超音波映像装置 VSA M350株式会社SRT

仕様

向いている所：IC・MLCC・ウェーハの検査

走査方式

機械走査式

周波数・⁠⁠⁠帯域

オプションプローブ5〜150MHz

走査範囲・移動量

スキャン範囲350×320×80mm

走査速度

1,200mm/s

欠陥分解能

—公式資料で確認できず

対応試料

IC、JEDECトレイ、MLCC、300mmウェーハ

価格

—公式資料で確認できず

走査・測定ピッチ

測定ピッチ0.001mm

機械操作精度

—公式資料で確認できず

探触子スポット径

—公式資料で確認できず

画像・⁠⁠⁠解析

全波形スキャン、欠陥面積計測、FFT映像処理

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

スキャン範囲はX×Y×Z。測定ピッチは欠陥の分解能ではありません。

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