半導体レジスト用のスプレーコーターのメーカー2社比較【2026年】

三明とSCREENセミコンダクターソリューションズは、どちらも値段を公式に出していないので見積もりです。ウェーハの大きさ、塗る膜厚、レジストの種類を伝えて見積もりを取ります。三明はサンプルテストと貸し出し用のデモ機を案内しているので、買う前に自分の基板で試せます。量産まで考えるなら、構成を変えたときの値段も聞きます。

大きさと運び方が違います。三明のDC111は220mm角に塗り、トレンチやキャビティの中まで塗れる研究向けの機種です。DC210は同じシリーズで500mm角まで広げた機種です。SCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXは、直径100〜200mmのウェーハをロボットアームで運び、量産まで構成を変えられます。

三明のDC111とDC210は、100nm〜500μmまで塗れます（薬液による）。SCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXは、低粘度レジストを重ね塗りして厚膜にします。膜厚の数字は公式に書いていません。厚いレジストを塗るなら、どちらも自分の薬液で試してから選びます。

塗れます。三明のDC111は、トレンチやキャビティの中まで塗れ、埋め込み塗布と倣わせ塗布の2通りを選べます。スピンコーターで塗りにくい傾斜面にも膜を作れます。SCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXも、段差基板や貫通基板にレジストや保護膜を塗れます。段差の深さを伝えて相談します。

SCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXは、直径100〜200mmのウェーハに塗ります。三明のDC111は220mm角、DC210は500mm角の範囲に塗るので、ウェーハのほかガラス基板にも使えます。DC210はガラス基板へのAG・AR・AFを用途にしています。基板の大きさで選びます。

三明のDC111は、試料台のヒーターで最大100℃まで温められます。SCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXは、ウェーハ温調機能付きです。三明のDC210は加熱の仕様を公式に書いていないので、問い合わせて確かめます。レジストの溶媒を飛ばす温度を伝えて相談します。

三明のDC111はH1000×W650×D680mmで100kg、DC210はH1000×W1200×D1200mmで300kgです。DC210は重いので、置き場所と搬入を先に見ておきます。SCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXは大きさを公式に書いていないので、置く部屋の寸法を伝えて確かめます。

三明のDC111は、AC100Vの1800Wで、排気は外部より2300リットル/分です。ミストが出るので排気をつなぎます。DC210とSCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXは、電源と排気を公式に書いていないので、置く部屋の設備を伝えて確かめます。クリーンルームの排気も合わせて考えます。

三明のDC111の粒子径は、約5〜15μm（使用流体によります）⁠で⁠す⁠。ノズルは外部混合渦流式二流体ノズルで、DC210も同じノズルです。粒の大きさで膜の均一さが変わるので、塗る薬液で試して確かめます。SCREENセミコンダクターソリューションズは粒子径を公式に書いていません。膜の均一さで選びます。

SCREENセミコンダクターソリューションズのSC-80EXは、研究開発から量産まで装置の構成を変えられ、ウェーハをロボットアームで運びます。三明のDC111はMEMSと半導体研究向けで、DC210は大きい基板に移すときの機種です。量産のタクトとウェーハの枚数を伝えて相談します。