ナノ転写用の型のメーカー10社比較【2026年】

350nmから10μmまでの寸法を1枚で試せる、深さ350nmの石英モールドです。プロセスの立ち上げで、大きさの違う形が同じように写るかを見られます。ホールとドットは500nm以上です。

ライン幅45・60・80・100nmを1枚に並べた、解像度を測るための石英モールドです。樹脂やプロセスがどこまで細かく写せるかを、10mm角の小さな型で確かめられます。カタログ品なので、設計から起こさず試せます。

キヤノン製のKrFスキャンニングステッパーで、石英を超微細に加工する受託サービスです。8インチウエハに多数個作り、型の単価を抑えます。繋ぎ合わせ精度は±10nm以下で、大きな光学素子の型にも使えます。

標準で200nmから50nmの寸法を掘り込む、合成石英のモールドです。152mm×152mm、厚さ6.35mmの基板から切り出します。掘り込み深さの標準は100nmで、パターン領域の標準は10mm×10mmまでです。

ライン・ピラー・格子などの形を1枚に載せた、Siの標準パターン品です。寸法は50nmから200nmまでで、どの形が写るかを初期検討で見比べられます。一部に露光やエッチングの不良が出ることがあると、公式が書いています。

線幅50nm、ピッチ100nmのラインを100mm角のSi基板に並べた規格品です。モールドサイズは10mm角から直径300mmまでそろい、面積を変えて試せます。掲載品は在庫限りの販売です。

直径200mmのシリコンのマスターモールドを、自社で作れます。少量産で大きな面積のナノインプリント製品を作る場面に向きます。感光性樹脂に電子ビームで描き、ドライエッチングで深く掘ります。

リソグラフィーとNi電鋳を組み合わせて、50nm以下のホールやピラーの型を作ります。アライナーから電子線描画までの露光装置を、パターン精度に合わせて選びます。UV用の石英モールドも同じ窓口で頼めます。

500nmのラインを80×80mmに並べた、Ni製の回折格子の型です。厚さ300μmと薄く、パターンの面積を広くとれます。同じ寸法でクロスのパターンの型もあります。

幅230nm、高さ240nm、ピッチ460nmのピラーを100mm角に並べたNiの規格品です。有効エリアは80mm角あり、Siより硬いNiの型で試せます。掲載品は在庫限りの販売です。

研究試作用のモールド受託加工の中で、パターン面積30mm×30mmのニッケル金型のサンプルを案内しています。側壁のテーパー角を変えた型や立体の型の例も公式に載っています。公式サイトに更新日の記載がなく、販売中か未確認です。

曲げながら型を外せる、柔らかい樹脂のモールドです。硬い基材への転写でも離型しやすく、従来の金型の約半額です。大きさは50mm×50mmで、導入検討や初期検討に使います。

自社のインプリント装置で作る樹脂モールドの受託です。ST50で1枚ずつ、CMT-400Uでロールツウロールと、作り方を選べます。製作に立ち会えます。