エキシマ照射装置 HPV-STシリーズウシオ電機株式会社

仕様

向いている所：ガラスやフィルムの洗浄・親水化

方式

エキシマ・低圧UV式（洗浄・⁠⁠⁠改質）

光源

エキシマランプ（水銀不使用）

波長

172nm

照度・⁠⁠⁠出力

—公式資料で確認できず

照射範囲

スキャン100mm〜3,500mm

冷却方式

—公式資料で確認できず

外形寸法

—公式資料で確認できず

電源

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

搬送

—公式資料で確認できず

質量

—公式資料で確認できず

寿命

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

HP-V・SVS（大型基板用）・Film Excimer（水平搬送）シリーズもある。照射幅はスキャン照射の装置全体の範囲。

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