GUIDE / GAS-FILTER

ガスフィルターとは？半導体・高圧ガスの配管に入れるガスフィルターの種類（配管用・ガスパネル用）と、ろ過精度・圧力・接続の選び方

半導体のプロセスガスや高圧ガスの配管で微粒子を取るガスフィルターの2つの種類、ろ過精度、最高使用圧力と日本国内での上限、VCR継手とねじの接続、耐熱温度、エレメント交換式と使い捨ての違いを、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年11月2日更新

この記事の答え

ガスフィルターは、ガス配管に入れて、ガスの中の微粒子を取るフィルターです。ガスラインフィルターとも呼びます。付け方で、配管の途中につなぐ配管用と、集積型ガスパネルに載せるガスパネル用に分かれます。選ぶときは「ろ過精度」「使う圧力」「接続の形」の3つを先に決めます。

ガスフィルターとは

半導体・電子部品の工場では、プロセスガスや特殊ガスの配管にガスフィルターを入れ、微粒子を装置に入れないようにします。MFC・バルブ・レギュレーターの手前に入れて、機器を守る使い方もします。

比較ページには、自社で作るか自社の製品として売るガスフィルターを、各社の代表の型式で載せています。代理店が売る海外の製品、ガス精製器は載せていません。

配管用は、VCR継手やねじで配管の途中につなぐ。エレメントだけ替える型と、丸ごと替える使い捨ての型がある
ガスパネル用は、集積型ガスパネルのブロックに上から載せる表面実装の型。日本精線は1.125W-Seal・1.125C-Seal・1.5W-Sealに合う型を作っている

COMPARE

配管用・ガスパネル用。ろ過精度・圧力・材質・種類の違いで比べます。

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