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UV-IRRADIATION-EQUIPMENT / MZ-40609

エキシマランプ光源 EX-86U浜松ホトニクス株式会社

172nm・照射窓86×40mmの電源内蔵エキシマ光源。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所:製造ラインに組み込む小型の表面処理

方式
エキシマ・低圧UV式(洗浄・⁠⁠⁠改質)
光源
エキシマランプ
波長
172nm
照度・⁠⁠⁠出力
50mW/cm²以上
照射範囲
照射窓86×40mm
冷却方式
内蔵ファンによる強制空冷
外形寸法
—公式資料で確認できず
電源
100〜240V 単相、最大150VA
価格
—公式資料で確認できず
搬送
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
寿命
保証1,000h、設計2,000h

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

型名はL13129。平面型ランプとRF放電で照射のちらつきを抑える。

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出典(2026年10月30日確認)

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