四塩化ケイ素のメーカー3社比較【2026年】

このページの3社は、公式サイトに価格を出していません。トクヤマは機能性粉体営業部、トリケミカル研究所は見積依頼のページ、米山薬品工業は試薬の問い合わせから聞きます。荷姿と量を先に決めると話が早く進みます。

使う先で3つに分けました。トクヤマの原料用、トリケミカル研究所の電子材料用、米山薬品工業の試薬です。同じSiCl4でも、ISOタンクコンテナで受ける量と500g入りの量でまったく違います。

純度の数字を公開しているのは米山薬品工業の98.0%以上です。トクヤマは蒸留精製で高純度にしていると書き、トリケミカル研究所は超高純度の半導体材料を作ると書いていますが、どちらも数字は出していません。必要な純度と金属不純物の値は、見積のときに聞きます。

同じ物質です。トクヤマは四塩化珪素、トリケミカル研究所は四塩化ケイ素、米山薬品工業は塩化けい素(IV)と書いています。CAS番号は10026-04-7で、STCやテトラクロロシランとも呼びます。

トクヤマは光ファイバー・合成石英の原料と乾式シリカの原料に出しています。トリケミカル研究所は、Poly-Si・アモルファスSiのエッチング、SiCコーティング、光ファイバーのメイン材料に出しています。

米山薬品工業の安全データシートでは、沸点は59℃、融点は-70℃です。蒸気圧は20℃で257hPa、トリケミカル研究所の一覧でも20℃で25.7kPaです。常温で液体ですが、蒸発しやすい物質です。

水と激しく反応し、ケイ酸と塩化水素が出て発熱します。火災のときも棒状放水は使いません。米山薬品工業の安全データシートでは、漏れたら乾燥砂などの不活性材料に吸わせます。

容器を密閉し、換気の良い場所で施錠してしまいます。強酸化剤・強酸・塩基から離します。米山薬品工業の安全データシートでは、安全な容器の材料はガラスです。

局所排気装置と全体換気装置、洗眼器、安全シャワーを付けます。蒸気は空気より重く、相対ガス密度は5.9です。保護手袋・保護眼鏡・保護衣も着けます。

米山薬品工業の試薬は500g入りです。トクヤマの主な荷姿はISOタンクコンテナなので、少量なら試薬から当たります。トリケミカル研究所は荷姿を公開していないので、量を伝えて見積を取ります。

モノシランはSiH4の成膜ガスで、別のページで比べています。四塩化炭素は炭素の塩化物で、ケイ素を含まない別の物質です。このページの四塩化ケイ素は、常温で液体のSiCl4だけを載せています。