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UV-IRRADIATION-EQUIPMENT / MZ-40608

高出力エキシマUV照射ユニット東芝ライテック株式会社

172nm・170mW/cm²以上・有効発光長120〜1540mmの水冷エキシマユニット。

2026年10月30日確認

仕様

向いている所：大きな基板のドライ洗浄・表面改質

方式
エキシマ・低圧UV式（洗浄・⁠⁠⁠改質）
光源
エキシマランプ
波長
172nm
照度・⁠⁠⁠出力
170mW/cm²以上（照射距離0mm）
照射範囲
有効発光長120〜1540mm
冷却方式
水冷
外形寸法
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
搬送
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
寿命
2,000h（照度維持率70%⁠⁠以上）

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

形名は公式ページに無く、ワークに合わせて照射ユニットを決める。有効長120mmの実験用ユニットもある。

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出典（2026年10月30日確認）

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