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トリメチルアルミニウム成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）

トリメチルアルミニウム TMA

株式会社トリケミカル研究所

High-K材料と化合物半導体用材料に載るトリメチルアルミニウム。

価格
公開価格なし（見積もり）
用途
成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）
向いている所
High-K膜と化合物半導体の材料
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

トリメチルアルミニウム TMAは、トリメチルアルミニウムのメーカー3社比較⁠の用途が成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）の2製品の1つとして載っています。

  • 3社掲載社数
  • 3製品比較表の製品
  • 2製品同じ用途
  • 0製品公開価格あり
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トリメチルアルミニウム TMA​の強みと方式

Si半導体のHigh-K材料と、化合物半導体用材料の両方の一覧にTMAを載せています。Si半導体用材料は、独自の製造・精製技術で超高純度にしていると案内しています。純度と荷姿は公開していないので、見積依頼で聞きます。

向いている所High-K膜と化合物半導体の材料

用途：成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）

半導体の薄膜を作る工程に材料として出す品です。東ソー・ファインケムはMO-CVD材料、トリケミカル研究所はHigh-K材料と化合物半導体用材料に載せています。どちらも純度の数字は公開していないので、見積のときに聞きます。

トリメチルアルミニウム TMA​の仕様

用途
成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）
用途
High-K材料
そのほかの用途
化合物半導体用材料
純度
—公式資料で確認できず
荷姿・容量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
沸点
—公式資料で確認できず
融点
—公式資料で確認できず
比重・密度
—公式資料で確認できず
蒸気圧
—公式資料で確認できず
外観
—公式資料で確認できず
CAS番号
75-24-1

取扱製品一覧の6番。一覧の蒸気圧はN/A。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

トリメチルアルミニウム TMA株式会社トリケミカル研究所トリメチルアルミニウム EG-TMAL東ソー・ファインケム株式会社Trimethylaluminum (TMA) AXIONランクセス株式会社
用途成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）重合の助触媒と成膜の両用
用途High-K材料MO-CVD材料、高純度酸化アルミの前駆体ALD・CVD・MOCVDの酸化アルミニウム膜の前駆体
そのほかの用途化合物半導体用材料—公式資料で確認できずオレフィン重合の助触媒
純度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
荷姿・容量—公式資料で確認できずSUS容器25g・100g・300g・600g、外装ペール缶—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
沸点—公式資料で確認できず127℃—公式資料で確認できず
融点—公式資料で確認できず15℃—公式資料で確認できず
比重・密度—公式資料で確認できず0.752g/ml（25℃）—公式資料で確認できず
蒸気圧—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外観—公式資料で確認できず無色～淡黄色透明液体—公式資料で確認できず
CAS番号75-24-175-24-175-24-1

トリメチルアルミニウムの3製品を比較表で見る

トリメチルアルミニウム TMA​のよくある質問

Q.トリメチルアルミニウム TMAはどんな人に向いている？
トリメチルアルミニウム TMAは、High-K膜と化合物半導体の材料に使う人向けです。トリメチルアルミニウム TMAは、Si半導体のHigh-K材料と、化合物半導体用材料の両方の一覧にTMAを載せています。
Q.トリメチルアルミニウム TMAの強みは？
トリメチルアルミニウム TMAのSi半導体用材料は、独自の製造・精製技術で超高純度にしていると案内しています。純度と荷姿は公開していないので、見積依頼で聞きます。
Q.トリメチルアルミニウム TMAはどんな方式？
トリメチルアルミニウム TMAの用途は成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）⁠で⁠す⁠。半導体の薄膜を作る工程に材料として出す品です。
Q.トリメチルアルミニウム TMAの主な仕様は？
トリメチルアルミニウム TMAの用途はHigh-K材料、そのほかの用途は化合物半導体用材料です。CAS番号は75-24-1です。
Q.トリメチルアルミニウム TMAとトリメチルアルミニウム EG-TMALはどっちがいい？
High-K膜と化合物半導体の材料ならトリメチルアルミニウム TMA、MO-CVDで酸化アルミを作る工程なら東ソー・ファインケムのトリメチルアルミニウム EG-TMALです。トリメチルアルミニウム TMAの用途はHigh-K材料、そのほかの用途は化合物半導体用材料です。東ソー・ファインケムのトリメチルアルミニウム EG-TMALの用途はMO-CVD材料、高純度酸化アルミの前駆体、荷姿・容量はSUS容器25g・100g・300g・600g、外装ペール缶です。
Q.トリメチルアルミニウム TMAとTrimethylaluminum (TMA) AXIONはどっちがいい？
High-K膜と化合物半導体の材料ならトリメチルアルミニウム TMA、重合の助触媒と成膜の両方ならランクセスのTrimethylaluminum (TMA) AXIONです。トリメチルアルミニウム TMAの用途はHigh-K材料、そのほかの用途は化合物半導体用材料です。ランクセスのTrimethylaluminum (TMA) AXIONの用途はALD・CVD・MOCVDの酸化アルミニウム膜の前駆体、そのほかの用途はオレフィン重合の助触媒です。
Q.トリメチルアルミニウム TMAはどこのメーカー？
トリメチルアルミニウム TMAは株式会社トリケミカル研究所の製品です。トリケミカル研究所の主な製品分野は四塩化ケイ素・トリメチルアルミニウムです。

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    トリメチルアルミニウム

    Trimethylaluminum (TMA) AXION

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    1つの製品ページで、オレフィン重合の助触媒と、ALD・CVD・MOCVDの前駆体の両方を案内しています。

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    出典
    1. 株式会社トリケミカル研究所 公式
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