トリメチルアルミニウムとは？半導体の成膜と重合触媒に使うTMAの種類と純度・荷姿の選び方

トリメチルアルミニウムとは

トリメチルアルミニウムは、化学式(CH3)3Al、CAS番号75-24-1の有機アルミニウムです。東ソー・ファインケムの資料では、分子量は72.09、沸点は127℃、融点は15℃、比重・密度は25℃で0.752g/mlです。

比較ページには、日本法人のある会社が自社または自社グループの製品として公式に案内している品を載せています。製造元が別の会社の品、海外品の取り次ぎ、モノシランやメチルアルミノキサンは載せていません。

2つの種類

• 成膜用：MO-CVD、High-K膜、化合物半導体の材料です。東ソー・ファインケムのEG-TMALとトリケミカル研究所のTMAが当てはまります
• 重合の助触媒と成膜の両用：オレフィン重合の助触媒とALD・CVD・MOCVDの前駆体の両方に案内する品です。ランクセスのAXIONが当てはまります

純度の見方

• 3製品とも、純度の数字を公式に出していません
• トリケミカル研究所は、独自の製造・精製技術で超高純度のSi半導体材料を作ると書いています
• 東ソー・ファインケムは、品質の安定性と容器使用率を案内していますが、数字は出していません
• 必要な純度と金属不純物の値は、書面で聞きます

荷姿と買う量

• 東ソー・ファインケムのEG-TMALは、25g・100g・300g・600gのSUS容器で、外装はペール缶です
• トリケミカル研究所とランクセスは荷姿を公開していないので、量を伝えて聞きます
• 関東化学に約1mol/Lのn-ヘキサン溶液があり、100mL入りで製造元は東ソー・ファインケムです
• 価格を公開している会社は、このページの3社にありません

扱うときの注意

• 空気に触れると発火します。乾いた窒素などの不活性雰囲気で扱います
• 水・酸・酸化剤と激しく反応するので、近づけません
• 燃えやすい物から離し、40℃を超えない乾いた所にしまいます
• 融点が15℃なので、寒い場所では固まることを見込んで配管と容器を決めます