超音波探傷映像装置 HA-60A本多電子株式会社

仕様

向いている所：半導体・ろう付け部の欠陥検査

走査方式

機械走査式

周波数・⁠⁠⁠帯域

探触子10〜140MHz、標準50MHz

走査範囲・移動量

ステージ移動量135×135×80mm

走査速度

最大500mm/s

欠陥分解能

—公式資料で確認できず

対応試料

半導体、セラミック、樹脂、金属、溶接・ろう付け部

価格

—公式資料で確認できず

走査・測定ピッチ

X・Yは8μm、Zは1μm

機械操作精度

—公式資料で確認できず

探触子スポット径

標準50MHzは100μm、140MHzは10μm

画像・⁠⁠⁠解析

A・B・Cスコープ同時表示、8画面同時取込

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

現行メーカー仕様のステージ移動量を採用。スポットサイズと画面のドット数は、検出できる最小欠陥を保証する値ではありません。

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