GaN基板（窒化ガリウム自立基板）のメーカー3社比較【2026年】

三菱ケミカル、住友化学、住友電気工業は、どれも公式に値段を出していないので見積もりです。口径・導電型・枚数を伝えて見積もりをとります。4インチは2インチより大きく値段が変わるので、両方の値段を聞きます。住友電気工業は販売中か未確認なので、まず売っているかを確かめます。納期も一緒に聞いておきます。

公開している仕様が違います。三菱ケミカルは自社設計のHVPE装置で作り、表面の粗さRms0.2nm以下です。住友化学は2インチと4インチのn型導電性と2インチの半絶縁性があり、転位密度1〜4E6/cm²を出しています。住友電気工業は厚さ・反り・移動度の規格を出していますが、販売中か未確認です。

住友化学は2インチと4インチのn型導電性、2インチの半絶縁性です。住友電気工業の規格表は2インチと4インチです。三菱ケミカルは口径の一覧を出しておらず、公式の写真で示すのは2インチです。4インチが欲しいときは、導電型ごとに出せる口径を先に確かめます。エピの層を重ねる装置が扱える口径も、合わせて確かめておきます。

公式に数字を出しているのは住友化学で、1〜4E6/cm²です。ウエハ面内の均一性が良い、低い転位密度の分布です。三菱ケミカルと住友電気工業は数字を公式に書いていないので、見積もりのときに書面で確かめます。素子に必要な値を先に決めて比べます。測り方がそろっているかも、合わせて聞いておくと比べやすくなります。

住友電気工業は、厚さが2インチで400±30μm、4インチで400±50μm、反りは30μm以下・50μm以下と規格を出しています。三菱ケミカルと住友化学は、厚さと反りを公式に書いていません。工程の装置で扱える厚さと反りを伝えて、書面で確かめます。反りが大きいと、露光や貼り合わせの工程で扱いにくくなります。

住友化学は、導電性のGaN自立基板にホモ接合を重ねて電力変換に、半絶縁性のGaN基板にAlGaN/GaNを重ねて高周波に使い分けています。導電性は2インチと4インチ、半絶縁性は2インチです。住友電気工業はn型です。縦に電流を流すならn型、高周波なら半絶縁性です。作る素子の構造を伝えて選びます。

使えます。三菱ケミカルは、紫色・青色・緑色レーザーダイオードを用途に挙げています。住友化学はレーザーダイオードと高出力LED、住友電気工業は青色レーザーダイオードとLEDです。どれもMOCVDなどでエピを重ねる土台なので、重ねる層の条件も伝えて相談します。発光の波長と、重ねる層の厚さも伝えておきます。

三菱ケミカルのGaN基板は、ダメージフリーで粗さ値Rms0.2nm以下の平坦な表面です。MOCVDでエピを重ねる土台に使います。住友化学と住友電気工業は表面の粗さを公式に書いていないので、書面で確かめます。粗さはエピの層の出来に響きます。エピを重ねる前の洗い方も、合わせて聞いておくと工程を組みやすくなります。

住友電気工業は、面方位が(0001)±1.0°、移動度が80cm²/V・s以上と規格を出しています。三菱ケミカルと住友化学は、面方位と移動度を公式に書いていません。素子の設計に合う面方位を伝えて確かめます。オフ角の指定ができるかも聞いておきます。数字は書面でもらっておきます。納期も聞きます。

わかりません。住友電気工業のGaN基板は、厚さ・反り・移動度の標準規格を数字で公開していますが、公式サイトの新着が2018年で止まっていて、販売中か未確認です。買う前に問い合わせて、今も売っているか、納期はどのくらいかを確かめます。ほかの2社も並べて比べます。規格の数字は書面でもらいます。