除振台のメーカー5社比較【2026年】

値段を公式に出しているのはナベヤです。卓上エアー除振台VAS4148Hが271,000円、空気の要らない低床除振台VLS3045-020L2が108,000円です。ほかの会社は見積もりで、大きさと載せる重さで値段が決まります。

パッシブ式は空気ばねやコイルばねで浮かせるだけで、電気を使いません。アクティブ式は揺れを検出して逆向きに押し、低い周波数の揺れまで抑えます。昭和サイエンスのSAT-45は、10Hzで-35〜-40dBの除振性能です。

空気ばね式は固有振動数を低くでき、低い周波数の揺れから効きます。コイルばね式は空気が要らず、ナベヤは低床除振台VLSをエアー除振台の約1/2のコストで入れられると案内しています。VLS3045-020L2の固有振動数は6Hzです。

空気ばね式で自動レベリングの型は、圧縮空気をつなぎます。特許機器のTAP-65は0.4〜0.7MPa、倉敷化工のTSP-0405Aは0.25〜0.5MPaの圧縮空気か窒素で動きます。アクティブ式のSAT-45と、コイルばね式のVLS3045-020L2は空気がいりません。

除振台が揺れやすい周波数で、これより十分に高い周波数の揺れほどよく止まります。特許機器のTAP-65は80kgを載せて2.37Hzで、9Hzの揺れを-20dB（1/10）にします。光学実験用の昭和サイエンスOSD-1290-SHは、垂直約1.0Hz、水平約0.5Hzです。

卓上のSEMやAFMには、低い周波数に効くアクティブ式を使うことが多いです。倉敷化工のMINI-450Fは用途にSPM・AFM・卓上SEMを挙げ、最大120kgまで載せられます。昭和サイエンスのSAT-45も、AFM・レーザー顕微鏡の台として案内しています。

机に置く型は、厚さ47.5〜93mmほどです。特許機器のTAP-65は600×500×47.5mmで120kg、倉敷化工のTSP-0405Aは440×540×60mmで100kg、昭和サイエンスのSAT-45は420×500×93mmで80kgまで載せられます。

装置の脚に入れる除振台を使います。藤倉コンポジットのFMP-100は500〜1,500kg、FVH-2400Fは20,000〜30,000kgの装置を載せます。特許機器の空圧アクティブ微振動制御ユニットは、100tクラスの荷重まで載せられます。

密閉式は空気を閉じ込めた型で、ナベヤの案内では1〜2週間ごとに空気圧や高さを調整します。自動レベリングの型は空気をつないでおけば、荷重が変わっても高さを保ちます。ナベヤの卓上エアー除振台は、0.8MPa以上の空気を入れるとマウントや配管が壊れるおそれがあります。

光学部品をねじで留められる定盤を、空気ばねで浮かせた床置きの除振台です。昭和サイエンスのOSD-1290-SHは1200×900×770mmで、天板のねじ穴をM6の25mm・50mm・100mmピッチから選べます。

防振ゴムは機械の揺れを床に伝えないための部品で、定盤は測定の基準にする平らな台です。除振台は反対に、床の揺れを上の精密機器に伝えないための台です。光学除振台のように、定盤を除振台に載せた型もあります。