除振台とは？電子顕微鏡・測定器を床の揺れから守る除振台の種類（アクティブ・空気ばね・コイルばね）と、固有振動数・搭載質量・価格の選び方

除振台とは

除振台は、床や机から伝わる細かな揺れを絶縁して、上に載せた精密機器を静かに保つ台です。電子顕微鏡・原子間力顕微鏡・レーザー顕微鏡・表面粗さ計・干渉計のほか、半導体の検査装置の脚にも入れます。

比較ページには、日本の会社が自社で作る除振台を、各社の代表の型の単位で載せています。防振ゴム・定盤・免震装置、海外ブランドの輸入品は載せていません。

3つの種類

• アクティブ式は、揺れを検出してボイスコイルや空気の力で逆向きに押し、低い周波数の揺れまで抑えます。例は昭和サイエンスのSAT-45、倉敷化工のMINI-450F、藤倉コンポジットのFVH-2400Fです
• 空気ばね式は、空気ばねで天板を浮かせます。例は特許機器のTAP-65とDHS-68、倉敷化工のTSP-0405A、昭和サイエンスのOSD-1290-SH、ナベヤのVAS4148Hです
• コイルばね式は、金属のばねで支え、空気がいりません。例はナベヤの低床除振台VLS3045-020L2です

固有振動数の見方

• 固有振動数は、除振台が揺れやすい周波数です。これより十分に高い周波数の揺れほどよく止まります
• 特許機器のTAP-65は、80kgを載せたとき2.37Hzで、9Hzの揺れを-20dB（1/10）⁠に⁠し⁠ま⁠⁠⁠⁠す
• 光学実験用の昭和サイエンスOSD-1290-SHは、垂直約1.0Hz、水平約0.5Hzです
• コイルばね式のナベヤVLS3045-020L2は6Hzで、効くのは9Hzから上の揺れです

圧縮空気と電源

• 自動レベリングの空気ばね式は、圧縮空気をつなぎます。特許機器のTAP-65は0.4〜0.7MPa、倉敷化工のTSP-0405Aは0.25〜0.5MPaです
• 密閉式の空気ばねは、ナベヤの案内では1〜2週間ごとに空気圧や高さを調整します
• アクティブ式の昭和サイエンスSAT-45は、空気がいらず電源だけで動きます。電源はAC100〜240Vです

大きさと載せる重さ

• 卓上形の特許機器TAP-65は、600×500×47.5mmで120kgまで載せられます
• 倉敷化工のMINI-450Fは、400×500×80mmで最大120kgです
• 装置用の藤倉コンポジットFMP-100は500〜1,500kg、FVH-2400Fは20,000〜30,000kgの装置を載せます

値段

• 値段を公式に出しているのはナベヤで、卓上エアー除振台VAS4148Hが271,000円、低床除振台VLS3045-020L2が108,000円です
• ほかの会社は見積もりで、大きさと載せる重さで値段が決まります