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GaNエピウエハのメーカー2社比較【2026年】

GaNエピウエハは、
Si・SiC・GaNなどの基板の上にGaNの層を重ね、
層の厚さや組成まで決まった状態で届くウエハです。

ABOUT

GaNエピウエハとは

GaNエピウエハとは、Si・SiC・GaNなどの基板の上にGaNの層を重ね、
層の厚さや組成まで決まった状態で届くウエハです。
すぐ素子の工程に入れます。

GaNエピウエハは、下地と破壊電圧と、口径・層の構成・移動度・反り・少量の対応の違いで比べて選びます。

特に、6インチSi基板の型番ごとに層を公開するのはNTTアドバンステクノロジ、高周波用と3.0kV超の電力変換用を選べるのは住友化学です。

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。用途の説明は、三菱ケミカル、住友化学、NTTアドバンステクノロジ、高純度化学研究所の公式資料による。

LIST

GaNエピウエハの比較表

GaNエピウエハの価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
GaNエピウエハ2製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
NTTアドバンステクノロジ株式会社AlGaN/GaN HEMTエピウエハ SEE61K22227S30G製品の詳細を見るメーカー公式サイトatkeytech.ntt-at.com

厚さ1mmの6インチSi基板に重ねたAlGaN/GaN HEMTのエピウエハで、移動度は1,700〜1,900cm²/V・sです。

型番ごとに層の厚さと組成を公開している6インチSi基板のエピウエハです。バリアは27nm、チャネルは300nmで、ほかに標準の型番を公開しています。型番と数量を書いて問い合わせます。

パワーデバイス

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住友化学株式会社GaNエピウエハ製品の詳細を見るメーカー公式サイトsumitomo-chem.co.jp

半絶縁性SiC、半絶縁性GaN、導電性GaNの下地から選び、MOVPE法でエピの層を重ねるウエハです。

高周波用のHEMTと電力変換用のホモ接合を同じ会社で選べるエピウエハです。電力変換用は自社のGaN基板に重ね、ブレイクダウン電圧は3.0kV超です。高周波用はSiC基板か半絶縁性GaN基板に重ねます。

高周波パワーアンプ、パワーダイオード、パワートランジスタ

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FEATURES

GaNエピウエハの使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    高周波パワーアンプのHEMTや、電力変換のダイオード・トランジスタをすぐ作るのに。

  • 何のために使うか

    基板の上にGaNの層が重なり、層の厚さや組成まで決まった状態で届くからです。

特徴

  • どんなものか

    基板の上にGaNの層を重ねたウエハです。

  • 強み

    住友化学の電力変換用は、3.0kV超です。

メリット

  • 使うメリット

    NTT-ATは、6インチのSi基板に重ねます。

  • 自立基板に比べたメリット

    すぐ素子の工程に入れます。

窒化ガリウムを使う根本の理由は、高い電圧と高い周波数に耐える素子を、小さく作れることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. エピは下地と耐圧を決めて頼む

    NTT-ATの6インチSiのエピは800〜1,000Vで、素子の構造で変わります。

    よくある失敗狙う耐圧を決めずに、エピの層を頼む。

  2. 値段は口径と枚数で見積もる

    どの製品も値段を公式に出していません。

    よくある失敗口径と導電型を決めずに、値段だけを聞く。

  3. 半絶縁性の口径を先に確かめる

    住友化学の半絶縁性は2インチです。

    よくある失敗4インチの半絶縁性があると思って、工程を組む。

  4. 転位密度は書面で確かめる

    転位密度を公式に出しているのは住友化学だけです。

    よくある失敗カタログに数字の無い基板を、同じ品質だと思って比べる。

Q&A

GaNエピウエハ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問GaNエピウエハはいくら?

NTTアドバンステクノロジと住友化学は、どちらも公式に値段を出していないので見積もりです。NTTアドバンステクノロジは標準の型番の中に即納できる品があるので、型番と数量を書いて問い合わせます。住友化学は、下地と層の構成を伝えて見積もりをとります。下地の口径と、重ねる層の構成で値段が変わるので、両方を書いて頼みます。

設備担当の疑問2製品の違いは?

下地と得意な用途が違います。NTTアドバンステクノロジのSEE61K22227S30Gは、6インチのSi基板にAlGaN/GaN HEMTの層を重ねたパワーデバイス用です。住友化学は、半絶縁性SiC、半絶縁性GaN、導電性GaNから下地を選び、高周波用のHEMTと電力変換用のホモ接合を出しています。

工場長の疑問破壊電圧は?

住友化学の電力変換用は、自社のGaN基板に重ねて、ブレイクダウン電圧が3.0kV超です。NTTアドバンステクノロジの6インチSi基板のエピは800〜1,000Vで、素子の構造で変わります。狙う耐圧を先に決め、下地と層の厚さを合わせて頼みます。耐圧の測り方も書面で確かめると、2社を同じ物差しで比べられます。

工場長の疑問下地は選べる?

選べます。住友化学は、半絶縁性SiC、半絶縁性GaN、導電性GaNの下地から選べます。NTTアドバンステクノロジは、Si、サファイア、SiC、GaNの基板に結晶を重ねる技術を持ち、口径はSiが4〜8インチ、GaNが2〜4インチです。素子に合う下地を伝えて相談します。下地で値段も変わります。

工場長の疑問層の構成は公開されている?

NTTアドバンステクノロジは、型番ごとに層の厚さと組成を公開しています。SEE61K22227S30Gは、GaNキャップ2nm、AlGaNバリア27nm(Al 0.22)、AlN 1nm、GaNチャネル300nmです。住友化学は、AlGaN/GaN HEMT、P/Nホモ接合などの構成を案内しています。

工場長の疑問移動度は?

NTTアドバンステクノロジのSEE61K22227S30Gは、移動度が1,700〜1,900cm²/V・sです。住友化学は移動度を公式に書いていないので、層の構成と合わせて書面で確かめます。移動度は素子のオン抵抗に響くので、狙う値を伝えて頼みます。測り方がそろっているかも、書面で確かめておくと比べやすくなります。

工場長の疑問口径と反りは?

NTTアドバンステクノロジのSEE61K22227S30Gは6インチで、Si基板の厚さは1mm、反りは50μm未満です。8インチのシリコン基板にも重ねます。住友化学は口径と反りを公式に書いていないので、工程の装置に合うかを確かめます。反りが大きいと露光の工程で扱いにくくなるので、装置の決まりと照らして確かめます。

施設管理の疑問高周波のパワーアンプに使える?

使えます。住友化学は、半絶縁性のSiC基板やGaN基板にAlGaN/GaNを重ねた高周波用のHEMTのエピを出していて、用途は高周波パワーアンプです。NTTアドバンステクノロジのSEE61K22227S30Gはパワーデバイス用です。周波数と出力を伝えて選びます。下地の熱の逃げ方も聞きます。

施設管理の疑問少量の試作でも買える?

買えます。NTTアドバンステクノロジは、少量の試作から量産まで受けています。標準の型番には即納できる品もあります。住友化学は少量の対応を公式に書いていないので、枚数を伝えて問い合わせます。試作と量産の両方の値段を聞いておきます。試作で使った型番を量産でもそのまま使えるかも、先に聞いておくと切り替えが楽です。

設備担当の疑問自立基板とどちらがいい?

すぐ素子の工程に入りたいならエピウエハです。層の厚さや組成まで決まった状態で届きます。自分で層を重ねるなら自立基板です。住友化学は、GaN基板とエピウエハの両方を出しています。自立基板は別のページで比べています。自社でエピの装置を持っているかで決まります。持っていなければエピウエハ、持っていれば自立基板に自社で層を重ねる使い方もできます。

MAKERS

GaNエピウエハの主なメーカー2社

NTTアドバンステクノロジ株式会社

特徴
RPA等のデジタル技術を使うアプリケーションとサービスを開発・販売しています。
強み
  • 売上高743億円
  • 化学物質管理も支える

東京都

住友化学株式会社

特徴
アグロ&ライフソリューション部門を持つ化学メーカーです。
強み
  • 4つの部門で化学を広く
  • 1913年からの肥料と農薬

東京都

出典
  1. 三菱ケミカル 窒化ガリウム基板
  2. 住友化学 GaN基板
  3. 住友化学 GaNエピウエハ
  4. 住友電気工業 GaN基板 標準規格
  5. NTTアドバンステクノロジ 窒化物半導体エピタキシャルウエハ
  6. 高純度化学研究所 無機化合物
  7. 高純度化学研究所 GAI30PB
掲載基準

窒化ガリウムのうち、ほかの基板の上にGaNの層を重ねたエピウエハに絞りました。GaNだけの自立基板と、粉末は別に分けています。

GaNエピウエハを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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