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ガスフィルター（高圧ガス用）配管用（インライン）

プロセスガス用フィルター N-30TF

日本精線株式会社

日本精線のNASclean。ステンレス繊維のメタルメンブレンで0.0015μm。

価格
公開価格なし（見積もり）
付け方
配管用（インライン）
向いている所
半導体のプロセスガス配管の微粒子取り
カタログ
あり（PDF）
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比較表での位置

プロセスガス用フィルター N-30TFは、ガスフィルターのメーカー3社比較⁠の付け方「配管用（インライン）」の4製品の1つとして載っています。

  • 3社掲載社数
  • 5製品比較表の製品
  • 4製品同じ付け方
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プロセスガス用フィルター N-30TF​の強みと方式

ろ材を自社のステンレス鋼短繊維から作る、オールメタルのガスフィルターです。ろ過精度は0.0015μmで、耐熱は460℃あります。仕様の最高使用圧力は7.1MPaですが、日本国内で使うときは1MPa未満です。

向いている所半導体のプロセスガス配管の微粒子取り

付け方：配管用（インライン）

VCR継手やねじで、ガス配管の途中につなぐ型です。エレメントだけ替えるカートリッジ式と、丸ごと替える使い捨ての型があります。MFC・バルブ・レギュレーターの手前に入れて機器を守る使い方もします。

プロセスガス用フィルター N-30TF​の仕様

付け方
配管用（インライン）
ろ過精度
0.0015μm
最高使用圧力
日本国内は1MPa未満
温度
耐熱460℃
接続
1/4インチVCR
材質
316Lステンレス鋼
価格
—公式資料で確認できず
ろ材
ステンレス鋼短繊維の焼結メタルメンブレン
流量
100SLM以下
エレメント
—公式資料で確認できず
特長
ドライダウン・ガス置換に強い

N-50TF（3/8インチVCR）⁠・N-100TF（1/2インチVCR）もあります。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

プロセスガス用フィルター N-30TF日本精線株式会社フィルター FUFL-115A株式会社フジキンクリーンガスフィルタ SFA100SMC株式会社
付け方配管用（インライン）配管用（インライン）配管用（インライン）
ろ過精度0.0015μm—公式資料で確認できず0.01μm
最高使用圧力日本国内は1MPa未満16.2MPa0.99MPa
温度耐熱460℃-10〜100℃—公式資料で確認できず
接続1/4インチVCRRc1/8—公式資料で確認できず
材質316Lステンレス鋼ステンレス鋼（SUS316）—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
ろ材ステンレス鋼短繊維の焼結メタルメンブレン—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
流量100SLM以下—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
エレメント—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずエレメント交換式（カートリッジ）
特長ドライダウン・ガス置換に強い接ガス部完全禁油、高圧ガス大臣認定品対応可—公式資料で確認できず

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プロセスガス用フィルター N-30TF​のよくある質問

Q.プロセスガス用フィルター N-30TFはどんな人に向いている？
プロセスガス用フィルター N-30TFは、半導体のプロセスガス配管の微粒子取りに使う人向けです。プロセスガス用フィルター N-30TFは、ろ材を自社のステンレス鋼短繊維から作る、オールメタルのガスフィルターです。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFの強みは？
プロセスガス用フィルター N-30TFのろ過精度は0.0015μmで、耐熱は460℃あります。仕様の最高使用圧力は7.1MPaですが、日本国内で使うときは1MPa未満です。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFはどんな方式？
プロセスガス用フィルター N-30TFの付け方は配管用（インライン）⁠で⁠す⁠。VCR継手やねじで、ガス配管の途中につなぐ型です。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFの主な仕様は？
プロセスガス用フィルター N-30TFのろ過精度は0.0015μm、最高使用圧力は日本国内は1MPa未満です。温度は耐熱460℃、接続は1/4インチVCRです。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFとフィルター FUFL-115Aはどっちがいい？
半導体のプロセスガス配管の微粒子取りならプロセスガス用フィルター N-30TF、高い圧力のガス配管にねじで付けるならフジキンのフィルター FUFL-115Aです。プロセスガス用フィルター N-30TFのろ過精度は0.0015μm、最高使用圧力は日本国内は1MPa未満です。フジキンのフィルター FUFL-115Aの最高使用圧力は16.2MPa、温度は-10〜100℃です。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFの材質は？
プロセスガス用フィルター N-30TFの材質は316Lステンレス鋼です。フジキンのフィルター FUFL-115Aの材質はステンレス鋼（SUS316）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFの特長は？
プロセスガス用フィルター N-30TFの特長はドライダウン・ガス置換に強いです。フジキンのフィルター FUFL-115Aの特長は接ガス部完全禁油、高圧ガス大臣認定品対応可です。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFとクリーンガスフィルタ SFA100はどっちがいい？
半導体のプロセスガス配管の微粒子取りならプロセスガス用フィルター N-30TF、エレメントだけ替えたいガスラインならSMCのクリーンガスフィルタ SFA100です。プロセスガス用フィルター N-30TFのろ過精度は0.0015μm、最高使用圧力は日本国内は1MPa未満です。SMCのクリーンガスフィルタ SFA100のろ過精度は0.01μm、最高使用圧力は0.99MPaです。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFのほかに日本精線のガスフィルターはある？
あります。日本精線のガスフィルターには、プロセスガス用フィルター N-30TFのほかにサーフェイスマウント用フィルター BF-1.125U-10-M（ろ過精度は0.0015μm）があります。
Q.プロセスガス用フィルター N-30TFはどこのメーカー？
プロセスガス用フィルター N-30TFは日本精線株式会社の製品です。登記上の本店は〒541-0043 大阪府大阪市中央区高麗橋4丁目1番1号。1951年設立で、大阪市に本社があり、ステンレス鋼線と金属繊維・金属フィルターを作っています。

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    ガスフィルター（高圧ガス用）

    フィルター FUFL-115A

    株式会社フジキン

    最高使用圧力が16.2MPaあり、高い圧力のガス配管に入れられるステンレスのフィルターです。

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    出典
    1. 日本精線株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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