半導体製造装置の高純度ガスや、真空の配管に付けるベローズバルブを選ぶ設備・保全・購買の担当の方へ

ベローズバルブのメーカー7社比較【2026年】

ベローズバルブは、蛇腹のベローズで弁棒を包み、
流体を外へ漏らさない弁です。

ABOUT

ベローズバルブとは

比較表を見る ↓

ベローズバルブとは、蛇腹のベローズで弁棒を包み、グランドから流体を外へ漏らさない弁です。
半導体の高純度ガスや毒性ガス、真空の配管に使います。
ベローズシールバルブ、パックレスバルブとも呼びます。

製品の特長

金属のベローズで弁棒を包むので、グランドから漏れない（イハラサイエンス）
細い配管のガス弁から、DN80の真空バルブまで幅がある（フジキン・VAT）
同じ型で手動とエア式を選べるものがある（イハラサイエンス CVY）

使うメリット

毒性ガスや特殊材料ガスの配管で、外への漏れを防げる
真空から加圧まで同じ弁で使える型がある（イハラサイエンス CVY、HBV）
シートの材質で、200℃の高温の流体にも使える（イハラサイエンス HBV）

選ぶときに注意すること

最高使用圧力は温度で下がる。カタログの温度と圧力の両方を見る
同じシリーズでも、手動とエア式で圧力の上限が大きく違う型がある
シートの材質でリーク量と温度の上限が変わる
真空バルブは、開けるときの差圧の上限を確かめる

※使い方の注意は、イハラサイエンス HBV のカタログ、スウェージロック SS-8BK-VCR と SS-8BK-VCR-1C の公式仕様、VAT 26.5 の公式仕様をもとに書いています。

LIST

ベローズバルブの比較表

ベローズバルブ12製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
高純度ガス用（手動） 4製品
イハラサイエンス株式会社Y型ベローズバルブ CVYY形で流量の大きい毒性ガス・真空配管口コミを書く	要見積	Y形の流路で流量特性を良くしたベローズバルブで、Cv値は11〜34です。圧力は真空から1MPaまでが標準で、オプションで2MPaまで広げられます。毒性ガスや真空の太めの配管で、手動か常時閉の空気作動式を選べます。	種類高純度ガス用（手動）駆動方式手動、空気作動式（NC）呼び径・サイズ 15A・20A・25A・32A・40A、3/4インチ・1インチ接続 BW、VTF、チューブ本体の材質 SCS16A、SUS316L ベローズの材質 SUS316L 使用圧力 Vac.〜1MPa（オプションでVac.〜2MPa）使える温度 -10〜80℃ Cv値 11〜34 シート・ステム先端 PTFE、PCTFE 主な流体高純度ガス、毒性ガス、真空配管記載なしリーク量・作動圧	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
株式会社キッツエスシーティーベローズバルブ SBB20MS-WCT-EP-316L20Aの高純度ガス配管の手動弁口コミを書く	要見積	20Aの中径配管に溶接で付ける、高純度ガス用の手動ベローズバルブです。Cvは4.5で、細径のガス弁より多く流せます。オプションでパージポートを一次側・二次側・両側に付けられます。	種類高純度ガス用（手動）駆動方式手動呼び径・サイズ 20A 接続突合せ溶接本体の材質 316L 使用圧力 0.98MPa 使える温度流体-10〜100℃ Cv値 4.5 シート・ステム先端 PTFE 記載なしベローズの材質・リーク量・作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様
日本スウェージロックFST株式会社ベローズ・シール・バルブ SS-8BK-VCRVCR継手の高純度ガスの手動弁口コミを書く	要見積	アルミのバーハンドルで開け閉めする、VCR面シール継手のベローズバルブです。最高使用圧力は93℃で57.1bar、37℃で68.9barです。ベローズは321ステンレス鋼、ステム先端はPCTFEです。	種類高純度ガス用（手動）駆動方式手動呼び径・サイズ 1/2インチ接続おすVCR面シール本体の材質 316ステンレス鋼ベローズの材質 321ステンレス鋼使用圧力 93℃で57.1bar、37℃で68.9bar 使える温度 -28〜93℃ Cv値 1.2 シート・ステム先端 PCTFE製ステム・チップ記載なしリーク量・作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様
株式会社フジキンベローズバルブ FUB-71-6.35特殊材料ガスと真空の細い配管口コミを書く	要見積	外径6.35mmの細い配管に付ける、完全禁油の手動ベローズバルブです。接続はメタルガスケット式で、最高使用圧力は1MPaです。半導体の特殊材料ガスや真空のラインで、手で開け閉めする箇所に向きます。	種類高純度ガス用（手動）駆動方式手動呼び径・サイズ 6.35mm 接続メタルガスケット式本体の材質 SUS316L 使用圧力 1MPa 使える温度 -10〜80℃ Cv値 0.3 主な流体特殊材料ガス、真空記載なしベローズの材質・シート・ステム先端・リーク量・作動圧	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
高純度ガス用（エア式） 4製品
イハラサイエンス株式会社高温用ベローズバルブ HBV200℃までの高温ガスの配管口コミを書く	要見積	シートにPEEK樹脂を使い、200℃までの流体に使える樹脂シートのベローズバルブです。接液部を精密洗浄した禁油品で、クリーンルームで組み立てて包装します。常時閉・常時開の自動弁と手動を選べます。	種類高純度ガス用（エア式）駆動方式手動、空気作動式（NC・NO）呼び径・サイズ 1/4・3/8・1/2インチ接続 VTF、BI-Lok 本体の材質 SUS316L ベローズの材質 SUS316L 使用圧力 Vac.〜1MPa 使える温度 -10〜200℃ Cv値 0.3・0.6・0.8 シート・ステム先端 PEEK リーク量内部5×10-10Pa・m3/sec以下、外部1×10-9Pa・m3/sec以下記載なし作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
株式会社キッツエスシーティーベローズバルブ SBB20CS-WCT-EP-316L20Aの高純度ガス配管の自動弁口コミを書く	要見積	20Aの中径配管に溶接で付ける、常時閉の自動ベローズバルブです。Cvは4.5で、流体温度の上限は80℃です。オプションでパージポートを付けられます。	種類高純度ガス用（エア式）駆動方式自動（NC）呼び径・サイズ 20A 接続突合せ溶接本体の材質 316L 使用圧力 0.98MPa 使える温度流体-10〜80℃ Cv値 4.5 シート・ステム先端 PTFE 記載なしベローズの材質・リーク量・作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様
日本スウェージロックFST株式会社ベローズ・シール・バルブ SS-8BK-VCR-1CVCR継手の高純度ガスの自動弁口コミを書く	要見積	ばねで閉じる常時閉の空気式アクチュエーターを載せた、VCR面シール継手のベローズバルブです。93℃で使うときの最高使用圧力は8.6barです。手動の型と同じ1/2インチの継手でそろえられます。	種類高純度ガス用（エア式）駆動方式空気式（NC）呼び径・サイズ 1/2インチ接続おすVCR面シール本体の材質 316ステンレス鋼ベローズの材質 321ステンレス鋼使用圧力 93℃で8.6bar 使える温度 -28〜93℃ Cv値 0.96 シート・ステム先端 PCTFE製ステム・チップ記載なしリーク量・作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様
株式会社フジキンベローズバルブ FP-71-6.35#A半導体装置の超高純度ガスの自動弁口コミを書く	要見積	空気圧シリンダーで開け閉めする、半導体製造装置向けの細径ベローズバルブです。作動圧は0.34〜0.69MPaで、最高使用圧力は1MPaです。キャップの色で常時開と常時閉を見分けられます。	種類高純度ガス用（エア式）駆動方式空気圧シリンダー式呼び径・サイズ 6.35mm 接続メタルガスケット式本体の材質 SUS316L 使用圧力 1MPa 使える温度 -10〜80℃ Cv値 0.3 作動圧 0.34〜0.69MPa 主な流体特殊材料ガス、真空記載なしベローズの材質・シート・ステム先端・リーク量	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
真空用（ストレート型） 3製品
SMC株式会社ストレート型高真空バルブ XYA真空配管の直線部の自動弁口コミを書く	要見積	圧縮空気で動く常時閉の、直線の流路の高真空用バルブです。本体はステンレスで、ガス溜まりのない精密鋳造の一体構造です。フランジサイズは16〜80で、ストレート型に16はありません。	種類真空用（ストレート型）駆動方式エアオペレート、単動（N.C.）呼び径・サイズフランジサイズ16〜80（ストレート型に16は無し）本体の材質 SCS13 ベローズの材質 SUS316L 記載なし接続・使用圧力・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・リーク量・作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様
SMC株式会社ストレート型高真空バルブ XYH真空配管の直線部の手動弁口コミを書く	要見積	L型ではなく直線の流路で配管に入れる、ステンレス本体の高真空用バルブです。ガス溜まりのない精密鋳造の一体構造で、ベローズはSUS316Lです。フランジサイズは16〜50で、ストレート型に16はありません。	種類真空用（ストレート型）駆動方式手動呼び径・サイズフランジサイズ16〜50（ストレート型に16は無し）本体の材質 SCS13 ベローズの材質 SUS316L 記載なし接続・使用圧力・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・リーク量・作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様
VAT Japan Ltd.高真空管内バルブ 26.5高真空の排気ラインの直線部口コミを書く	要見積	配管の途中に直線で入れる高真空用のベローズバルブです。DN10〜80の幅があり、手動・圧空・電磁の駆動から選べます。本体はアルミとステンレスがあり、低いガス放出が要る排気系に使います。	種類真空用（ストレート型）駆動方式手動、圧空作動、電磁呼び径・サイズ DN10〜80 接続 ISO-KF、ISO-K 本体の材質アルミニウム、ステンレス鋼使用圧力 1×10-8mbar〜5bar（DN16〜50）リーク量 1×10-9mbar ls-1未満記載なしベローズの材質・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・作動圧・主な流体	公式ページへ詳細・仕様
PTFEベローズ 1製品
ビュルケルトジャパン株式会社PTFEベローズバルブタイプ2080腐食性の液を流量を分けて流す口コミを書く	要見積	金属でなくPTFEのベローズで流体を分ける、空圧駆動のオン・オフ弁です。全閉と全開のほか、中間を入れた3ポジションの機種があり、液の充填で流量を段階に分けられます。オリフィスはDN6〜DN10です。	種類 PTFEベローズ駆動方式空圧駆動、2ポジションまたは3ポジション呼び径・サイズオリフィスDN6〜DN10 ベローズの材質 PTFE 主な流体中性流体、腐食性流体記載なし接続・本体の材質・使用圧力・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・リーク量・作動圧	公式ページへ詳細・仕様

高純度ガス用（手動）4製品

イハラサイエンス株式会社

Y型ベローズバルブ CVY

Y形で流量の大きい毒性ガス・真空配管

Y形の流路で流量特性を良くしたベローズバルブで、Cv値は11〜34です。圧力は真空から1MPaまでが標準で、オプションで2MPaまで広げられます。毒性ガスや真空の太めの配管で、手動か常時閉の空気作動式を選べます。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（手動）
駆動方式: 手動、空気作動式（NC）
呼び径・サイズ: 15A・20A・25A・32A・40A、3/4インチ・1インチ
接続: BW、VTF、チューブ
本体の材質: SCS16A、SUS316L
ベローズの材質: SUS316L
使用圧力: Vac.〜1MPa（オプションでVac.〜2MPa）
使える温度: -10〜80℃
Cv値: 11〜34
シート・ステム先端: PTFE、PCTFE
主な流体: 高純度ガス、毒性ガス、真空配管
記載なし: リーク量・作動圧

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株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ SBB20MS-WCT-EP-316L

20Aの高純度ガス配管の手動弁

20Aの中径配管に溶接で付ける、高純度ガス用の手動ベローズバルブです。Cvは4.5で、細径のガス弁より多く流せます。オプションでパージポートを一次側・二次側・両側に付けられます。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（手動）
駆動方式: 手動
呼び径・サイズ: 20A
接続: 突合せ溶接
本体の材質: 316L
使用圧力: 0.98MPa
使える温度: 流体-10〜100℃
Cv値: 4.5
シート・ステム先端: PTFE
記載なし: ベローズの材質・リーク量・作動圧・主な流体

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日本スウェージロックFST株式会社

ベローズ・シール・バルブ SS-8BK-VCR

VCR継手の高純度ガスの手動弁

アルミのバーハンドルで開け閉めする、VCR面シール継手のベローズバルブです。最高使用圧力は93℃で57.1bar、37℃で68.9barです。ベローズは321ステンレス鋼、ステム先端はPCTFEです。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（手動）
駆動方式: 手動
呼び径・サイズ: 1/2インチ
接続: おすVCR面シール
本体の材質: 316ステンレス鋼
ベローズの材質: 321ステンレス鋼
使用圧力: 93℃で57.1bar、37℃で68.9bar
使える温度: -28〜93℃
Cv値: 1.2
シート・ステム先端: PCTFE製ステム・チップ
記載なし: リーク量・作動圧・主な流体

特殊材料ガスと真空の細い配管

外径6.35mmの細い配管に付ける、完全禁油の手動ベローズバルブです。接続はメタルガスケット式で、最高使用圧力は1MPaです。半導体の特殊材料ガスや真空のラインで、手で開け閉めする箇所に向きます。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（手動）
駆動方式: 手動
呼び径・サイズ: 6.35mm
接続: メタルガスケット式
本体の材質: SUS316L
使用圧力: 1MPa
使える温度: -10〜80℃
Cv値: 0.3
主な流体: 特殊材料ガス、真空
記載なし: ベローズの材質・シート・ステム先端・リーク量・作動圧

高純度ガス用（エア式）4製品

200℃までの高温ガスの配管

シートにPEEK樹脂を使い、200℃までの流体に使える樹脂シートのベローズバルブです。接液部を精密洗浄した禁油品で、クリーンルームで組み立てて包装します。常時閉・常時開の自動弁と手動を選べます。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（エア式）
駆動方式: 手動、空気作動式（NC・NO）
呼び径・サイズ: 1/4・3/8・1/2インチ
接続: VTF、BI-Lok
本体の材質: SUS316L
ベローズの材質: SUS316L
使用圧力: Vac.〜1MPa
使える温度: -10〜200℃
Cv値: 0.3・0.6・0.8
シート・ステム先端: PEEK
リーク量: 内部5×10-10Pa・m3/sec以下、外部1×10-9Pa・m3/sec以下
記載なし: 作動圧・主な流体

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株式会社キッツエスシーティー

ベローズバルブ SBB20CS-WCT-EP-316L

20Aの高純度ガス配管の自動弁

20Aの中径配管に溶接で付ける、常時閉の自動ベローズバルブです。Cvは4.5で、流体温度の上限は80℃です。オプションでパージポートを付けられます。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（エア式）
駆動方式: 自動（NC）
呼び径・サイズ: 20A
接続: 突合せ溶接
本体の材質: 316L
使用圧力: 0.98MPa
使える温度: 流体-10〜80℃
Cv値: 4.5
シート・ステム先端: PTFE
記載なし: ベローズの材質・リーク量・作動圧・主な流体

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日本スウェージロックFST株式会社

ベローズ・シール・バルブ SS-8BK-VCR-1C

VCR継手の高純度ガスの自動弁

ばねで閉じる常時閉の空気式アクチュエーターを載せた、VCR面シール継手のベローズバルブです。93℃で使うときの最高使用圧力は8.6barです。手動の型と同じ1/2インチの継手でそろえられます。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（エア式）
駆動方式: 空気式（NC）
呼び径・サイズ: 1/2インチ
接続: おすVCR面シール
本体の材質: 316ステンレス鋼
ベローズの材質: 321ステンレス鋼
使用圧力: 93℃で8.6bar
使える温度: -28〜93℃
Cv値: 0.96
シート・ステム先端: PCTFE製ステム・チップ
記載なし: リーク量・作動圧・主な流体

半導体装置の超高純度ガスの自動弁

空気圧シリンダーで開け閉めする、半導体製造装置向けの細径ベローズバルブです。作動圧は0.34〜0.69MPaで、最高使用圧力は1MPaです。キャップの色で常時開と常時閉を見分けられます。

コスト要見積

種類: 高純度ガス用（エア式）
駆動方式: 空気圧シリンダー式
呼び径・サイズ: 6.35mm
接続: メタルガスケット式
本体の材質: SUS316L
使用圧力: 1MPa
使える温度: -10〜80℃
Cv値: 0.3
作動圧: 0.34〜0.69MPa
主な流体: 特殊材料ガス、真空
記載なし: ベローズの材質・シート・ステム先端・リーク量

真空用（ストレート型）3製品

真空配管の直線部の自動弁

圧縮空気で動く常時閉の、直線の流路の高真空用バルブです。本体はステンレスで、ガス溜まりのない精密鋳造の一体構造です。フランジサイズは16〜80で、ストレート型に16はありません。

コスト要見積

種類: 真空用（ストレート型）
駆動方式: エアオペレート、単動（N.C.）
呼び径・サイズ: フランジサイズ16〜80（ストレート型に16は無し）
本体の材質: SCS13
ベローズの材質: SUS316L
記載なし: 接続・使用圧力・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・リーク量・作動圧・主な流体

真空配管の直線部の手動弁

L型ではなく直線の流路で配管に入れる、ステンレス本体の高真空用バルブです。ガス溜まりのない精密鋳造の一体構造で、ベローズはSUS316Lです。フランジサイズは16〜50で、ストレート型に16はありません。

コスト要見積

種類: 真空用（ストレート型）
駆動方式: 手動
呼び径・サイズ: フランジサイズ16〜50（ストレート型に16は無し）
本体の材質: SCS13
ベローズの材質: SUS316L
記載なし: 接続・使用圧力・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・リーク量・作動圧・主な流体

高真空の排気ラインの直線部

配管の途中に直線で入れる高真空用のベローズバルブです。DN10〜80の幅があり、手動・圧空・電磁の駆動から選べます。本体はアルミとステンレスがあり、低いガス放出が要る排気系に使います。

コスト要見積

種類: 真空用（ストレート型）
駆動方式: 手動、圧空作動、電磁
呼び径・サイズ: DN10〜80
接続: ISO-KF、ISO-K
本体の材質: アルミニウム、ステンレス鋼
使用圧力: 1×10-8mbar〜5bar（DN16〜50）
リーク量: 1×10-9mbar ls-1未満
記載なし: ベローズの材質・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・作動圧・主な流体

PTFEベローズ1製品

腐食性の液を流量を分けて流す

金属でなくPTFEのベローズで流体を分ける、空圧駆動のオン・オフ弁です。全閉と全開のほか、中間を入れた3ポジションの機種があり、液の充填で流量を段階に分けられます。オリフィスはDN6〜DN10です。

コスト要見積

種類: PTFEベローズ
駆動方式: 空圧駆動、2ポジションまたは3ポジション
呼び径・サイズ: オリフィスDN6〜DN10
ベローズの材質: PTFE
主な流体: 中性流体、腐食性流体
記載なし: 接続・本体の材質・使用圧力・使える温度・Cv値・シート・ステム先端・リーク量・作動圧

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詳細・仕様口コミを書く

出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/kikaiyoso/bellows-valve/／各社の公式資料（2026年11月6日確認）

Q&A

ベローズバルブ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問ベローズバルブの価格は？

今回の12製品は、どれもメーカーの公式サイトに値段を出していません。フジキンの公式サイトは価格の欄に金額が入っておらず、スウェージロックはログインしないと価格を見られません。呼び径と接続を決めて、見積もりをとります。

設備担当の疑問ベローズバルブとダイヤフラムバルブの違いは？

ベローズバルブは蛇腹で弁棒を包み、弁棒が動いて流れを止めます。ダイヤフラムバルブは膜を弁座に押し付けて止めます。フジキンのカタログは FP-71-6.35#A を超高純度流体のライン向けとしていて、ダイヤフラムバルブの比較は別のページにまとめています。

設備担当の疑問ベローズバルブとストップバルブの違いは？

玉形のストップバルブにも、ベローズ形があります。この比較は、半導体のガス配管と真空の配管に使う小さな型を扱います。ビル設備や工場の蒸気配管の玉形弁は、ストップバルブの比較で見ます。

設備担当の疑問手動とエア式はどちらを選ぶ？

人が操作する元弁は手動で足ります。装置が自動で切り替える箇所はエア式です。SBB20MS-WCT-EP-316L と SBB20CS-WCT-EP-316L は同じ20Aで、流体温度の上限が手動100℃、自動80℃と違います。

設備担当の疑問Cv値はどのくらい違う？

FUB-71-6.35 と FP-71-6.35#A は0.3、SS-8BK-VCR は1.2、SBB20MS-WCT-EP-316L は4.5、CVY は11〜34です。流す量が多いなら、配管の径と一緒に上げます。

設備担当の疑問使用圧力の上限は？

表の中で上限が高いのは SS-8BK-VCR で、37℃で68.9bar、93℃で57.1barです。同じ径のエア式の SS-8BK-VCR-1C は93℃で8.6barまでなので、駆動方式を変えるときは圧力を見直します。FUB-71-6.35 は1MPa、SBB20MS-WCT-EP-316L は0.98MPaです。

設備担当の疑問高温のガスに使えるベローズバルブは？

イハラサイエンスの HBV は、シートに PEEK を使い、-10〜200℃で使えます。ほかの高純度ガス用は、CVY と FUB-71-6.35 が80℃まで、SS-8BK-VCR が93℃までです。

設備担当の疑問真空の配管に使える？

CVY と HBV は圧力の範囲が Vac.から始まり、FUB-71-6.35 は特徴に真空とあります。排気のように太い配管は、SMC の XYH と XYA、VAT の 26.5 のような真空用のストレート型を選びます。L型はアングルバルブの比較で見ます。

設備担当の疑問リーク量はどう比べる？

数字を公式に出しているのは、HBV の内部5×10-10Pa・m3/sec以下、外部1×10-9Pa・m3/sec以下と、VAT 26.5 の1×10-9mbar ls-1未満です。単位が違うので、そろえてから比べます。

設備担当の疑問PTFEベローズバルブはいつ使う？

金属を嫌う腐食性の液に使います。ビュルケルトのタイプ2080は PTFE のベローズで流体を分け、空圧で動かします。全閉と全開のほかに中間で止まる機種があり、充填で流量を分けられます。

施設管理の疑問ベローズバルブの寿命は？

フジキンの空気圧シリンダー式のカタログには、耐久500万回以上（実験値）とあります。型で違うので、カタログで型ごとに確かめます。

TYPES

ベローズバルブの種類の違い

高純度ガス用（手動）

ハンドルを回して開け閉めする型です。弁棒を金属のベローズで包むので、グランドからガスが漏れません。装置の元弁や、人が操作するガスラインに付けます。

向いている使い方

ガスラインの手元の止め弁
毒性ガス配管の元弁
真空を引くラインの手動弁

根拠：外部シールに金属製のベローズを使用し、高気密性を実現したバルブです。（出典8）

この種類の4製品を表で見る

高純度ガス用（エア式）

圧縮空気で開け閉めする型です。空気が切れると閉じる常時閉（NC）と、開く常時開（NO）があります。装置の中で自動で切り替えるガスラインに付けます。

向いている使い方

半導体製造装置のガス切り替え
超高純度流体のライン
高温ガスの自動弁

根拠：空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体（出典3）

この種類の4製品を表で見る

真空用（ストレート型）

真空の配管に直線で入れる型です。KF などのフランジでつなぎ、径が大きいので排気に使います。手動とエア式があります。L型はアングルバルブの比較で扱います。

向いている使い方

真空ポンプの排気ライン
配管を曲げずに弁を入れる
真空装置のベントの切り替え

根拠：26.5は、低ガス放出率が重要なときの、高真空システムのポンプおよび排気に最適です（出典12）

この種類の3製品を表で見る

PTFEベローズ

金属でなく PTFE のベローズで、流体と駆動部を分ける型です。腐食性の液に使えます。空圧で動かし、全開と全閉のほかに中間で止める機種もあります。

向いている使い方

腐食性の液のライン
液の充填で流量を2段に分ける
無菌のプロセスの配管

根拠：中性流体、腐食性流体向けのPTFEベローズバルブ（出典13）

この種類の1製品を表で見る

MAKERS

ベローズバルブの主なメーカー7社

日本スウェージロックFST株式会社

アルミのバーハンドルで開け閉めする、VCR面シール継手のベローズバルブです。

兵庫県

VAT Japan Ltd.

配管の途中に直線で入れる高真空用のベローズバルブです。

東京都

高真空管内バルブ 26.5

ビュルケルトジャパン株式会社

金属でなくPTFEのベローズで流体を分ける、空圧駆動のオン・オフ弁です。

東京都

PTFEベローズバルブタイプ2080

株式会社フジキン

外径6.35mmの細い配管に付ける、完全禁油の手動ベローズバルブです。

東京都

出典

掲載基準

半導体製造装置の高純度ガス、真空の配管、腐食性の液のラインに業務で使うベローズバルブ（ベローズシールバルブ）で、メーカーが自社か自社グループで作り、日本法人か日本の会社が公式サイトで今案内していて、型番か型式の単位で仕様を確かめられた製品です。ベローズだけの部品はベローズ、膜で流路をふさぐ弁はダイヤフラムバルブ、ビル設備や工場の蒸気配管のベローズ形玉形弁はストップバルブ、真空用のL型バルブはアングルバルブの比較で扱います。アルバック・キヤノンアネルバ・入江工研のベローズ入り真空バルブは、公式サイトで案内している型がL型なので載せていません。藤川伝導機は公式サイトに総合商社とあり、バリューインパクトのTK-FUJIKIN製品は販売元の製品のため載せていません。スウェージロックは米国スウェージロック社の製品を、完全子会社の日本スウェージロックFSTが日本で売っています。SMCはカタログがユーザ登録者向けで、公開ページで確かめた範囲だけを載せました。ビュルケルトは日本語の公式ページで確かめた範囲だけを載せました。値段を公開している製品が無いので、安め・高めの判定はしていません。

ベローズバルブを作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

ベローズバルブのメーカー7社比較【2026年】

ベローズバルブとは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること

ベローズバルブの比較表

高純度ガス用（手動）

高純度ガス用（エア式）

真空用（ストレート型）

PTFEベローズ

ベローズバルブ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問ベローズバルブの価格は？

設備担当の疑問ベローズバルブとダイヤフラムバルブの違いは？

設備担当の疑問ベローズバルブとストップバルブの違いは？

設備担当の疑問手動とエア式はどちらを選ぶ？

設備担当の疑問Cv値はどのくらい違う？

設備担当の疑問使用圧力の上限は？

設備担当の疑問高温のガスに使えるベローズバルブは？

設備担当の疑問真空の配管に使える？

設備担当の疑問リーク量はどう比べる？

設備担当の疑問PTFEベローズバルブはいつ使う？

施設管理の疑問ベローズバルブの寿命は？

ベローズバルブの種類の違い

高純度ガス用（手動）

高純度ガス用（エア式）

真空用（ストレート型）

PTFEベローズ

ベローズバルブの主なメーカー7社

イハラサイエンス株式会社

SMC株式会社

株式会社キッツエスシーティー

日本スウェージロックFST株式会社

VAT Japan Ltd.

ビュルケルトジャパン株式会社

株式会社フジキン

引用