トリメチルアルミニウムのメーカー3社比較【2026年】

このページの3社は、公式サイトに価格を出していません。東ソー・ファインケムは問い合わせ、トリケミカル研究所は見積依頼のページから聞きます。表に載せていない関東化学のn-ヘキサン溶液は、100mLで9,400円（税抜）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

公式の案内で2つに分けました。東ソー・ファインケムのEG-TMALとトリケミカル研究所のTMAは成膜用です。ランクセスのAXIONは、重合の助触媒と成膜の両方に案内しています。

3製品とも、純度の数字を公式に出していません。トリケミカル研究所は独自の製造・精製技術で超高純度のSi半導体材料を作ると書いています。必要な純度と金属不純物の値は、見積のときに書面で聞きます。

どちらもトリメチルアルミニウムの略で、同じ物質です。トリケミカル研究所はTMA、東ソー・ファインケムはTMALと書いています。CAS番号は3製品とも75-24-1です。

東ソー・ファインケムは高純度酸化アルミの前駆体としてMO-CVDに、トリケミカル研究所はHigh-K材料と化合物半導体用材料に出しています。ランクセスはALD・CVD・MOCVDの前駆体と、オレフィン重合の助触媒を案内しています。

東ソー・ファインケムの値で、沸点は127℃、融点は15℃です。比重・密度は25℃で0.752g/ml、分子量は72.09です。融点が15℃なので、寒い場所では固まります。

空気に触れると発火し、水・酸・酸化剤とは激しく反応します。東ソー・ファインケムの資料でも、引火点の欄は自然発火性です。

アルベマールの案内では、乾いた窒素などの不活性雰囲気で、40℃を超えない乾いた所にしまいます。燃えやすい物から離します。関東化学のn-ヘキサン溶液は0〜6℃の冷蔵です。

東ソー・ファインケムのEG-TMALは、25g・100g・300g・600gのSUS容器があります。トリケミカル研究所とランクセスは荷姿を公開していないので、量を伝えて聞きます。

関東化学に約1mol/Lのn-ヘキサン溶液があり、製造元は東ソー・ファインケムです。このページは自社で作る品を比べるので、関東化学は表に載せていません。研究室で少量を使うなら、この溶液から当たります。

モノシランはシリコン膜を作るガスで、別のページで比べています。メチルアルミノキサンは助触媒の別の製品です。このページはCAS番号75-24-1のトリメチルアルミニウムだけを載せています。