ヒ化ガリウムのメーカー3社比較【2026年】

このページの製品は、どれも公式に値段を出していません。口径・導電型・キャリア濃度・面方位・厚さと枚数を伝えて、見積もりを取ります。

電気を通しにくい半絶縁性基板、電気を通すn型・p型の導電性基板、結晶の層を重ねたエピタキシャルウエハの3つです。DOWAエレクトロニクスのVGF-半絶縁性は抵抗率1E7Ω・cm以上、住友電気工業のレーザー用は1〜6×10⁻³Ω・cmで、桁がまるで違います。

高周波のトランジスタやICには半絶縁性を、裏から電流を流すレーザーやLEDにはn型を使います。住友電気工業の半絶縁性はエピ成長用、DOWAエレクトロニクスのVGF-n型 LDグレードは高出力LDやVCSELの基板です。

DOWAエレクトロニクスのn型は2インチから6インチまで、半絶縁性は3インチと4インチです。住友電気工業の半絶縁性は150mm、レーザー用は76.0mm・100.0mm・150.0mmです。住友化学の高周波デバイス用エピは6インチと4インチです。

住友電気工業は、2018年5月にGaAs基板8インチ径(200mm)の開発を学会で発表しました。このページに載せた標準仕様の口径は、いちばん大きくて6インチです。8インチは個別に問い合わせます。

DOWAエレクトロニクスのVGF-n型 LDグレードは350・450・625・675μm、住友電気工業の半絶縁性は675μmと550μmです。口径によって決まった厚さが変わります。

どれも単結晶を育てる方法で、転位の数に差が出ます。DOWAエレクトロニクスの半絶縁性では、VGF法の平均EPDが5,000/cm²以下、LEC法は10^5/cm²以下です。住友電気工業の基板はVB法で作ります。

n型のレーザー向けが低く、DOWAエレクトロニクスのLDグレードは平均200/cm²以下、LEDグレードは500/cm²以下です。住友電気工業のレーザー用は平均1×10²/cm²以下と5×10²/cm²以下です。VGF法とVB法の半絶縁性は5,000〜10,000/cm²以下です。

基本は(100)で、オフ角を付けるか決めます。DOWAエレクトロニクスのVGF-n型 LDグレードは(100)0°〜15°off、半絶縁性は(100)0°と2°offで、ほかの指定も相談できます。住友電気工業のレーザー用は(100)2°〜15°offもあります。

基板は結晶を切って磨いたままのウェーハで、エピタキシャルウエハはその上に結晶の層を重ねた品です。住友化学はFET・HEMT・HBT・BiHEMTの構造で、客先の要求に合わせて層を作ります。

DOWAエレクトロニクスは公式サイトで、ガリウムヒ素基板を世界でトップシェアの製品としています。調査会社の数字ではなく、会社自身の案内です。