ベローズバルブとは？種類（手動・エア式・真空用・PTFE）と選び方

ベローズバルブとは

ベローズバルブは、弁棒のまわりを蛇腹のベローズで包んだ弁です。グランドから漏れないので、半導体の高純度ガスや毒性ガス、真空の配管に使います。ベローズシールバルブ、パックレスバルブとも呼びます。

比較ページには、メーカーの代表の型番を、公式資料の値で並べています。

4つの種類

選ぶときは「流すもの」「動かし方」「配管の径」の3つを先に決めます。

• 高純度ガス用（手動）：ハンドルで開け閉めします。元弁や人が操作するラインに付けます。
• 高純度ガス用（エア式）：圧縮空気で動きます。常時閉と常時開があり、装置の切り替えに使います。
• 真空用（ストレート型）：フランジで配管に直線で入れます。太い排気のラインに使います。
• PTFEベローズ：樹脂のベローズで流体と駆動部を分けます。腐食性の液に使います。

Cv値で流す量を見る

• フジキンの FUB-71-6.35 は、Cv値0.3です。
• スウェージロックの SS-8BK-VCR は、Cv値1.2です。
• キッツエスシーティーの SBB20MS-WCT-EP-316L は、Cv値4.5です。
• イハラサイエンスの CVY は、Cv値11〜34です。

圧力と温度の見方

• 最高使用圧力は温度で下がります。SS-8BK-VCR は、37℃で68.9bar、93℃で57.1barです。
• 同じ径でも駆動方式で変わります。エア式の SS-8BK-VCR-1C は、93℃で8.6barです。
• 高温のガスには、PEEK のシートを使うイハラサイエンスの HBV があり、-10〜200℃で使えます。

真空の配管に使うとき

• CVY と HBV は、圧力の範囲が Vac.から始まります。
• SMC の XYH は手動、XYA はエア式のストレート型で、本体は SCS13、ベローズは SUS316L ⁠⁠⁠です。
• VAT の 26.5 は、DN10〜80 の大きさがあり、手動・圧空・電磁の駆動から選べます。
• VAT の 26.5 は、開けるときの差圧の上限が1barです。差圧をかけたまま開ける配管では先に確かめます。
• L型のバルブは、アングルバルブの比較で扱っています。

値段

今回の12製品は、どれも公式サイトに値段を出していません。呼び径と接続を決めて、見積もりをとります。