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化学・半導体・水処理・食品医薬の工場で、薬液や純水、高純度ガスの配管に付けるダイヤフラムバルブを選ぶ設備・保全・購買の担当の方へ

ダイヤフラムバルブのメーカー8社比較【2026年】

ダイヤフラムバルブは、膜(ダイヤフラム)を弁座に押し付けて、
配管の流れを開け閉めする弁です。

ABOUT

ダイヤフラムバルブとは

比較表を見る ↓

ダイヤフラムバルブとは、膜(ダイヤフラム)を本体の弁座に押し付けて、配管の流れを止める弁です。
流体が駆動部に触れないので、薬液・純水・高純度ガスの配管に使います。
膜のことを隔膜とも呼びます。

製品の特長

  • 膜で流路と駆動部を分けるので、流体が摺動部に触れない(CKD LAD)
  • 本体と膜の材質を組み合わせて、流す液に合わせられる(日本ダイヤバルブ 400形)
  • 流路に溜まりが少なく、洗いやすい型がある(ストレート形・メタルダイヤフラム)

使うメリット

  • 樹脂やライニングの本体で、酸・アルカリなどの薬液に使える
  • 膜を替えれば、本体はそのまま使い続けられる(旭有機材 14型、キッツエスシーティー KD-⁠E)
  • 同じ本体に、手動・空気操作・電動の駆動部を載せられる(日本ダイヤバルブ 400形)

選ぶときに注意すること

  1. スラリーや異物を含む流体は、部材の摩耗や動作不良の原因になる
  2. 膜を締めるボルトは温度の変化や時間でゆるむので、定期的に増し締めする
  3. 配管したあとの漏れ試験は、気体ではなく水圧で行う
  4. 使える温度と圧力は、本体と膜の材質で変わる

※使い方の注意は、積水化学工業 エスロン ダイヤフラムバルブの説明資料と、旭有機材 ダイヤフラムバルブ14型の取扱説明書の記載。仕様は各メーカーの公式資料の記載。

LIST

ダイヤフラムバルブの比較表

コストは、値段を公開している製品どうしで比べています。値段を出していない製品は「要見積」。

CSV

ダイヤフラムバルブ11製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

手動ダイヤフラムバルブ

4製品
旭有機材株式会社ダイヤフラムバルブ 14型樹脂配管の薬液・純水ラインの手動弁口コミを書く要見積

ダイヤフラムとコンプレッサーのはめ合いにバイヨネット構造を使い、膜をワンタッチで替えられます。ボディはU-PVC・C-PVC・PP・PVDF、膜はEPDM・PTFE・FKMから選べます。開け閉めの状態は色付きのインジケーターで見分けられます。

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動(ハンドル)
呼び径・サイズ
15〜100mm
接続
フランジ形(JIS 10K)
本体の材質
U-PVC、C-PVC、PP、PVDF
膜の材質
EPDM、PTFE、FKM
記載なし
使用圧力・使える温度・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ(PDF)
積水化学工業株式会社エスロン ダイヤフラムバルブ薬液・排水の樹脂配管の手動弁口コミを書く要見積

隔膜と堰の形を合わせ込み、小さな力で閉め切れる手動弁です。ハンドルに隔膜を守る締めすぎ防止の仕組みと、開き具合のインジケータが入っています。ボンネットは雨水やほこりが入らない作りです。

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動
呼び径・サイズ
15〜250(フランジ式)
接続
フランジ式、TS式、ねじ式、バット融着式
本体の材質
PVC、HT、PP、PVDF
膜の材質
EPDM、FKM、PTFE
使える温度
PVCは0〜60℃、PVDFは0〜120℃(フランジ)
記載なし
使用圧力・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ(PDF)
日本ダイヤバルブ株式会社ウェア形ダイヤフラム弁 400形腐食性の液・スラリーの大口径配管口コミを書く要見積

流路に堰(ウェア)をもつ基本形で、本体と膜の組み合わせを流体に合わせて選べます。本体は鋳鉄・ステンレス鋼のほか、ゴム・PFA・ETFE・ガラスの内張りがあり、特殊合金より安く腐食に強くできます。同じ本体に空気操作式・電動操作式の駆動部も付けられます。

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動(ハンドル式)
呼び径・サイズ
DN15〜300
接続
フランジ式、ねじ込み式、溶接型
本体の材質
鋳鉄、ステンレス鋼、ゴム引、樹脂引、ガラス引
膜の材質
ゴム、ふっ素樹脂
使える温度
ゴム膜で-40〜120℃(材質で変わる)
主な使い道
水処理、化学、医薬・バイオ、食品、半導体
記載なし
使用圧力・使える流体・電源・Cv値
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ(PDF)
株式会社フジキン手動ウエアダイヤフラムバルブ BNWM-PE-⁠7食品・医薬の衛生配管口コミを書く要見積

SUS316Lのステンレス本体に堰をもつウエア形で、クランプでつなぐ衛生配管向けの手動弁です。最高使用圧力は0.35MPa、使える温度は-5〜140℃です。1級禁油の処理をしています。

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動
呼び径・サイズ
100A
接続
クランプ(⁠フェルール式)
本体の材質
ステンレス鋼(SUS316L)
使用圧力
0.35MPa
使える温度
-5〜140℃
記載なし
膜の材質・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

エア式ダイヤフラムバルブ

2製品
SMC株式会社薬液用エアオペレートバルブ LVA装置の薬液ラインの自動の開け閉め口コミを書く要見積

ボディをNew PFA・SUS・PPSから、膜をPTFE・EPR・NBRから選べる、ねじ込み型の薬液用エアオペレートバルブです。常時閉・常時開・複動の弁形式があります。SUSボディの型は有機溶剤に使えます。

方式
エア式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
エア式(N.C.、N.O.、⁠⁠⁠複動)
呼び径・サイズ
1/8〜1インチ
接続
ねじ込み型
本体の材質
New PFA、SUS、PPS
膜の材質
PTFE、EPR、NBR
使える流体
薬液、有機溶剤(⁠SUSボディ)
記載なし
使用圧力・使える温度・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
CKD株式会社ダイアフラム式シリンダバルブ LAD1純水・窒素ガスのクリーンな配管口コミを書く要見積

摺動部を流路から離したクリーンタイプで、ノングリースの流路を保てます。ボディはPPS樹脂かステンレス、ダイアフラムはPTFEかEPDMから選べ、一般流体から窒素ガス・純水まで使えます。手動の流量調整機構をオプションで付けられます。

方式
エア式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
エア式(NC形)
呼び径・サイズ
Rc3/8〜1
接続
Rcねじ
本体の材質
PPS、ステンレス
膜の材質
PTFE、EPDM
使える流体
一般流体、窒素ガス、⁠⁠⁠純水
記載なし
使用圧力・使える温度・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

電動式ダイヤフラムバルブ

2製品
旭有機材株式会社ダイヤフラムバルブ 14型 電動式J型樹脂配管の薬液ラインを電気で開け閉め口コミを書く要見積

電源がAC24〜240Vのユニバーサル電源で、日本以外の設備にもそのまま使えます。アクチュエータのケースはポリアミド樹脂で、さびや腐食に強く、水にも強い作りです。従来のH型よりアクチュエータを小さく軽くしています。

方式
電動式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
電動式
呼び径・サイズ
15〜100mm
電源
AC24〜240V(ユニバーサル電源)
記載なし
接続・本体の材質・膜の材質・使用圧力・使える温度・使える流体・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
積水化学工業株式会社エスロン KS型電動式ダイヤフラムバルブ樹脂配管の流量をゆっくり合わせる口コミを書く要見積

モーターでゆっくり開け閉めする型なので、流量を合わせやすく、ウォーターハンマも抑えられます。前面の開度インジケータで開き具合が見えます。止まったときは頂部のノブを外し、付属のボックスレンチで手で開け閉めできます。

方式
電動式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
電動式
呼び径・サイズ
15〜150
本体の材質
PVC、HT、PP、PVDF
使える温度
PVCは0〜60℃、PVDFは0〜120℃(フランジ)
電源
単相AC100・200V(50/60Hz)
記載なし
接続・膜の材質・使用圧力・使える流体・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ(PDF)

高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)

3製品
イハラサイエンス株式会社メタルダイヤフラムバルブ内蔵型管継手 DVF装置内の高純度ガス配管を軽くする口コミを書く要見積

メタルダイヤフラムバルブを管継手に組み込み、軽く小さくまとめた型です。膜はステンレスのSUS631で、Co-Ni合金も選べます。使える圧力は真空から1MPaまでで、接液部は禁油処理をしています。

方式
高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)
操作の方式
手動、自動(ノーマルクローズ、ノーマルオープン)
呼び径・サイズ
1/4・3/8・1/2インチ
接続
VTF(オス)、VTF⁠(メス)
膜の材質
SUS631、Co-Ni合金
使用圧力
真空〜1MPa
記載なし
本体の材質・使える温度・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ(PDF)
株式会社キッツエスシーティー材料容器用ダイヤフラムバルブ KD-⁠E半導体材料の容器の封止弁口コミを書く要見積

シートとダイヤフラムを外して替えられる構造で、ボディと駆動部はそのまま使い続けられます。専用の交換工具で、シートと膜を正しい位置に付け直せます。溶接でつなぐ材料容器の弁のように、交換や洗浄の多い所に向きます。

方式
高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)
接続
溶接接続
膜の材質
交換式(シートと一緒に外せる)
主な使い道
半導体の材料容器の封止弁
記載なし
操作の方式・呼び径・サイズ・本体の材質・使用圧力・使える温度・使える流体・電源・Cv値
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
株式会社フジキンメタルダイヤフラムバルブ FUBD-71G半導体の特殊材料ガスの配管口コミを書く要見積

膜まで金属のメタルダイヤフラムバルブで、半導体の特殊材料ガスに使います。12.7mmでCv値1.5と流れが大きい型です。SUS316L製で、完全禁油の処理をしています。

方式
高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)
操作の方式
手動
呼び径・サイズ
12.7mm
接続
メタルガスケット式
本体の材質
ステンレス鋼(SUS316L)
膜の材質
金属
使用圧力
1MPa
使える温度
-10〜40℃
使える流体
特殊材料ガス
Cv値
1.5
記載なし
電源・主な使い道
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

手動ダイヤフラムバルブ4製品

旭有機材株式会社

ダイヤフラムバルブ 14型

樹脂配管の薬液・純水ラインの手動弁

ダイヤフラムとコンプレッサーのはめ合いにバイヨネット構造を使い、膜をワンタッチで替えられます。ボディはU-PVC・C-PVC・PP・PVDF、膜はEPDM・PTFE・FKMから選べます。開け閉めの状態は色付きのインジケーターで見分けられます。

コスト要見積

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動(ハンドル)
呼び径・サイズ
15〜100mm
接続
フランジ形(JIS 10K)
本体の材質
U-PVC、C-PVC、PP、PVDF
膜の材質
EPDM、PTFE、FKM
記載なし
使用圧力・使える温度・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ
積水化学工業株式会社

エスロン ダイヤフラムバルブ

薬液・排水の樹脂配管の手動弁

隔膜と堰の形を合わせ込み、小さな力で閉め切れる手動弁です。ハンドルに隔膜を守る締めすぎ防止の仕組みと、開き具合のインジケータが入っています。ボンネットは雨水やほこりが入らない作りです。

コスト要見積

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動
呼び径・サイズ
15〜250(フランジ式)
接続
フランジ式、TS式、ねじ式、バット融着式
本体の材質
PVC、HT、PP、PVDF
膜の材質
EPDM、FKM、PTFE
使える温度
PVCは0〜60℃、PVDFは0〜120℃(フランジ)
記載なし
使用圧力・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ
日本ダイヤバルブ株式会社

ウェア形ダイヤフラム弁 400形

腐食性の液・スラリーの大口径配管

流路に堰(ウェア)をもつ基本形で、本体と膜の組み合わせを流体に合わせて選べます。本体は鋳鉄・ステンレス鋼のほか、ゴム・PFA・ETFE・ガラスの内張りがあり、特殊合金より安く腐食に強くできます。同じ本体に空気操作式・電動操作式の駆動部も付けられます。

コスト要見積

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動(ハンドル式)
呼び径・サイズ
DN15〜300
接続
フランジ式、ねじ込み式、溶接型
本体の材質
鋳鉄、ステンレス鋼、ゴム引、樹脂引、ガラス引
膜の材質
ゴム、ふっ素樹脂
使える温度
ゴム膜で-40〜120℃(材質で変わる)
主な使い道
水処理、化学、医薬・バイオ、食品、半導体
記載なし
使用圧力・使える流体・電源・Cv値
公式ページへ
株式会社フジキン

手動ウエアダイヤフラムバルブ BNWM-PE-⁠7

食品・医薬の衛生配管

SUS316Lのステンレス本体に堰をもつウエア形で、クランプでつなぐ衛生配管向けの手動弁です。最高使用圧力は0.35MPa、使える温度は-5〜140℃です。1級禁油の処理をしています。

コスト要見積

方式
手動ダイヤフラムバルブ
操作の方式
手動
呼び径・サイズ
100A
接続
クランプ(⁠フェルール式)
本体の材質
ステンレス鋼(SUS316L)
使用圧力
0.35MPa
使える温度
-5〜140℃
記載なし
膜の材質・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ

エア式ダイヤフラムバルブ2製品

SMC株式会社

薬液用エアオペレートバルブ LVA

装置の薬液ラインの自動の開け閉め

ボディをNew PFA・SUS・PPSから、膜をPTFE・EPR・NBRから選べる、ねじ込み型の薬液用エアオペレートバルブです。常時閉・常時開・複動の弁形式があります。SUSボディの型は有機溶剤に使えます。

コスト要見積

方式
エア式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
エア式(N.C.、N.O.、⁠⁠⁠複動)
呼び径・サイズ
1/8〜1インチ
接続
ねじ込み型
本体の材質
New PFA、SUS、PPS
膜の材質
PTFE、EPR、NBR
使える流体
薬液、有機溶剤(⁠SUSボディ)
記載なし
使用圧力・使える温度・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ
CKD株式会社

ダイアフラム式シリンダバルブ LAD1

純水・窒素ガスのクリーンな配管

摺動部を流路から離したクリーンタイプで、ノングリースの流路を保てます。ボディはPPS樹脂かステンレス、ダイアフラムはPTFEかEPDMから選べ、一般流体から窒素ガス・純水まで使えます。手動の流量調整機構をオプションで付けられます。

コスト要見積

方式
エア式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
エア式(NC形)
呼び径・サイズ
Rc3/8〜1
接続
Rcねじ
本体の材質
PPS、ステンレス
膜の材質
PTFE、EPDM
使える流体
一般流体、窒素ガス、⁠⁠⁠純水
記載なし
使用圧力・使える温度・電源・Cv値・主な使い道
公式ページへ

電動式ダイヤフラムバルブ2製品

旭有機材株式会社

ダイヤフラムバルブ 14型 電動式J型

樹脂配管の薬液ラインを電気で開け閉め

電源がAC24〜240Vのユニバーサル電源で、日本以外の設備にもそのまま使えます。アクチュエータのケースはポリアミド樹脂で、さびや腐食に強く、水にも強い作りです。従来のH型よりアクチュエータを小さく軽くしています。

コスト要見積

方式
電動式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
電動式
呼び径・サイズ
15〜100mm
電源
AC24〜240V(ユニバーサル電源)
記載なし
接続・本体の材質・膜の材質・使用圧力・使える温度・使える流体・Cv値・主な使い道
公式ページへ
積水化学工業株式会社

エスロン KS型電動式ダイヤフラムバルブ

樹脂配管の流量をゆっくり合わせる

モーターでゆっくり開け閉めする型なので、流量を合わせやすく、ウォーターハンマも抑えられます。前面の開度インジケータで開き具合が見えます。止まったときは頂部のノブを外し、付属のボックスレンチで手で開け閉めできます。

コスト要見積

方式
電動式ダイヤフラムバルブ
操作の方式
電動式
呼び径・サイズ
15〜150
本体の材質
PVC、HT、PP、PVDF
使える温度
PVCは0〜60℃、PVDFは0〜120℃(フランジ)
電源
単相AC100・200V(50/60Hz)
記載なし
接続・膜の材質・使用圧力・使える流体・Cv値・主な使い道
公式ページへ

高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)3製品

イハラサイエンス株式会社

メタルダイヤフラムバルブ内蔵型管継手 DVF

装置内の高純度ガス配管を軽くする

メタルダイヤフラムバルブを管継手に組み込み、軽く小さくまとめた型です。膜はステンレスのSUS631で、Co-Ni合金も選べます。使える圧力は真空から1MPaまでで、接液部は禁油処理をしています。

コスト要見積

方式
高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)
操作の方式
手動、自動(ノーマルクローズ、ノーマルオープン)
呼び径・サイズ
1/4・3/8・1/2インチ
接続
VTF(オス)、VTF⁠(メス)
膜の材質
SUS631、Co-Ni合金
使用圧力
真空〜1MPa
記載なし
本体の材質・使える温度・使える流体・電源・Cv値・主な使い道
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株式会社キッツエスシーティー

材料容器用ダイヤフラムバルブ KD-⁠E

半導体材料の容器の封止弁

シートとダイヤフラムを外して替えられる構造で、ボディと駆動部はそのまま使い続けられます。専用の交換工具で、シートと膜を正しい位置に付け直せます。溶接でつなぐ材料容器の弁のように、交換や洗浄の多い所に向きます。

コスト要見積

方式
高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)
接続
溶接接続
膜の材質
交換式(シートと一緒に外せる)
主な使い道
半導体の材料容器の封止弁
記載なし
操作の方式・呼び径・サイズ・本体の材質・使用圧力・使える温度・使える流体・電源・Cv値
公式ページへ
株式会社フジキン

メタルダイヤフラムバルブ FUBD-71G

半導体の特殊材料ガスの配管

膜まで金属のメタルダイヤフラムバルブで、半導体の特殊材料ガスに使います。12.7mmでCv値1.5と流れが大きい型です。SUS316L製で、完全禁油の処理をしています。

コスト要見積

方式
高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)
操作の方式
手動
呼び径・サイズ
12.7mm
接続
メタルガスケット式
本体の材質
ステンレス鋼(SUS316L)
膜の材質
金属
使用圧力
1MPa
使える温度
-10〜40℃
使える流体
特殊材料ガス
Cv値
1.5
記載なし
電源・主な使い道
公式ページへ
Q&A

ダイヤフラムバルブ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問ダイヤフラムバルブの価格は?

今回の11製品は、どれもメーカーの公式サイトに値段を出していません。旭有機材は管材の価格表を公式サイトに置いていますが、呼び径・材質・駆動部で値段が変わるので、型番を決めてからメーカーか販売店に見積もりを取ります。

設備担当の疑問ダイヤフラムバルブとボールバルブの違いは?

ボールバルブは穴の空いた球を回して開け閉めし、ダイヤフラムバルブは膜を弁座に押し付けて止めます。ダイヤフラムバルブは流体が駆動部に触れないので、腐食性の薬液や純水、高純度ガスのラインに使います。

設備担当の疑問ウェア形とストレート形の違いは?

ウェア形は流路の中に堰(ウェア)があり、膜をそこに押し付けて閉めます。日本ダイヤバルブの400形がこの形で、本体の形が単純なので内張りに向きます。ストレート形(同社の500形)は流路がまっすぐで溜まりが少なく、洗いやすくなっています。

設備担当の疑問膜の材質はどう選ぶ?

EPDMなどのゴムと、PTFEなどのふっ素樹脂が主です。旭有機材の14型はEPDM・PTFE・FKM、SMCのLVAはPTFE・EPR・NBRから選べます。半導体のガスに使う型は、イハラサイエンスのDVFのようにSUS631などの金属の膜を使います。

工場長の疑問何℃まで使える?

樹脂の本体は熱に弱く、積水化学のエスロンはPVCで0〜60℃、PVDFで0〜120℃です(フランジ式)。ステンレスのフジキン BNWM-PE-7は-5〜140℃、日本ダイヤバルブの400形はゴムの膜で-40〜120℃です。

工場長の疑問使える圧力は?

フジキンのBNWM-PE-7は最高0.35MPa、FUBD-71Gは最高1MPa、イハラサイエンスのDVFは真空から1MPaまでです。積水化学のエスロンは使用温度と最高許容水圧の関係を図で出しているので、流す温度に合わせて図で確かめます。

総務の疑問エア式と電動式は、どちらにする?

工場に圧縮空気が来ていればエア式、無ければ電動式にします。CKDのLAD1は空気が切れると閉じるNC形です。電動式は、積水化学のKS型が単相AC100・200V、旭有機材の14型 電動式J型がAC24〜240Vで動きます。

設備担当の疑問半導体の高純度ガスに使うダイヤフラムバルブは?

膜まで金属のメタルダイヤフラムバルブを使います。フジキンのFUBD-71Gは特殊材料ガス用で、SUS316L・完全禁油、Cv値1.5の大流量の型です。イハラサイエンスのDVFは、管継手と一体にして軽くした型です。

設備担当の疑問スラリーを流してもいい?

積水化学は、スラリー・異物・固形物を含む流体は部材の摩耗や動作不良の原因になると書いています。流すときは、本体の内張りと膜の材質をメーカーと相談して決めます。

施設管理の疑問ダイヤフラムの寿命と交換は?

決まった年数は公式資料にありません。旭有機材の14型は膜をワンタッチで替えられ、キッツエスシーティーのKD-Eはシートと膜を替えてボディと駆動部を使い続けられます。漏れや開け閉めの重さが出たら、膜を点検して替えます。

施設管理の疑問付けたあとの手入れは?

膜を締めるボルトは、温度の変化や時間がたつとゆるみます。積水化学は定期的に点検して、決められたトルクで増し締めするよう書いています。締めすぎるとバルブが壊れるので、トルクは取扱説明書のとおりにします。

TYPES

ダイヤフラムバルブの方式の違い

ボタンを押すと、表がその方式の製品だけになります。

手動ダイヤフラムバルブ

ハンドルを回して膜を押し下げ、流路を閉じます。樹脂の本体は薬液や純水の配管に、金属やライニングの本体は大きな配管や腐食性の液に使います。締めすぎて膜を傷めないよう、止める仕組みの付いた型があります。

向いている使い方

  • 薬液・純水の樹脂配管の止め弁
  • 水処理設備の大きな配管
  • 食品・医薬の衛生配管

根拠:流路に堰(ウェア)をもつダイヤフラムバルブの基本形です。(出典1)

この方式の4製品を表で見る

エア式ダイヤフラムバルブ

圧縮空気で駆動部を動かし、膜を開け閉めします。空気が切れると閉じる常時閉(NC)、開く常時開(NO)、空気で両方向に動かす複動があります。装置の中の薬液や純水のラインを自動で切り替えるのに使います。

向いている使い方

  • 半導体・液晶の薬液の供給
  • 純水・窒素ガスのライン
  • 装置の中の自動の切り替え

根拠:一般流体から窒素ガス、純水まで多様な流体が制御可能。(出典13)

この方式の2製品を表で見る

電動式ダイヤフラムバルブ

モーターの駆動部を載せ、電気の信号で開け閉めします。圧縮空気の無い所でも使えます。ゆっくり動く型は流量を合わせやすく、ウォーターハンマも起きにくくなります。

向いている使い方

  • 圧縮空気の無い水処理設備
  • 離れた所の弁の開け閉め
  • 流量をゆっくり合わせたい配管

根拠:緩動作タイプなので、流量調整が容易で、ウォーターハンマも軽減します。(出典4)

この方式の2製品を表で見る

高純度ガス用(⁠メタルダイヤフラム⁠)

膜まで金属でできた小さなバルブで、半導体の製造装置で特殊材料ガスや高純度の液体材料を流すのに使います。流路の中に溜まりが少なく、ガスを入れ替えやすい作りです。管継手と一体にした型や、膜を替えられる型もあります。

向いている使い方

  • 半導体の特殊材料ガスの配管
  • 材料容器の封止弁
  • 装置の中のガスライン

根拠:ステンレスダイヤフラムを搭載し、高気密性・高耐久性を実現(出典10)

この方式の3製品を表で見る
MAKERS

ダイヤフラムバルブの主なメーカー8社

ダイヤフラムバルブの主なメーカーは、次の8社です。社名を押すと、その会社のページ(ほかの製品と所在地)に移ります。

旭有機材株式会社

ダイヤフラムとコンプレッサーのはめ合いにバイヨネット構造を使い、膜をワンタッチで替えられます。

東京都

イハラサイエンス株式会社

メタルダイヤフラムバルブを管継手に組み込み、軽く小さくまとめた型です。

東京都

SMC株式会社

ボディをNew PFA・SUS・PPSから、膜をPTFE・EPR・NBRから選べる、ねじ込み型の薬液用エアオペレートバルブです。

東京都

株式会社キッツエスシーティー

シートとダイヤフラムを外して替えられる構造で、ボディと駆動部はそのまま使い続けられます。

東京都

CKD株式会社

摺動部を流路から離したクリーンタイプで、ノングリースの流路を保てます。

愛知県

積水化学工業株式会社

隔膜と堰の形を合わせ込み、小さな力で閉め切れる手動弁です。

大阪府

日本ダイヤバルブ株式会社

流路に堰(ウェア)をもつ基本形で、本体と膜の組み合わせを流体に合わせて選べます。

東京都

株式会社フジキン

SUS316Lのステンレス本体に堰をもつウエア形で、クランプでつなぐ衛生配管向けの手動弁です。

東京都

この比較表のデータ:CSV・JSON(出典を明記すれば引用できます)

掲載基準と並び順

掲載基準:化学・半導体・水処理・食品医薬の配管で、膜(ダイヤフラム)を押し付けて流路を開け閉めするダイヤフラムバルブで、日本の会社が自社で作り、公式サイトで今案内していて、仕様を公式資料の文字で確かめられた製品。手動・エア式・電動式・高純度ガス用のメタルダイヤフラムを、1社1〜2製品、代表の型番の単位で載せています。膜だけの部品は「ダイヤフラム」、球を回す弁は「ボールバルブ」、電気で直接動かす弁は「電磁弁」、ダイヤフラムを使ったポンプは「ダイヤフラムポンプ」のページで比べ、海外ブランドを輸入して売る会社の製品、代理店が売る他社製品、交換用の膜やアクチュエータだけの品、販売終了品は除いています。PILLAR(日本ピラー工業)は製品情報のページが文字で読めず、アドバンス電気工業とサーパス工業は公式サイトにつながらず、仕様を確かめられなかったので今回は載せていません。CKDの薬液用エアオペレイトバルブ AMDシリーズは、公式ページで膜の方式を確かめられなかったので、ダイアフラム式と書いてあるLADを載せています。値段はどのメーカーも公式に出していないので、価格の列は記載なしです。並びは種類ごとに会社の五十音順です。

並び順:方式ごとに分け、その中はメーカー名の五十音順です。おすすめ順ではなく、掲載料で順番は変えません。

ダイヤフラムバルブを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

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