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半導体・電子部品の工場や研究所で、プロセスガス・特殊ガス・高圧ガスの配管に入れるガスフィルターを選ぶ、設備・保全・購買の担当の方へ

ガスフィルター(高圧ガス用)のメーカー3社比較【2026年】

ガスフィルターは、ガス配管に入れて、
ガスの中の微粒子を取るフィルターです。

ABOUT

ガスフィルターとは

比較表を見る ↓

ガスフィルターとは、ガス配管に入れて、ガスの中の微粒子を取るフィルターです。
配管の途中につなぐ配管用と、
集積型ガスパネルに載せるガスパネル用があります。
ガスラインフィルターとも呼びます。

製品の特長

  • ろ過精度が細かい(0.0015μm・0.01μmの型がある)
  • ステンレスでできている(ハウジングは316LやSUS316)
  • 付け方で選べる(VCR継手・ねじ・表面実装)

使うメリット

  • 微粒子を装置に入れない(プロセスガスの品質を保つ)
  • MFCやバルブを守る(機器の手前に入れる)
  • 高い温度にも耐える(オールメタルは耐熱460℃の型もある)

選ぶときに注意すること

  1. 日本国内で使うときの最高使用圧力が、仕様の値より低い型がある
  2. ろ材はガスの種類に合わせる。腐食性のガスは材質を確かめる
  3. 使い捨ての型は丸ごと替える。替える時期を決めておく
  4. 流量に合う大きさを、流量特性の線図で選ぶ

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。日本国内の最高使用圧力は日本精線のカタログの注記による。

LIST

ガスフィルターの比較表

ガスフィルター(高圧ガス用)5製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

配管用(インライン)

4製品
SMC株式会社クリーンガスフィルタ SFA100エレメントだけ替えたいガスライン口コミを書く要見積

ハウジングを残してエレメントだけを替えるカートリッジ式のクリーンガスフィルタです。ろ過精度は0.01μmで、使用圧力は0.99MPaまでです。真空のラインにも使えます。

付け方
配管用(インライン)
ろ過精度
0.01μm
最高使用圧力
0.99MPa
エレメント
エレメント交換式(カートリッジ)
記載なし
温度・接続・材質・ろ材・流量・特長
公式ページへ詳細・仕様
SMC株式会社クリーンガスフィルタ SFC100半導体プロセスの使い捨てガスフィルター口コミを書く要見積

ろ材を何段も重ねた多段ディスク形で、丸ごと替える使い捨てのクリーンガスフィルタです。ろ過精度は0.01μmで、捕集効率は99.99%です。使用圧力は0.99MPaまでで、真空のラインにも使えます。

付け方
配管用(インライン)
ろ過精度
0.01μm
最高使用圧力
0.99MPa
エレメント
使い捨て(ディスポーザブル)
記載なし
温度・接続・材質・ろ材・流量・特長
公式ページへ詳細・仕様
日本精線株式会社プロセスガス用フィルター N-30TF半導体のプロセスガス配管の微粒子取り口コミを書く要見積

ろ材を自社のステンレス鋼短繊維から作る、オールメタルのガスフィルターです。ろ過精度は0.0015μmで、耐熱は460℃あります。仕様の最高使用圧力は7.1MPaですが、日本国内で使うときは1MPa未満です。

付け方
配管用(インライン)
ろ過精度
0.0015μm
最高使用圧力
日本国内は1MPa未満
温度
耐熱460℃
接続
1/4インチVCR
材質
316Lステンレス鋼
ろ材
ステンレス鋼短繊維の焼結メタルメンブレン
流量
100SLM以下
特長
ドライダウン・ガス置換に強い
記載なし
エレメント
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)
株式会社フジキンフィルター FUFL-115A高い圧力のガス配管にねじで付ける口コミを書く要見積

最高使用圧力が16.2MPaあり、高い圧力のガス配管に入れられるステンレスのフィルターです。接ガス部は完全禁油で、高圧ガス大臣認定品にもできます。ろ過精度は公式ページに書かれていないので、問い合わせて確かめます。

付け方
配管用(インライン)
最高使用圧力
16.2MPa
温度
-10〜100℃
接続
Rc1/8
材質
ステンレス鋼(SUS316)
特長
接ガス部完全禁油、高圧ガス大臣認定品対応可
記載なし
ろ過精度・ろ材・流量・エレメント
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)

ガスパネル用(表面実装)

1製品
日本精線株式会社サーフェイスマウント用フィルター BF-1.125U-10-M集積型ガスパネルに載せるフィルター口コミを書く要見積

集積型ガスパネルのブロックに上から載せる、表面実装のメタルフィルターです。ろ材をプリーツにして小さくまとめ、ろ過精度は0.0015μmです。日本国内で使うときの最高使用圧力は1MPa未満です。

付け方
ガスパネル用(表面実装)
ろ過精度
0.0015μm
最高使用圧力
日本国内は1MPa未満
温度
耐熱460℃
接続
1.125インチWシール
材質
316Lステンレス鋼
ろ材
ステンレス鋼短繊維のプリーツメディア
特長
ドライダウン・ガス置換に強い
記載なし
流量・エレメント
公式ページへ詳細・仕様カタログ(PDF)

配管用(インライン)4製品

SMC株式会社

クリーンガスフィルタ SFA100

エレメントだけ替えたいガスライン

ハウジングを残してエレメントだけを替えるカートリッジ式のクリーンガスフィルタです。ろ過精度は0.01μmで、使用圧力は0.99MPaまでです。真空のラインにも使えます。

コスト要見積

付け方
配管用(インライン)
ろ過精度
0.01μm
最高使用圧力
0.99MPa
エレメント
エレメント交換式(カートリッジ)
記載なし
温度・接続・材質・ろ材・流量・特長
公式ページへ
SMC株式会社

クリーンガスフィルタ SFC100

半導体プロセスの使い捨てガスフィルター

ろ材を何段も重ねた多段ディスク形で、丸ごと替える使い捨てのクリーンガスフィルタです。ろ過精度は0.01μmで、捕集効率は99.99%です。使用圧力は0.99MPaまでで、真空のラインにも使えます。

コスト要見積

付け方
配管用(インライン)
ろ過精度
0.01μm
最高使用圧力
0.99MPa
エレメント
使い捨て(ディスポーザブル)
記載なし
温度・接続・材質・ろ材・流量・特長
公式ページへ
日本精線株式会社

プロセスガス用フィルター N-30TF

半導体のプロセスガス配管の微粒子取り

ろ材を自社のステンレス鋼短繊維から作る、オールメタルのガスフィルターです。ろ過精度は0.0015μmで、耐熱は460℃あります。仕様の最高使用圧力は7.1MPaですが、日本国内で使うときは1MPa未満です。

コスト要見積

付け方
配管用(インライン)
ろ過精度
0.0015μm
最高使用圧力
日本国内は1MPa未満
温度
耐熱460℃
接続
1/4インチVCR
材質
316Lステンレス鋼
ろ材
ステンレス鋼短繊維の焼結メタルメンブレン
流量
100SLM以下
特長
ドライダウン・ガス置換に強い
記載なし
エレメント
公式ページへ
株式会社フジキン

フィルター FUFL-115A

高い圧力のガス配管にねじで付ける

最高使用圧力が16.2MPaあり、高い圧力のガス配管に入れられるステンレスのフィルターです。接ガス部は完全禁油で、高圧ガス大臣認定品にもできます。ろ過精度は公式ページに書かれていないので、問い合わせて確かめます。

コスト要見積

付け方
配管用(インライン)
最高使用圧力
16.2MPa
温度
-10〜100℃
接続
Rc1/8
材質
ステンレス鋼(SUS316)
特長
接ガス部完全禁油、高圧ガス大臣認定品対応可
記載なし
ろ過精度・ろ材・流量・エレメント
公式ページへ

ガスパネル用(表面実装)1製品

日本精線株式会社

サーフェイスマウント用フィルター BF-1.125U-10-M

集積型ガスパネルに載せるフィルター

集積型ガスパネルのブロックに上から載せる、表面実装のメタルフィルターです。ろ材をプリーツにして小さくまとめ、ろ過精度は0.0015μmです。日本国内で使うときの最高使用圧力は1MPa未満です。

コスト要見積

付け方
ガスパネル用(表面実装)
ろ過精度
0.0015μm
最高使用圧力
日本国内は1MPa未満
温度
耐熱460℃
接続
1.125インチWシール
材質
316Lステンレス鋼
ろ材
ステンレス鋼短繊維のプリーツメディア
特長
ドライダウン・ガス置換に強い
記載なし
流量・エレメント
公式ページへ
Q&A

ガスフィルター選びで、よくある疑問

購買担当の疑問ガスフィルターの価格は、いくら?

このページの日本精線・SMC・フジキンの5製品は、どれも価格を公開していません。型式・接続・数量を伝えて見積もりを取ります。フジキンは製品ページから問い合わせができます。

設備担当の疑問ガスフィルターの種類と違いは?

付け方で、配管の途中につなぐ配管用と、集積型ガスパネルに載せるガスパネル用に分かれます。配管用にはSMCのSFA100のようにエレメントだけ替える型と、SFC100のように丸ごと替える使い捨ての型があります。

設備担当の疑問ろ過精度はどこまで細かい?

日本精線のN-30TFとBF-1.125U-10-Mは0.0015μmです。SMCのクリーンガスフィルタSFA100とSFC100は0.01μmで、捕集効率は99.99%です。同じSMCでもSFB200は120μmと粗い型です。

工場長の疑問高圧ガスの配管に使える?最高使用圧力は?

フジキンのFUFL-115Aは最高使用圧力16.2MPaで、高圧ガス大臣認定品にもできます。SMCのSFA100・SFC100は0.99MPaまでです。日本精線のN-30TFは仕様では7.1MPaですが、日本国内で使うときは1MPa未満です。

設備担当の疑問焼結金属のガスフィルターとは?

金属の粉や繊維を焼き固めたろ材を使う、オールメタルのフィルターです。日本精線のNASclean は、ステンレス鋼短繊維(SUS316L)を焼結したメタルメンブレンで、耐熱は460℃です。ろ材から最終製品まで自社で一貫生産しています。

設備担当の疑問ガスパネル用のフィルターとは?

集積型ガスパネルのブロックに上から載せる、表面実装のフィルターです。日本精線のBF-1.125U-10-Mは1.125インチWシールに合い、1.125C-Seal・1.5W-Sealに合う型もあります。

施設管理の疑問流量はどれくらい流せる?

日本精線のプロセスガス用は100SLM以下の流量に向きます。大流量のバルクガス用は3000Nm3/hrまで流せます。流す量に合わせて、カタログの流量特性で大きさを選びます。

設備担当の疑問接続はVCR?⁠⁠⁠ねじ?

日本精線のN-30TFは1/4インチのVCR継手で、3/8インチ・1/2インチの型もあります。フジキンのFUFL-115AはRc1/8のねじ込み式で、Rc1/2まであります。SMCの接続は公式ページに書かれていないので、カタログで確かめます。

設備担当の疑問耐熱温度は?ベーキングできる?

日本精線のN-30TFとBF-1.125U-10-Mは耐熱460℃です。フジキンのFUFL-115Aは-10〜100℃で使います。SMCの温度は公式ページに書かれていません。

工場長の疑問交換時期は?エレメントだけ替えられる?

SMCのSFA100はエレメントだけ替えるカートリッジ式で、SFC100は丸ごと替える使い捨てです。替える時期は公式ページに書かれていないので、使う条件を伝えてメーカーに確かめます。

設備担当の疑問圧縮空気用のエアフィルタとの違いは?

ガスフィルターは、半導体のプロセスガスや高圧ガスの配管に入れ、細かい微粒子まで取ります。工場の圧縮空気のラインに付けるエアフィルタとは使う場所も比べる数字も違うので、このページには入れていません。

TYPES

ガスフィルターの付け方の違い

配管用(インライン)

VCR継手やねじで、ガス配管の途中につなぐ型です。エレメントだけ替えるカートリッジ式と、丸ごと替える使い捨ての型があります。MFC・バルブ・レギュレーターの手前に入れて機器を守る使い方もします。

向いている使い方

  • プロセスガスの配管の途中
  • MFCやバルブの手前で機器を守る
  • 高い圧力のガス配管

根拠:機器保護用 MFC、バルブ、レギュレーター等の機器保護用フィルター。(出典1)

この付け方の4製品を表で見る

ガスパネル用(表面実装)

集積型ガスパネルのブロックに上から載せる型です。配管をつながずに、バルブやMFCと並べて置けます。Wシール・Cシールなど、ガスパネルのシールの形に合わせて選びます。

向いている使い方

  • 集積型ガスパネルの中
  • 装置の中で場所を取りたくない
  • 1.125インチのシール

根拠:集積型ガスパネル用フィルター、1.125W-Seal、1.125C-Seal、1.5W-Sealに対応。(出典1)

この付け方の1製品を表で見る
MAKERS

ガスフィルターの主なメーカー3社

SMC株式会社

ハウジングを残してエレメントだけを替えるカートリッジ式のクリーンガスフィルタです。

東京都

日本精線株式会社

ろ材を自社のステンレス鋼短繊維から作る、オールメタルのガスフィルターです。

大阪府

株式会社フジキン

最高使用圧力が16.2MPaあり、高い圧力のガス配管に入れられるステンレスのフィルターです。

東京都

出典
  1. 日本精線 半導体ガスフィルター
  2. 日本精線 プロセスガスライン用小流量フィルター(PDF)
  3. 日本精線 サーフェイスマウント用フィルター(PDF)
  4. SMC クリーンガスフィルタ SF
  5. フジキン フィルター FUFLシリーズ
  6. フジキン フィルター FUFL-115A
掲載基準

半導体・電子部品の製造や研究の現場で、プロセスガス・特殊ガス・高圧ガスの配管に入れて微粒子を取るガスフィルターで、自社で作るか自社の製品として日本法人が売っていることが公式サイトで確かめられ、型式と仕様が公式資料の文字で確かめられるもの。1社につき代表的な1〜2型式に絞っています。工場の圧縮空気のラインフィルタ・空調のエアフィルタ・防毒マスクの吸収缶・ガス精製器は、しくみも比べる数字も違うので除いています。エア・ウォーター・メカトロニクス(サヤマトレーディング)のガスフィルターは米国Porvair社の製品を代理店として売るものなので載せていません。キッツマイクロフィルターのNHMシリーズは、仕様が画像だけで文字で確かめられず、用途の多くが圧縮空気なので外しました。日本ポールとインテグリスは、日本語の公式ページから型式と仕様の文字が取れなかったので外しました。

ガスフィルター(高圧ガス用)を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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