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除振台アクティブ式

アクティブ除振台 FVH-2400F

藤倉コンポジット株式会社

20t超の装置を載せる、薄型の空圧アクティブ除振台。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
アクティブ式
向いている所
露光装置など大型装置
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比較表での位置

アクティブ除振台 FVH-2400Fは、除振台のメーカー5社比較の方式「アクティブ式」の3製品の1つとして載っています。

  • 5社掲載社数
  • 10製品比較表の製品
  • 3製品同じ方式
  • 2製品公開価格あり
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アクティブ除振台 FVH-2400F​の強みと方式

20,000〜30,000kgの装置を4本の脚で支える、高荷重の空圧アクティブ除振台です。薄いベローズで高さを169mmに抑え、装置の重心を低くできます。重いステージが動いても、高さの変動を小さく抑えます。

向いている所露光装置など大型装置

方式：アクティブ式

揺れを検出し、ボイスコイルや空気の力で逆向きに押して打ち消す方式です。ばねで浮かせる方式が苦手な低い周波数の揺れまで抑えます。電源をつないで動かします。

アクティブ除振台 FVH-2400F​の仕様

方式
アクティブ式
方式
空圧アクティブ、ベローズ式空気ばね
大きさ
高さ169mm
搭載質量
20,000〜30,000kg
固有振動数
鉛直3.7〜5.5Hz、水平3.2〜5.0Hz
空気・電源
空気0.6〜1.0MPa、1,520VA
価格
—公式資料で確認できず
除振性能
—公式資料で確認できず
本体質量
—公式資料で確認できず
水平の調整
—公式資料で確認できず

同じ種類の他社製品との違い

除振台の価格公開価格のある2製品・安い順
  1. 低床除振台 VLS3045-020L2株式会社ナベヤ108,000円
  2. 卓上エアー除振台 VAS4148H株式会社ナベヤ271,000円

製品の特徴ごとの分類

アクティブ除振台 FVH-2400F藤倉コンポジット株式会社卓上形アクティブ除振台 MINI-450F倉敷化工株式会社卓上アクティブ除振台 SAT-45株式会社昭和サイエンス
方式アクティブ式アクティブ式アクティブ式
方式空圧アクティブ、ベローズ式空気ばねアクティブボイスコイル式アクティブ、6自由度
大きさ高さ169mm400×500×80mm420×500×93mm
搭載質量20,000〜30,000kg120kg80kg、オプションで150kg
固有振動数鉛直3.7〜5.5Hz、水平3.2〜5.0Hz—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
空気・電源空気0.6〜1.0MPa、1,520VAAC85〜264VAC100〜240V
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
除振性能—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず-35〜-40dB（10Hz時）
本体質量—公式資料で確認できず19kg26kg
水平の調整—公式資料で確認できず—公式資料で確認できずオートレベリング標準

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アクティブ除振台 FVH-2400F​のよくある質問

Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fはどんな人に向いている？
アクティブ除振台 FVH-2400Fは、露光装置など大型装置に使う人向けです。アクティブ除振台 FVH-2400Fは、20,000〜30,000kgの装置を4本の脚で支える、高荷重の空圧アクティブ除振台です。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fの強みは？
アクティブ除振台 FVH-2400Fは、薄いベローズで高さを169mmに抑え、装置の重心を低くできます。重いステージが動いても、高さの変動を小さく抑えます。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fはどんな方式？
アクティブ除振台 FVH-2400Fの方式はアクティブ式です。揺れを検出し、ボイスコイルや空気の力で逆向きに押して打ち消す方式です。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fの主な仕様は？
アクティブ除振台 FVH-2400Fの方式は空圧アクティブ、ベローズ式空気ばね、大きさは高さ169mmです。搭載質量は20,000〜30,000kg、固有振動数は鉛直3.7〜5.5Hz、水平3.2〜5.0Hzです。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fと卓上形アクティブ除振台 MINI-450Fはどっちがいい？
露光装置など大型装置ならアクティブ除振台 FVH-2400F、SPM・卓上SEMの台なら倉敷化工の卓上形アクティブ除振台 MINI-450Fです。アクティブ除振台 FVH-2400Fの方式は空圧アクティブ、ベローズ式空気ばね、大きさは高さ169mmです。倉敷化工の卓上形アクティブ除振台 MINI-450Fの方式はアクティブ、大きさは400×500×80mmです。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fの空気・電源は？
アクティブ除振台 FVH-2400Fの空気・電源は空気0.6〜1.0MPa、1,520VAです。倉敷化工の卓上形アクティブ除振台 MINI-450Fの空気・電源はAC85〜264Vです。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fと卓上アクティブ除振台 SAT-45はどっちがいい？
露光装置など大型装置ならアクティブ除振台 FVH-2400F、AFM・レーザー顕微鏡を机で使うなら昭和サイエンスの卓上アクティブ除振台 SAT-45です。アクティブ除振台 FVH-2400Fの方式は空圧アクティブ、ベローズ式空気ばね、大きさは高さ169mmです。昭和サイエンスの卓上アクティブ除振台 SAT-45の方式はボイスコイル式アクティブ、6自由度、大きさは420×500×93mmです。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fのほかに藤倉コンポジットの除振台はある？
あります。藤倉コンポジットの除振台には、アクティブ除振台 FVH-2400Fのほかにパッシブ除振台 FMP-100（方式はベローズ式空気ばね）があります。
Q.アクティブ除振台 FVH-2400Fはどこのメーカー？
アクティブ除振台 FVH-2400Fは藤倉コンポジット株式会社の製品です。登記上の本店は〒141-0031 東京都品川区西五反田8丁目4番13号五反田JPビルディング。工業用ゴム部品、空圧制御機器、除振台などを製造販売する。

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    出典
    1. 藤倉コンポジット株式会社 公式
    2. gBizINFO（経済産業省） 法人情報
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