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トリメチルアルミニウム成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）

トリメチルアルミニウム EG-TMAL

東ソー・ファインケム株式会社

高純度酸化アルミの前駆体として使うMO-CVD材料のトリメチルアルミニウム。

価格
公開価格なし（見積もり）
用途
成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）
向いている所
MO-CVDで酸化アルミを作る工程
公式の製品ページを見る比較表で見る

比較表での位置

トリメチルアルミニウム EG-TMALは、トリメチルアルミニウムのメーカー3社比較⁠の用途が成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）の2製品の1つとして載っています。

  • 3社掲載社数
  • 3製品比較表の製品
  • 2製品同じ用途
  • 0製品公開価格あり
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トリメチルアルミニウム EG-TMAL​の強みと方式

MO-CVD用のEG-TMALを、25gから600gのSUS容器で出しています。外装はペール缶です。品質の安定性と容器使用率を公式に打ち出していて、純度の数字は公開していません。

向いている所MO-CVDで酸化アルミを作る工程

用途：成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）

半導体の薄膜を作る工程に材料として出す品です。東ソー・ファインケムはMO-CVD材料、トリケミカル研究所はHigh-K材料と化合物半導体用材料に載せています。どちらも純度の数字は公開していないので、見積のときに聞きます。

トリメチルアルミニウム EG-TMAL​の仕様

用途
成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）
用途
MO-CVD材料、高純度酸化アルミの前駆体
そのほかの用途
—公式資料で確認できず
純度
—公式資料で確認できず
荷姿・容量
SUS容器25g・100g・300g・600g、外装ペール缶
価格
—公式資料で確認できず
沸点
127℃
融点
15℃
比重・密度
0.752g/ml（25℃）
蒸気圧
—公式資料で確認できず
外観
無色～淡黄色透明液体
CAS番号
75-24-1

製品情報の電子材料（MO-CVD材料）に掲載。本社・工場は山口県周南市。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

トリメチルアルミニウム EG-TMAL東ソー・ファインケム株式会社トリメチルアルミニウム TMA株式会社トリケミカル研究所Trimethylaluminum (TMA) AXIONランクセス株式会社
用途成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）重合の助触媒と成膜の両用
用途MO-CVD材料、高純度酸化アルミの前駆体High-K材料ALD・CVD・MOCVDの酸化アルミニウム膜の前駆体
そのほかの用途—公式資料で確認できず化合物半導体用材料オレフィン重合の助触媒
純度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
荷姿・容量SUS容器25g・100g・300g・600g、外装ペール缶—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
沸点127℃—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
融点15℃—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
比重・密度0.752g/ml（25℃）—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
蒸気圧—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外観無色～淡黄色透明液体—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
CAS番号75-24-175-24-175-24-1

トリメチルアルミニウムの3製品を比較表で見る

トリメチルアルミニウム EG-TMAL​のよくある質問

Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALはどんな人に向いている？
トリメチルアルミニウム EG-TMALは、MO-CVDで酸化アルミを作る工程に使う人向けです。トリメチルアルミニウム EG-TMALは、MO-CVD用のEG-TMALを、25gから600gのSUS容器で出しています。
Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALの強みは？
トリメチルアルミニウム EG-TMALの外装はペール缶です。品質の安定性と容器使用率を公式に打ち出していて、純度の数字は公開していません。
Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALはどんな方式？
トリメチルアルミニウム EG-TMALの用途は成膜用（MO-CVD・High-K・化合物半導体）⁠で⁠す⁠。半導体の薄膜を作る工程に材料として出す品です。
Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALの主な仕様は？
トリメチルアルミニウム EG-TMALの用途はMO-CVD材料、高純度酸化アルミの前駆体、荷姿・容量はSUS容器25g・100g・300g・600g、外装ペール缶です。沸点は127℃、融点は15℃です。
Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALとトリメチルアルミニウム TMAはどっちがいい？
MO-CVDで酸化アルミを作る工程ならトリメチルアルミニウム EG-TMAL、High-K膜と化合物半導体の材料ならトリケミカル研究所のトリメチルアルミニウム TMAです。トリメチルアルミニウム EG-TMALの用途はMO-CVD材料、高純度酸化アルミの前駆体、荷姿・容量はSUS容器25g・100g・300g・600g、外装ペール缶です。トリケミカル研究所のトリメチルアルミニウム TMAの用途はHigh-K材料、そのほかの用途は化合物半導体用材料です。
Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALのCAS番号は？
トリメチルアルミニウム EG-TMALのCAS番号は75-24-1です。トリケミカル研究所のトリメチルアルミニウム TMAのCAS番号は75-24-1です。
Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALとTrimethylaluminum (TMA) AXIONはどっちがいい？
MO-CVDで酸化アルミを作る工程ならトリメチルアルミニウム EG-TMAL、重合の助触媒と成膜の両方ならランクセスのTrimethylaluminum (TMA) AXIONです。トリメチルアルミニウム EG-TMALの用途はMO-CVD材料、高純度酸化アルミの前駆体、荷姿・容量はSUS容器25g・100g・300g・600g、外装ペール缶です。ランクセスのTrimethylaluminum (TMA) AXIONの用途はALD・CVD・MOCVDの酸化アルミニウム膜の前駆体、そのほかの用途はオレフィン重合の助触媒です。
Q.トリメチルアルミニウム EG-TMALはどこのメーカー？
トリメチルアルミニウム EG-TMALは東ソー・ファインケム株式会社の製品です。東ソー・ファインケムの主な製品分野はトリメチルアルミニウムです。

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    トリメチルアルミニウム

    Trimethylaluminum (TMA) AXION

    ランクセス株式会社

    1つの製品ページで、オレフィン重合の助触媒と、ALD・CVD・MOCVDの前駆体の両方を案内しています。

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    出典
    1. 東ソー・ファインケム株式会社 公式
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