四塩化ケイ素とは？光ファイバー・合成石英・半導体に使う四塩化珪素（SiCl4）の種類と純度・荷姿の選び方

四塩化ケイ素とは

四塩化ケイ素は、化学式SiCl4、CAS番号10026-04-7の液体です。水と激しく反応し、ケイ酸と塩化水素が出て発熱します。米山薬品工業の安全データシートでは、沸点は59℃、融点は-70℃です。

比較ページには、日本の会社が自社の製品として公式に案内している品を載せています。海外品の取り次ぎ、モノシランなどの成膜ガス、シリコンウェーハは載せていません。

3つの種類

• 原料用：光ファイバー・合成石英・乾式シリカの原料にします。例はトクヤマの四塩化珪素です
• 電子材料用：半導体のエッチング、SiCコーティング、光ファイバーの材料にします。例はトリケミカル研究所の四塩化ケイ素です
• 試薬：研究や試験で少量を使います。例は米山薬品工業の塩化けい素(IV)です

純度の見方

• 米山薬品工業の試薬は、純度98.0%以上です
• トクヤマは、金属シリコンから合成し、蒸留精製で高純度にしていると書いています。数字は公開していません
• トリケミカル研究所は、独自の製造・精製技術で超高純度の半導体材料を作ると書いています。数字は公開していません
• 必要な純度と金属不純物の値は、見積のときに聞きます

荷姿と買う量

• トクヤマの主な荷姿は、ISOタンクコンテナです
• 米山薬品工業の試薬は、500g入りです
• トリケミカル研究所は荷姿を公開していないので、量を伝えて聞きます
• 価格を公開している会社は、このページの3社にありません

扱うときの注意

• 水を近づけません。水があると多くの金属を侵すので、容器と配管の材質を先に確かめます
• 蒸気は空気より重く、相対ガス密度は5.9です。局所排気装置と全体換気装置を付けます
• 作業場には洗眼器と安全シャワーを付け、保護手袋・保護眼鏡・保護衣を着けます
• 容器を密閉し、換気の良い場所で施錠してしまいます
• 火災のときは棒状放水を使いません