電子部品・半導体・接合材の内部欠陥を調べる装置を選ぶ、品質保証・故障解析・生産技術・購買の担当の方へ

SAT（超音波映像装置）のメーカー5社比較【2026年】

SAT（超音波映像装置）は⁠、超音波で部品内部の反射や透過を画像にし、剥離・ボイド・クラックを調べる非破壊検査装置です。

ABOUT

SAT（超音波映像装置）⁠と⁠⁠⁠⁠は

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SAT（超音波映像装置）⁠と⁠は⁠、超音波を部品に送り、内部の剥離・ボイド・クラックを画像で調べる装置です。
超音波顕微鏡とも呼ばれ、半導体パッケージや接合界面の検査に使います。
試料を壊さずに、欠陥の広がりや深さ位置を調べます。

製品の特長

内部を画像で確認波形・断面像・平面像を使い分ける
試料に合わせてプローブを選ぶ周波数と焦点距離を確認
機械走査と電子スキャン解析と繰り返し検査の条件で選ぶ

使うメリット

部品を切断せずに調べる内部の剥離・ボイドを観察
界面の欠陥を探すX線では見えにくい剥離にも使う
欠陥の位置と広がりを残す画像・面積率の解析に使う

選ぶときに注意すること

水に触れる条件を確認する全没と局所水浸は別
走査ピッチを欠陥分解能と読み替えない
周波数だけで決めない試料の厚さ・表面・減衰を伝える
走査範囲と最大試料寸法を分けて確認する
実試料で検出性を確かめる多層構造や凹凸で観察できない部位もある

※原理・X線との違い・試料条件は日立パワーソリューションズのFAQ、波形と画像の説明は本多電子の資料によります。数値は各型式の公式資料を2026年10月28日に確認しました。

LIST

SAT（超音波映像装置）の比較表

コストは、値段を公開している製品どうしで比べています。値段を出していない製品は「要見積」。

CSV

SAT（超音波映像装置）8製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
機械走査式 7製品
インサイト株式会社超音波Cスキャン画像診断装置 IS-202小型試料の卓上検査口コミを書く	要見積	卓上に置く水浸式の装置で、反射法と透過法を使えます。有効スキャンエリアは200×150mm、機械操作精度は0.1μmです。	走査方式機械走査式周波数・⁠⁠⁠帯域装置対応受信1〜500MHz 走査範囲・移動量有効スキャンエリア200×150mm 対応試料電子部品、半導体パッケージ、接合構造、金属材料機械操作精度機械操作精度0.1μm 記載なし走査速度・欠陥分解能・走査・測定ピッチ・探触子スポット径・画像・⁠⁠⁠解析	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
インサイト株式会社超音波Cスキャン画像診断装置 IS-350接合界面と材料の解析口コミを書く	要見積	反射法・透過法に加え、非線形超音波法に対応します。基本の走査範囲は350×350mmで、全波形データからの画像再描画や剥離面積率の解析ソフトを標準装備しています。	走査方式機械走査式周波数・⁠⁠⁠帯域装置対応250kHz〜500MHz 走査範囲・移動量有効スキャンエリア350×350mm 対応試料電子部品、半導体パッケージ、接合構造、金属材料機械操作精度機械操作精度0.5μm 画像・⁠⁠⁠解析全波形収集、画像再描画、剥離面積率解析記載なし走査速度・欠陥分解能・走査・測定ピッチ・探触子スポット径	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
株式会社SRT超音波映像装置 VSA M350IC・MLCC・ウェーハの検査口コミを書く	要見積	IC・JEDECトレイ・MLCC・300mmウェーハを検査できます。走査範囲は350×320×80mmで、欠陥面積計測とFFT映像処理を備えます。	走査方式機械走査式周波数・⁠⁠⁠帯域オプションプローブ5〜150MHz 走査範囲・移動量スキャン範囲350×320×80mm 走査速度 1,200mm/s 対応試料 IC、JEDECトレイ、MLCC、300mmウェーハ走査・測定ピッチ測定ピッチ0.001mm 画像・⁠⁠⁠解析全波形スキャン、欠陥面積計測、FFT映像処理記載なし欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ（PDF）
株式会社KJTD卓上型超音波探傷映像化装置 D-view電子部品・積層基板の検査口コミを書く	要見積	水浸槽の上を走査する卓上型で、パルス反射法で内部を検査します。平面画像と断面画像を表示し、試料内のきずを評価できます。	走査方式機械走査式周波数・⁠⁠⁠帯域レシーバ帯域1.0〜150MHz、-3dB 走査範囲・移動量 X300mm、Y300mm、Z100mmは手動走査速度最大300mm/s 対応試料セラミック積層基板、⁠⁠⁠IC 走査・測定ピッチ X・Yは0.01〜9.99mm 画像・⁠⁠⁠解析平面像、断面像、面積率記載なし欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
株式会社KJTD超音波探傷映像化装置 ADS71000曲面・複雑形状の材料検査口コミを書く	要見積	7軸を同時に制御し、曲面を含む複雑形状の試料を走査します。CADデータから走査パターンを作成し、電子部品・ターゲット材・新素材の検査に使えます。	走査方式機械走査式周波数・⁠⁠⁠帯域レシーバ帯域0.25〜25・1〜25・0.25〜5・1〜5MHz 走査範囲・移動量 X1,000mm、Y1,000mm、Z350mm 走査速度 X・Yは0〜300mm/s、Zは0〜50mm/s 対応試料電子部品、ターゲット材、新素材走査・測定ピッチ X・Y・Zは最小0.005mm 画像・⁠⁠⁠解析 C・B・Dスコープ、3D表示、7軸同時制御記載なし欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
株式会社日立パワーソリューションズ超音波映像装置 FineSAT 7大径ウェーハの反射・透過検査口コミを書く	要見積	直径300mmウェーハを反射法と透過法で一括測定できます。常時波形収録に対応し、最高走査速度は公称1,200mm/sです。	走査方式機械走査式周波数・⁠⁠⁠帯域プローブ5〜400MHz 走査範囲・移動量有効ストローク350×350×80mm 走査速度最大1,200mm/s、公称値対応試料直径300mmウェーハ、半導体デバイス、電子部品画像・⁠⁠⁠解析常時波形収録、リアルタイムBスコープ記載なし欠陥分解能・走査・測定ピッチ・機械操作精度・探触子スポット径	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
本多電子株式会社超音波探傷映像装置 HA-60A半導体・ろう付け部の欠陥検査口コミを書く	要見積	A・B・Cスコープを同時表示し、波形・断面・平面を見比べられます。10〜140MHzの探触子を選べ、標準探触子は50MHzです。	走査方式機械走査式周波数・⁠⁠⁠帯域探触子10〜140MHz、標準50MHz 走査範囲・移動量ステージ移動量135×135×80mm 走査速度最大500mm/s 対応試料半導体、セラミック、樹脂、金属、溶接・ろう付け部走査・測定ピッチ X・Yは8μm、Zは1μm 探触子スポット径標準50MHzは100μm、140MHzは10μm 画像・⁠⁠⁠解析 A・B・Cスコープ同時表示、8画面同時取込記載なし欠陥分解能・機械操作精度	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
電子スキャン式 1製品
株式会社日立パワーソリューションズ電子スキャン式超音波映像装置 ES5100パワーモジュールの高速検査口コミを書く	要見積	アレイプローブで焦点位置を電子的に動かし、内部欠陥を画像にします。30mm角を200µmピッチで測る場合、約4秒で測定します。全体を水に沈めにくい試料には局所水浸法も使えます。	走査方式電子スキャン式周波数・⁠⁠⁠帯域プローブ25・50・75MHz 対応試料ワーク寸法300×200×50mm以下走査・測定ピッチ 200µmで30mm角を約4秒、測定例画像・⁠⁠⁠解析 A・B・Cスコープ、全波形取り込み記載なし走査範囲・移動量・走査速度・欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径	公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

機械走査式7製品

インサイト株式会社

超音波Cスキャン画像診断装置 IS-202

小型試料の卓上検査

卓上に置く水浸式の装置で、反射法と透過法を使えます。有効スキャンエリアは200×150mm、機械操作精度は0.1μmです。

コスト要見積

走査方式: 機械走査式
周波数・⁠⁠⁠帯域: 装置対応受信1〜500MHz
走査範囲・移動量: 有効スキャンエリア200×150mm
対応試料: 電子部品、半導体パッケージ、接合構造、金属材料
機械操作精度: 機械操作精度0.1μm
記載なし: 走査速度・欠陥分解能・走査・測定ピッチ・探触子スポット径・画像・⁠⁠⁠解析

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インサイト株式会社

超音波Cスキャン画像診断装置 IS-350

接合界面と材料の解析

反射法・透過法に加え、非線形超音波法に対応します。基本の走査範囲は350×350mmで、全波形データからの画像再描画や剥離面積率の解析ソフトを標準装備しています。

コスト要見積

走査方式: 機械走査式
周波数・⁠⁠⁠帯域: 装置対応250kHz〜500MHz
走査範囲・移動量: 有効スキャンエリア350×350mm
対応試料: 電子部品、半導体パッケージ、接合構造、金属材料
機械操作精度: 機械操作精度0.5μm
画像・⁠⁠⁠解析: 全波形収集、画像再描画、剥離面積率解析
記載なし: 走査速度・欠陥分解能・走査・測定ピッチ・探触子スポット径

IC・MLCC・ウェーハの検査

IC・JEDECトレイ・MLCC・300mmウェーハを検査できます。走査範囲は350×320×80mmで、欠陥面積計測とFFT映像処理を備えます。

コスト要見積

走査方式: 機械走査式
周波数・⁠⁠⁠帯域: オプションプローブ5〜150MHz
走査範囲・移動量: スキャン範囲350×320×80mm
走査速度: 1,200mm/s
対応試料: IC、JEDECトレイ、MLCC、300mmウェーハ
走査・測定ピッチ: 測定ピッチ0.001mm
画像・⁠⁠⁠解析: 全波形スキャン、欠陥面積計測、FFT映像処理
記載なし: 欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径

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詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ（PDF）口コミを書く

株式会社KJTD

卓上型超音波探傷映像化装置 D-view

電子部品・積層基板の検査

水浸槽の上を走査する卓上型で、パルス反射法で内部を検査します。平面画像と断面画像を表示し、試料内のきずを評価できます。

コスト要見積

走査方式: 機械走査式
周波数・⁠⁠⁠帯域: レシーバ帯域1.0〜150MHz、-3dB
走査範囲・移動量: X300mm、Y300mm、Z100mmは手動
走査速度: 最大300mm/s
対応試料: セラミック積層基板、⁠⁠⁠IC
走査・測定ピッチ: X・Yは0.01〜9.99mm
画像・⁠⁠⁠解析: 平面像、断面像、面積率
記載なし: 欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径

曲面・複雑形状の材料検査

7軸を同時に制御し、曲面を含む複雑形状の試料を走査します。CADデータから走査パターンを作成し、電子部品・ターゲット材・新素材の検査に使えます。

コスト要見積

走査方式: 機械走査式
周波数・⁠⁠⁠帯域: レシーバ帯域0.25〜25・1〜25・0.25〜5・1〜5MHz
走査範囲・移動量: X1,000mm、Y1,000mm、Z350mm
走査速度: X・Yは0〜300mm/s、Zは0〜50mm/s
対応試料: 電子部品、ターゲット材、新素材
走査・測定ピッチ: X・Y・Zは最小0.005mm
画像・⁠⁠⁠解析: C・B・Dスコープ、3D表示、7軸同時制御
記載なし: 欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径

大径ウェーハの反射・透過検査

直径300mmウェーハを反射法と透過法で一括測定できます。常時波形収録に対応し、最高走査速度は公称1,200mm/sです。

コスト要見積

走査方式: 機械走査式
周波数・⁠⁠⁠帯域: プローブ5〜400MHz
走査範囲・移動量: 有効ストローク350×350×80mm
走査速度: 最大1,200mm/s、公称値
対応試料: 直径300mmウェーハ、半導体デバイス、電子部品
画像・⁠⁠⁠解析: 常時波形収録、リアルタイムBスコープ
記載なし: 欠陥分解能・走査・測定ピッチ・機械操作精度・探触子スポット径

半導体・ろう付け部の欠陥検査

A・B・Cスコープを同時表示し、波形・断面・平面を見比べられます。10〜140MHzの探触子を選べ、標準探触子は50MHzです。

コスト要見積

走査方式: 機械走査式
周波数・⁠⁠⁠帯域: 探触子10〜140MHz、標準50MHz
走査範囲・移動量: ステージ移動量135×135×80mm
走査速度: 最大500mm/s
対応試料: 半導体、セラミック、樹脂、金属、溶接・ろう付け部
走査・測定ピッチ: X・Yは8μm、Zは1μm
探触子スポット径: 標準50MHzは100μm、140MHzは10μm
画像・⁠⁠⁠解析: A・B・Cスコープ同時表示、8画面同時取込
記載なし: 欠陥分解能・機械操作精度

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電子スキャン式1製品

株式会社日立パワーソリューションズ

電子スキャン式超音波映像装置 ES5100

パワーモジュールの高速検査

アレイプローブで焦点位置を電子的に動かし、内部欠陥を画像にします。30mm角を200µmピッチで測る場合、約4秒で測定します。全体を水に沈めにくい試料には局所水浸法も使えます。

コスト要見積

走査方式: 電子スキャン式
周波数・⁠⁠⁠帯域: プローブ25・50・75MHz
対応試料: ワーク寸法300×200×50mm以下
走査・測定ピッチ: 200µmで30mm角を約4秒、測定例
画像・⁠⁠⁠解析: A・B・Cスコープ、全波形取り込み
記載なし: 走査範囲・移動量・走査速度・欠陥分解能・機械操作精度・探触子スポット径

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出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/scanning-acoustic-tomograph/／各社の公式資料（2026年10月28日確認）。全項目は CSV（https://makerzukan.jp/data/scanning-acoustic-tomograph.csv）

Q&A

SAT（超音波映像装置）選びで、よくある疑問

購買担当の疑問SAT（超音波映像装置）の価格はいくら？

掲載した製品は、公式資料で本体の公開価格を確認できていません。FineSAT 7やHA-60Aの見積もりでは、本体だけでなく、プローブ・治具・解析ソフト・水の管理設備をどこまで含めるかをそろえます。

設備担当の疑問走査型と電子スキャン型は何が違う？

機械走査式はプローブを動かし、電子スキャン式はアレイの焦点位置を電子的に動かします。ES5100では、30mm角を200µmピッチで測る例で約4秒です。

工場長の疑問SATの分解能は、走査ピッチと同じ？

同じではありません。HA-60Aの走査ステップはX・Yが8μmですが、標準50MHz探触子のスポットサイズは100μmです。ピッチ・スポットサイズ・欠陥の検出限界は分けて確認します。

設備担当の疑問高周波なら小さい欠陥を必ず検出できる？

周波数だけでは決まりません。FineSAT 7は5〜400MHzのプローブに対応しますが、選ぶプローブは試料の厚さ・表面粗さ・欠陥の位置や大きさで変わります。

施設管理の疑問水に沈められない部品も検査できる？

ES5100は、試料と探触子の間だけに水を介在させる局所水浸法にも対応します。水への接触をなくす方法ではないため、濡れてよい面と内部への浸水を事前に確認します。

設備担当の疑問300mmウェーハを一括で検査できる？

FineSAT 7は、直径300mmウェーハを反射法・透過法で一括測定できます。VSA M350も300mmウェーハの検査を案内しています。

工場長の疑問走査速度から検査時間を計算できる？

最大走査速度だけでは、条件をそろえた検査時間は決まりません。VSA M350は1,200mm/s、HA-60Aは最大500mm/sですが、試料と測定ピッチをそろえて実測時間を確認します。

設備担当の疑問SATとX線検査装置の違いは？

SATは界面からの反射を使い、剥離や樹脂内のボイドを観察します。日立のFAQは、X線が多層構造内のはんだボールのボイドや内部構造の観察に優れると説明しています。

施設管理の疑問曲面のある接合材も検査できる？

平坦面を前提にした検査では、段差や凹凸に観察できない部位が生じます。ADS71000は7軸同時制御とCADからの走査パターン作成に対応するため、形状を伝えて検査範囲を確認します。

設備担当の疑問A・B・Cスコープは何を見る画像？

Aスコープは受信した超音波の波形、Bスコープは断面像、Cスコープは平面像です。HA-60Aはこれらを同時に表示し、欠陥の深さと平面方向の広がりを見比べられます。

購買担当の疑問小型部品向けの卓上SATはある？

IS-202は卓上型の水浸式装置で、有効スキャンエリアは200×150mmです。D-viewも卓上型で、X・Yの走査範囲はそれぞれ300mm、Z軸は手動です。

設備担当の疑問剥離している層の厚さまで測れる？

反射法で剥離の深さ位置を見ることと、剥離層そのものの厚さを測ることは別です。日立のFAQでは、超音波が剥離部上面で反射するため、剥離部の厚さは定量評価できないと説明しています。

TYPES

SAT（超音波映像装置）の走査方式の違い

ボタンを押すと、表がその走査方式の製品だけになります。

機械走査式

プローブを機械で移動させて、試料内部の反射・透過信号を画像にします。走査範囲・ピッチ・周波数を試料に合わせます。卓上型から曲面を追う多軸型まであります。

向いている検査

半導体パッケージの故障解析
接合界面の剥離・ボイド検査
曲面や複雑形状の材料検査

根拠：シングルプローブのメカニカルスキャンは、プローブを動かして焦点位置を移動させます。（出典2）

この走査方式の7製品を表で見る

電子スキャン式

直線状に並ぶ振動子で焦点位置を電子的に動かし、内部を高速で画像にします。ES5100はアレイプローブを使い、半導体・電子部品・IGBTを検査します。

向いている検査

パワーモジュールの内部検査
同じ部品を繰り返し検査
局所水浸での検査

根拠：ES5100はアレイプローブを搭載し、フォーカスポイントを電子式に移動させます。（出典2）

この走査方式の1製品を表で見る

MAKERS

SAT（超音波映像装置）の主なメーカー5社

SAT（超音波映像装置）の主なメーカーは、次の5社です。社名を押すと、その会社のページ（ほかの製品と所在地）に移ります。

株式会社SRT

IC・JEDECトレイ・MLCC・300mmウェーハを検査できます。

茨城県

超音波映像装置 VSA M350

本多電子株式会社

A・B・Cスコープを同時表示し、波形・断面・平面を見比べられます。

愛知県

超音波探傷映像装置 HA-60A

出典（2026年10月28日確認）

この比較表のデータ：CSV・JSON（出典を明記すれば引用できます）

掲載基準と並び順

掲載基準：電子部品・半導体パッケージ・ウェーハ・接合材などの内部欠陥を、走査した超音波信号から画像にする業務用装置を対象とします。日本のメーカーが自社で製造・開発する現行案内製品と、日本法人が自社グループ製品を販売する海外メーカーが対象です。各社の代表型式を1〜2製品載せます。医療用超音波診断装置、厚さだけを測る厚さ計（atsusa-kei）、電子線で観察する電子顕微鏡（denshi-kenbikyo）、単体探触子・送受信器・ソフト・消耗品、受託検査だけのサービス、家庭用・中古・販売終了品は除きます。半導体製造装置の総合比較とは分け、内部欠陥を画像で検査するSAT本体の型式仕様を扱います。他社製品を輸入・代理販売する会社はメーカーとして数えず、日立ハイテク経由のFineSATも製造元の日立パワーソリューションズにまとめています。方式ごとに会社の五十音順で並べています。

並び順：走査方式ごとに分け、その中はメーカー名の五十音順です。おすすめ順ではなく、掲載料で順番は変えません。

SAT（超音波映像装置）を作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

SAT（超音波映像装置）のメーカー5社比較【2026年】

SAT（超音波映像装置）⁠と⁠⁠⁠⁠は

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること

SAT（超音波映像装置）の比較表

機械走査式

電子スキャン式

SAT（超音波映像装置）選びで、よくある疑問

購買担当の疑問SAT（超音波映像装置）の価格はいくら？

設備担当の疑問走査型と電子スキャン型は何が違う？

工場長の疑問SATの分解能は、走査ピッチと同じ？

設備担当の疑問高周波なら小さい欠陥を必ず検出できる？

施設管理の疑問水に沈められない部品も検査できる？

設備担当の疑問300mmウェーハを一括で検査できる？

工場長の疑問走査速度から検査時間を計算できる？

設備担当の疑問SATとX線検査装置の違いは？

施設管理の疑問曲面のある接合材も検査できる？

設備担当の疑問A・B・Cスコープは何を見る画像？

購買担当の疑問小型部品向けの卓上SATはある？

設備担当の疑問剥離している層の厚さまで測れる？

SAT（超音波映像装置）の走査方式の違い

機械走査式

電子スキャン式

SAT（超音波映像装置）の主なメーカー5社

インサイト株式会社

株式会社SRT

株式会社KJTD

株式会社日立パワーソリューションズ

本多電子株式会社

引用・シェア