六フッ化硫黄のメーカー2社比較【2026年】

表の3製品は、どれも公開価格を出していません。純度・容器・量で値段が変わるため、条件を決めて見積もりを取る必要があります。日本酸素なら47L・10L・3.4Lのどの容器か、月にどれだけ使うかまで決めてから、2社以上に同じ条件で頼んでください。容器を返す条件や、届くまでの日数も一緒に確かめておくと比べやすくなります。

半導体・液晶のドライエッチングと、変電設備などの絶縁に使います。厚生労働省のモデルSDSは、気体絶縁材・冷媒・医療用・シリコンICのドライエッチング用を用途に挙げています。使い道で選ぶ品が変わるので、エッチングか絶縁かを先に決めてください。表の3社は、どれもエッチングの用途で案内しています。絶縁にも使うなら、関東電化工業も見ます。

半導体用は純度を高めた品で、日本酸素の半導体材料ガスは純度99.999%超です。関東電化工業は、エッチング用と電気設備用絶縁ガスの両方で案内しています。半導体の工程なら半導体用から、絶縁にも使うなら兼用品の会社から、使い道を伝えて仕様をもらってください。純度の数字が要るなら、検査成績書の項目も一緒に頼みます。

シリコンを削るドライエッチングの工程です。レゾナックの高純度六フッ化硫黄は、コンダクタのエッチング工程で使い、特にポリシリコンのエッチングとTSV（Si貫通ビア）形成に向けています。日本酸素はシリコン半導体・液晶の分類で案内しています。工程名を伝えて相談してください。使う装置の名前も一緒に伝えます。

日本酸素の半導体材料ガスは、純度99.999%超を公表しています。関東電化工業とレゾナックの公開ページには純度の記載がありません。工程で要る純度と、検査成績書に載せてほしい項目を書き出し、各社に仕様書を頼んで、同じ項目で比べてください。純度の数字だけでなく、何を不純物として測るかもそろえて比べます。

日本酸素は、47L・10L・3.4Lの容器を公表しています。使う量が少ないなら3.4L、多いなら47Lと、量で選べます。関東電化工業とレゾナックは公開ページに容器の記載がないので、受け入れる設備に合う容器の大きさを伝えて確かめてください。容器の置き場と、交換の手間も一緒に考えて決めてください。

絶縁性能が高く、大容量変電設備を小さくできるためです。関東電化工業は、この用途を特殊ガス製品のページで案内しています。表の中で電気設備用の絶縁ガスとして案内しているのは関東電化工業だけなので、絶縁に使うなら関東電化工業から問い合わせてください。絶縁に使う量と、容器の大きさも一緒に伝えます。

関東電化工業の資料では、沸点-63.9℃・臨界温度45.54℃・臨界圧力3.76MPaです。レゾナックは沸点を-63.7℃（昇華温度）、臨界温度45.6℃としています。分子量は146.056、国連番号は1080です。数字は社ごとに少し違うので、使う品の資料で確かめてください。数字の違いは小さいです。

主な危険は、空気より重く空気と置き換わることによる窒息です。気体の密度は空気の5.1倍で、低い所にたまります。厚生労働省のモデルSDSに従い、屋外か換気の良い場所で使ってください。閉め切った部屋で容器を開けないようにします。500℃以上で分解して有毒なヒュームが出るので、熱源からも離します。

換気の良い場所で、容器を密閉してしまっておきます。500℃以上に加熱すると分解し、有毒で腐食性のヒュームが出るので、熱源の近くに置きません。高圧液化ガスなので、容器の置き場所と本数を先に決め、届く前に置き場を用意してください。空気より重いので、低い所にたまらない置き場を選びます。

このページには、関東電化工業・日本酸素・レゾナックの3社を載せています。純度と容器を先に見て決めたいなら日本酸素、ポリシリコンのエッチングならレゾナック、絶縁にも使うなら関東電化工業から見ると早く絞れます。使い道を伝えて、2社以上に問い合わせてください。表の3社は、どれも公開価格を出していません。