体-10〜80℃
Cv値0.30.3・0.6・0.84.5
シート・ステム先端—公式資料で確認できずPEEKPTFE
リーク量—公式資料で確認できず内部5×10-10Pa・m3/sec以下、外部1×10-9Pa・m3/sec以下—公式資料で確認できず
作動圧0.34〜0.69MPa—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
主な流体特殊材料ガス、⁠⁠⁠⁠⁠⁠真空—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

ベローズバルブの12製品を比較表で見る

ベローズバルブ FP-71-6.35#A​のよくある質問

Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aはどんな人に向いている?
ベローズバルブ FP-71-6.35#Aは、半導体装置の超高純度ガスの自動弁に使う人向けです。ベローズバルブ FP-71-6.35#Aは、空気圧シリンダーで開け閉めする、半導体製造装置向けの細径ベローズバルブです。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの強みは?
ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの作動圧は0.34〜0.69MPaで、最高使用圧力は1MPaです。キャップの色で常時開と常時閉を見分けられます。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aはどんな方式?
ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの種類は高純度ガス用(エア式)⁠で⁠す⁠。圧縮空気で開け閉めする型です。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの主な仕様は?
ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの駆動方式は空気圧シリンダー式、呼び径・サイズは6.35mmです。接続はメタルガスケット式、本体の材質はSUS316Lです。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aと高温用ベローズバルブ HBVはどっちがいい?
半導体装置の超高純度ガスの自動弁ならベローズバルブ FP-71-6.35#A、200℃までの高温ガスの配管ならイハラサイエンスの高温用ベローズバルブ HBVです。ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの駆動方式は空気圧シリンダー式、呼び径・サイズは6.35mmです。イハラサイエンスの高温用ベローズバルブ HBVの駆動方式は手動、空気作動式(NC・NO)、呼び径・サイズは1/4・3/8・1/2インチです。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの使用圧力は?
ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの使用圧力は1MPaです。イハラサイエンスの高温用ベローズバルブ HBVの使用圧力はVac.〜1MPaです。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの使える温度は?
ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの使える温度は-10〜80℃です。イハラサイエンスの高温用ベローズバルブ HBVの使える温度は-10〜200℃です。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aとベローズバルブ SBB20CS-WCT-EP-316Lはどっちがいい?
半導体装置の超高純度ガスの自動弁ならベローズバルブ FP-71-6.35#A、20Aの高純度ガス配管の自動弁ならキッツエスシーティーのベローズバルブ SBB20CS-WCT-EP-316Lです。ベローズバルブ FP-71-6.35#Aの駆動方式は空気圧シリンダー式、呼び径・サイズは6.35mmです。キッツエスシーティーのベローズバルブ SBB20CS-WCT-EP-316Lの駆動方式は自動(NC)、呼び径・サイズは20Aです。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aのほかにフジキンのベローズバルブはある?
あります。フジキンのベローズバルブには、ベローズバルブ FP-71-6.35#Aのほかにベローズバルブ FUB-71-6.35(駆動方式は手動)があります。
Q.ベローズバルブ FP-71-6.35#Aはどこのメーカー?
ベローズバルブ FP-71-6.35#Aは株式会社フジキンの製品です。1930年創業・1954年設立のバルブ・継手・流量制御機器メーカー。

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