高純度六フッ化硫黄 SF6

高純度六フッ化硫黄 SF6は、ポリシリコンのエッチング・TSV形成に使う人向けです。高純度六フッ化硫黄 SF6は、コンダクタのエッチング工程に使う高純度の六フッ化硫黄で、特にポリシリコンのエッチングとTSV形成に向けています。

高純度六フッ化硫黄 SF6は、半導体メーカー向けの販売実績をもとに技術サポートを受けられます。純度と容器は公開ページに記載がないため、仕様書で確かめます。

高純度六フッ化硫黄 SF6の用途はポリシリコンのエッチング、TSV形成、沸点は-63.7℃（昇華温度）⁠で⁠す⁠。臨界温度・臨界圧力は45.6℃、3.76MPa、国連番号は1080です。

ポリシリコンのエッチング・TSV形成なら高純度六フッ化硫黄 SF6、シリコン半導体・液晶の工程なら日本酸素の半導体材料ガス 六フッ化硫黄 SF6です。高純度六フッ化硫黄 SF6の用途はポリシリコンのエッチング、TSV形成、沸点は-63.7℃（昇華温度）⁠で⁠す⁠。日本酸素の半導体材料ガス 六フッ化硫黄 SF6の純度は99.999%超、容器は47L、10L、3.4Lです。

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高純度六フッ化硫黄 SF6は株式会社レゾナックの製品です。登記上の本店は〒105-0021 東京都港区東新橋1丁目9番1号。半導体材料・機能性化学品・樹脂材料・基礎化学品などを作る化学メーカー。