超音波映像装置 FineSAT 7株式会社日立パワーソリューションズ

仕様

向いている所：大径ウェーハの反射・透過検査

走査方式

機械走査式

周波数・⁠⁠⁠帯域

プローブ5〜400MHz

走査範囲・移動量

有効ストローク350×350×80mm

走査速度

最大1,200mm/s、公称値

欠陥分解能

—公式資料で確認できず

対応試料

直径300mmウェーハ、半導体デバイス、電子部品

価格

—公式資料で確認できず

走査・測定ピッチ

—公式資料で確認できず

機械操作精度

—公式資料で確認できず

探触子スポット径

—公式資料で確認できず

画像・⁠⁠⁠解析

常時波形収録、リアルタイムBスコープ

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

有効ストロークはX×Y×Z。ADサンプリング分解能と欠陥の空間分解能は区別します。

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