超薄膜用のスクラッチ試験機のメーカー2社比較【2026年】

アントンパールのNST³とレスカのCSR5100は、どちらも値段を公式に出していません。測りたい膜の厚さと材料、使いたい規格、ほしい圧子を伝えて見積もりを取ります。CSR5100は顕微鏡がオプションなので、付けるかどうかも決めてから聞いてください。圧子の数でも値段が変わります。NST³は最大1000mNです。

破壊の拾い方が違います。アントンパールのNST³は、圧子の動きを追う実変位センサを持ち、スクラッチ前後の深さも測れます。荷重の分解能は0.01μNです。レスカのCSR5100は、加速度信号で破壊を拾い、膜厚10nmの測定実績があります。一定荷重でOK/NGを見る評価もできます。NST³は最大1000mNです。

レスカのCSR5100は1〜1500mN、アントンパールのNST³は最大1000mNです。NST³は荷重の分解能が0.01μNと細かく、とても小さな荷重から引っかけます。どちらもmN単位の小さな荷重で、薄い膜の破壊を拾う作りです。測りたい膜がはがれる荷重の見当をつけてから選んでください。

アントンパールのNST³は、標準厚さ1000nm以下の薄膜やコーティングを対象にしています。レスカのCSR5100は膜厚μm以下の超薄膜が対象で、膜厚10nmの測定実績があります。1μmを超える硬い皮膜なら、硬質皮膜用のページで比べた型を選びます。膜厚を測ってから選んでください。

レスカのCSR5100は、ダイヤモンドR5・10・15・25・50・100μmと、サファイアR250・500μmから選べます。アントンパールのNST³は球圧子で、先端径2μmなどがあります。圧子の形で結果が変わるので、比べるときは同じ圧子を使います。膜の硬さと厚さに合わせて選んでください。

アントンパールのNST³は0.1〜600mm/minです。レスカのCSR5100は0〜20μm/sです。速さで結果が変わるので、比べるときは同じ速さにそろえます。CSR5100の測定は1回1〜2分程度です。何枚も測る試料の数が多いなら、1回にかかる時間も聞いておきます。NST³は速さの幅が広い型です。

アントンパールのNST³はASTM D7187、レスカのCSR5100はJIS R-3255を公式に書いています。取引先や社内の基準でどちらの規格を使うかを、先に確かめてから選んでください。規格に沿った試験では、圧子や速度の条件も決まっています。条件が合うかも、各社に聞いて確かめます。

レスカのCSR5100は、レンズの曲面や加熱した状態でも測れると案内しています。光学薄膜の密着を、実際の形に近い状態で確かめたいときに向きます。アントンパールのNST³は、有機材料にも無機材料にも使います。試料の形と測りたい温度を伝えて、各社に確かめてください。CSR5100の荷重は1〜1500mNです。

レスカのCSR5100は、W540×D520×H630mmで、顕微鏡オプションを含めて37kgです。電源はAC100〜240Vです。アントンパールのNST³の大きさと電源は、公式の製品ページで確かめられませんでした。振動の少ない台に置けるかも、見積もりのときに聞いておきます。CSR5100のストロークは20mmです。

膜の厚さで選びます。標準厚さ1000nm以下の薄膜ならNST³、μm以下の超薄膜ならCSR5100です。1μmを超えるハードコートや、TiN・DLCなどの硬い皮膜なら、硬質皮膜用のレベテストRSTやCSR1000です。アントンパールとレスカは、両方の型を出しているので、まとめて相談できます。