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ガスフィルター（高圧ガス用）配管用（インライン）

クリーンガスフィルタ SFC100

SMC株式会社

SMCの使い捨てクリーンガスフィルタ。0.01μm・0.99MPaまで。

価格
公開価格なし（見積もり）
付け方
配管用（インライン）
向いている所
半導体プロセスの使い捨てガスフィルター
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比較表での位置

クリーンガスフィルタ SFC100は、ガスフィルターのメーカー3社比較⁠の付け方「配管用（インライン）」の4製品の1つとして載っています。

  • 3社掲載社数
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  • 4製品同じ付け方
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クリーンガスフィルタ SFC100​の強みと方式

ろ材を何段も重ねた多段ディスク形で、丸ごと替える使い捨てのクリーンガスフィルタです。ろ過精度は0.01μmで、捕集効率は99.99%です。使用圧力は0.99MPaまでで、真空のラインにも使えます。

向いている所半導体プロセスの使い捨てガスフィルター

付け方：配管用（インライン）

VCR継手やねじで、ガス配管の途中につなぐ型です。エレメントだけ替えるカートリッジ式と、丸ごと替える使い捨ての型があります。MFC・バルブ・レギュレーターの手前に入れて機器を守る使い方もします。

クリーンガスフィルタ SFC100​の仕様

付け方
配管用（インライン）
ろ過精度
0.01μm
最高使用圧力
0.99MPa
温度
—公式資料で確認できず
接続
—公式資料で確認できず
材質
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
ろ材
—公式資料で確認できず
流量
—公式資料で確認できず
エレメント
使い捨て（ディスポーザブル）
特長
—公式資料で確認できず

捕集効率99.99%。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

クリーンガスフィルタ SFC100SMC株式会社プロセスガス用フィルター N-30TF日本精線株式会社フィルター FUFL-115A株式会社フジキン
付け方配管用（インライン）配管用（インライン）配管用（インライン）
ろ過精度0.01μm0.0015μm—公式資料で確認できず
最高使用圧力0.99MPa日本国内は1MPa未満16.2MPa
温度—公式資料で確認できず耐熱460℃-10〜100℃
接続—公式資料で確認できず1/4インチVCRRc1/8
材質—公式資料で確認できず316Lステンレス鋼ステンレス鋼（SUS316）
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ろ材—公式資料で確認できずステンレス鋼短繊維の焼結メタルメンブレン—公式資料で確認できず
流量—公式資料で確認できず100SLM以下—公式資料で確認できず
エレメント使い捨て（ディスポーザブル）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長—公式資料で確認できずドライダウン・ガス置換に強い接ガス部完全禁油、高圧ガス大臣認定品対応可

ガスフィルターの5製品を比較表で見る

クリーンガスフィルタ SFC100​のよくある質問

Q.クリーンガスフィルタ SFC100はどんな人に向いている？
クリーンガスフィルタ SFC100は、半導体プロセスの使い捨てガスフィルターに使う人向けです。クリーンガスフィルタ SFC100は、ろ材を何段も重ねた多段ディスク形で、丸ごと替える使い捨てのクリーンガスフィルタです。
Q.クリーンガスフィルタ SFC100の強みは？
クリーンガスフィルタ SFC100のろ過精度は0.01μmで、捕集効率は99.99%です。使用圧力は0.99MPaまでで、真空のラインにも使えます。
Q.クリーンガスフィルタ SFC100はどんな方式？
クリーンガスフィルタ SFC100の付け方は配管用（インライン）⁠で⁠す⁠。VCR継手やねじで、ガス配管の途中につなぐ型です。
Q.クリーンガスフィルタ SFC100の主な仕様は？
クリーンガスフィルタ SFC100のろ過精度は0.01μm、最高使用圧力は0.99MPaです。エレメントは使い捨て（ディスポーザブル）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.クリーンガスフィルタ SFC100とプロセスガス用フィルター N-30TFはどっちがいい？
半導体プロセスの使い捨てガスフィルターならクリーンガスフィルタ SFC100、半導体のプロセスガス配管の微粒子取りなら日本精線のプロセスガス用フィルター N-30TFです。クリーンガスフィルタ SFC100のろ過精度は0.01μm、最高使用圧力は0.99MPaです。日本精線のプロセスガス用フィルター N-30TFのろ過精度は0.0015μm、最高使用圧力は日本国内は1MPa未満です。
Q.クリーンガスフィルタ SFC100とフィルター FUFL-115Aはどっちがいい？
半導体プロセスの使い捨てガスフィルターならクリーンガスフィルタ SFC100、高い圧力のガス配管にねじで付けるならフジキンのフィルター FUFL-115Aです。クリーンガスフィルタ SFC100のろ過精度は0.01μm、最高使用圧力は0.99MPaです。フジキンのフィルター FUFL-115Aの最高使用圧力は16.2MPa、温度は-10〜100℃です。
Q.クリーンガスフィルタ SFC100のほかにSMCのガスフィルターはある？
あります。SMCのガスフィルターには、クリーンガスフィルタ SFC100のほかにクリーンガスフィルタ SFA100（ろ過精度は0.01μm）があります。
Q.クリーンガスフィルタ SFC100はどこのメーカー？
クリーンガスフィルタ SFC100はSMC株式会社の製品です。SMCの主な製品分野はドレントラップ・チェックバルブ・ルブリケータ・スピードコントローラです。

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    ガスフィルター（高圧ガス用）

    フィルター FUFL-115A

    株式会社フジキン

    最高使用圧力が16.2MPaあり、高い圧力のガス配管に入れられるステンレスのフィルターです。

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    出典
    1. SMC株式会社 公式
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