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クリーンルームや半導体・医薬・食品工場の清浄度を管理する、品質保証・設備・購買の担当の方へ

パーティクルカウンターのメーカー5社比較【2026年】

パーティクルカウンターは、空気や液体の中の小さな粒子を
1個ずつ光で数え、大きさごとの個数を出す測定器です。

ABOUT

パーティクルカウンターとは

比較表を見る ↓

空気や液体を吸い込み、レーザーの光で粒子を1個ずつ数えて、
大きさ(粒径)ごとの個数を出す測定器です。
微粒子計測器や粒子計数器とも呼びます。
クリーンルームの清浄度の測定や、薬液・超純水の粒子の管理に使います。

製品の特長

  • 粒子を1個ずつ数え、大きさごとに分ける(0.3・0.5・5.0 μmなどの粒径区分)
  • 気中と液中に分かれる(空気を吸う気中、薬液や超純水を流す液中)
  • 校正の方法がJISで決まっている(気中はJIS B 9921、液中はJIS B 9925)

使うメリット

  • 清浄度クラスをその場で確かめられる(ISO 14644-1・JIS B 9920-1の分類に使う)
  • 粒子が出ている場所や時間を突き止められる(装置のまわりを測る、測り続ける)
  • 医薬品の環境モニタリングの記録を残せる(監査証跡や改ざん防止の機能を持つ機種)

選ぶときに注意すること

  1. 流量で1点の測定時間が変わるので、部屋の清浄度に合う流量を選ぶ
  2. 最大濃度を超えると、粒子が重なって少なく数える
  3. 校正は1年に1回を目安に受け、校正証明書を残す
  4. 気中の機種は大気圧で使う。圧縮エアーやミストをそのまま吸わせない
  5. 液中は、流す薬液が接液部の材質を傷めないか確かめる

※校正と用語は日本規格協会のJIS B 9921:2010・JIS B 9925:2010・JIS B 9920-1:2019の規格票プレビュー、測り方と使い方はリオンの微粒子計測器の解説とFAQによる。仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページ・カタログの記載。

LIST

パーティクルカウンターの比較表

コストは、値段を公開している製品どうしで比べています。値段を出していない製品は「要見積」。

CSV

パーティクルカウンター12製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

ハンディ型⁠(気中)

4製品
アリアテクニカ株式会社ハンドヘルドパーティクルカウンター APH036P1値段を見て選びたいハンディ測定口コミを書く514,800円税込

値段を公開しているハンディ型で、6粒径のAPH036P1は514,800円(税込)⁠で⁠す⁠。本体に15,000データを残せ、BLEとLANでリモート操作もできます。電池で4時間続けて測れます。

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・3.0・5.0・10.0 μm
流量
2.83 L/min(自動流量制御)
最大濃度
4,000,000個/ft³(計数損失5%⁠⁠⁠以内)
光源
レーザーダイオード
規格
ISO 21501-4、JIS B 9921
データ
15,000データ
通信
LAN、BLE、USB
電源
ACアダプター(AC100〜240 V)、リチウムイオン電池
大きさ
197×92×48 mm(H×W×D)
質量
809 g
特長
電池で連続4時間
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
日本カノマックス株式会社Model 3889製薬・食品工場の環境モニタリング口コミを書く要見積

FDA 21 CFR Part11に合わせ、ユーザー管理・操作履歴のログ・改ざんしにくいデータ保存を持つハンディ型です。データは最大10,000個までCSVで残せます。別売の台座を使うと、Wi‑FiやEthernetでパソコンから操作できます。

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・3.0・5.0・10.0 μm(6粒径)
流量
2.83 L/min
最大濃度
2,000,000個/cf(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
規格
ISO 21501-4、JIS B 9921
データ
最大10,000個、CSV形式
通信
USB(別売の台座でEthernet・Wi‑Fi・RS485⁠)
電源
Li-ion充電池、ACアダプター(100〜240 V)
大きさ
100×213×55 mm(W×H×D)
質量
650 g(電池を含まない)
特長
FDA 21 CFR Part11に準拠
記載なし
光源
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
ベックマン・コールター株式会社MET ONE HHPC 6+クリーンルームの抜き取り点検口コミを書く要見積

0.3 μmで計数効率50%、0.45 μmより大きい粒子は100%で数えるハンディ型です。データは10,000⁠件まで残せ、電池は通常の使い方で10時間以上もちます。ゼロカウントはJIS B 9921に適合しています。

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
6チャンネル
流量
2.83 L/min
最大濃度
4,000,000個/ft³(計数損失10%)
規格
ゼロカウントはJIS B 9921に適合
データ
10,000件
電源
リチウムイオン電池(通常の使い方で10時間以上)
大きさ
幅27×奥行10×高さ5.3 cm
質量
0.7 kg
特長
計数効率は0.3 μmで50%、0.45 μm超で100%
記載なし
光源・⁠⁠⁠通信
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
リオン株式会社KC-52A製薬工場の点検を手で持って測る口コミを書く要見積

データの改ざんを防ぐPDF出力とオーディットトレイルを積んだ、リオンのハンディ型の上位機です。0.3〜10 μmを6段階に分け、2.83 L/minで吸って数えます。高精細のカラー液晶で、リアルタイムと履歴のグラフを本体で見られます。

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1・2・5・10 μm(6段階)
流量
2.83 L/min
最大濃度
140,000,000個/m³(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ(780 nm)
規格
ISO 21501-4(JIS B 9921)
データ
PDF出力、オーディットトレイル
電源
内蔵バッテリ、ACアダプタ(AC100〜240 V)
大きさ
約307×93×54 mm(H×W×D)
質量
約680 g
特長
リアルタイムと履歴のグラフ表示
記載なし
通信
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

ポータブル型(大流量)

3製品
スペクトリス株式会社Lasair Pro医薬品の無菌区域の清浄度評価口コミを書く要見積

流量を28.3・50・100 L/minの3つのモデルから選べる持ち運び型です。手袋のままさわれるタッチパネルとNFCカードで、測る人の入力を減らせます。サンプル10,000⁠件と監査証跡30,000⁠件を本体に残せます。

種類
ポータブル型(大流量)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
8チャンネル、またはファーマモード(0.5・5.0 μm)
流量
28.3・50・100 L/min(モデル310・350・5100⁠)
規格
ISO 14644:2015に準じた清浄度の検証
データ
サンプル10,000件、監査証跡30,000件
通信
USB‑A、PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、4〜20 mA、NFC
大きさ
幅256.5×奥行256.2×高さ245.5 mm
質量
5.4 kg(バッテリなし)、6.4 kg(バッテリ2個⁠)
特長
FDA 21 CFR Part 11・EU GMP Annex 11に沿ったデータ管理
記載なし
最大濃度・光源・⁠⁠⁠電源
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
日本カノマックス株式会社Model 3910清浄度の高い部屋のスポット測定口コミを書く要見積

50.0 L/minの大流量で、清浄度の高い部屋を測る持ち運び型です。クリーンルームの図面を本体に読み込み、測定点と測る内容を登録して呼び出せます。別売のプローブで、風速・温湿度・差圧も一緒に測れます。

種類
ポータブル型(大流量)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・3.0・5.0・10.0 μm(6粒径)
流量
50.0 L/min
最大濃度
500,000個/cf(コインシデンスエラー5%以下)
規格
ISO 21501-⁠4
通信
イーサネット
電源
リチウムイオン電池、ACアダプター(100〜240 V)
大きさ
200×200×205 mm(W×H×D)
質量
5.5 kg(電池1個⁠)
特長
風速・温湿度・差圧のプローブをつなげる
記載なし
光源・データ
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
リオン株式会社KC-⁠31医薬品工場の清浄度クラスの評価口コミを書く要見積

28.3 L/minの大流量を、バッテリで動かせる持ち運び型です。筐体はステンレスで、消毒の薬品に強くしています。21CFR Part11に合わせ、権限ごとに操作を分けて履歴を確かめられます。

種類
ポータブル型(大流量)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・2.0・5.0・10.0 μm(6段階)
流量
28.3 L/min
最大濃度
28,000,000個/m³(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ(780 nm)
規格
ISO 21501-4(JIS B 9921)
データ
約5,000回分、USBメモリへコピー
電源
リチウムイオン電池、ACアダプタ(AC100〜240 V)
大きさ
約203×260×266 mm(H×W×D)
質量
約5.5 kg(バッテリ1個⁠)
特長
21CFR Part11に対応
記載なし
通信
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

リモート型(常時監視)

3製品
アリアテクニカ株式会社リモートパーティクルセンサー APS132P1クリーンルームの常時監視口コミを書く要見積

ブロアを内蔵し、28.3 L/minを自動で保ちながら測り続けるリモート型です。4〜20 mAのアナログ出力を2チャンネル持ち、Modbusで監視の画面へ数字を送れます。本体の液晶で、全粒径の個数を同時に見られます。

種類
リモート型(常時監視)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3 μm固定+0.5〜7.0 μmから選ぶ(標準2粒径・最大6粒径)
流量
28.3 L/min(自動フロー制御)
光源
半導体レーザー
データ
3,000レコード
通信
Modbus TCP/IP、Modbus RTU
電源
DC12〜24 V
大きさ
195×127×122 mm(W×H×D)
質量
2.48 kg(本体のみ)
特長
4〜20 mAのアナログ出力を2チャンネル
記載なし
最大濃度・⁠⁠⁠規格
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
スペクトリス株式会社IsoAir Pro-⁠E無菌の製造区域の常時監視口コミを書く要見積

LANケーブル1本で電源と通信をまかなえる、ブロワ内蔵の据え置き型です。防塵・防水はIP65なので、拭き掃除や除染をする部屋の中に付けられます。ブロワやプローブの異常を見つけると、自分で止まります。

種類
リモート型(常時監視)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3〜25.0 μmの8チャンネル、または製薬モード(0.5・5.0 μm)
流量
28.3 L/min
データ
3,000件
通信
PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、NFC
電源
PoE受電
大きさ
幅220×奥行101×高さ188 mm
質量
3.67 kg
特長
防塵・防水IP65
記載なし
最大濃度・光源・⁠⁠⁠規格
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
リオン株式会社KC-⁠24半導体のスーパークリーンの評価口コミを書く要見積

0.1 μmの粒子を28.3 L/minで数えられる据え置き型です。半導体のスーパークリーンの評価や、フィルタのリーク試験に使います。リオンの多点モニタリングシステムに組み込んで、測り続けられます。

種類
リモート型(常時監視)
最小可測粒径
0.1 μm
粒径区分
0.1・0.15・0.2・0.3・0.5 μm(5段階)
流量
28.3 L/min
最大濃度
2,000,000個/m³(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ励起固体レーザ(1064 nm)
規格
ISO 21501-4(JIS B 9921)
データ
CFカード
通信
多点モニタリングシステムに組み込める
電源
AC100〜240 V
大きさ
約280×320×450 mm(H×W×D)
質量
約19.4 kg
特長
スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

液中パーティクルカウンター

2製品
スペクトリス株式会社Ultra DI 20 Plus半導体工場の超純水の監視口コミを書く要見積

超純水の配管につなぎ、20 nmの粒子まで流しながら数えるインライン型です。粒径は20・50・70・100 nmの4つに分け、75 mL/minで測ります。熱電冷却器を積み、筐体はステンレス鋼です。

種類
液中パーティクルカウンター
最小可測粒径
20 nm
粒径区分
20・50・70・100 nm(⁠4チャンネル⁠)
流量
75 mL/min
通信
PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、4〜20 mA、RS‑232
大きさ
奥行508×幅427×高さ368 mm
質量
32.2 kg
特長
超純水のインライン監視
記載なし
最大濃度・光源・規格・データ・⁠⁠⁠電源
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
リオン株式会社KS-42B半導体の薬液の粒子管理口コミを書く要見積

液体の中の0.2 μmの粒子を数える液中パーティクルセンサです。粒子を全部とらえる全量検出なので、少ない試料で測れます。セルは石英で、接液部は合成石英・PFA・PTFEです。

種類
液中パーティクルカウンター
最小可測粒径
0.2 μm
粒径区分
0.2〜2 μmで10段階(出荷時は0.2・0.3・0.5・1・2 μm)
流量
10 mL/min
最大濃度
1,200個/mL(計数損失5%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ(780 nm)
電源
DC12 V(KE-40B1から供給)
大きさ
約125×240×151 mm(H×W×D)
質量
約3.2 kg
特長
接液部は合成石英・PFA・PTFE
記載なし
規格・データ・⁠⁠⁠通信
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

ハンディ型⁠(気中)4製品

アリアテクニカ株式会社

ハンドヘルドパーティクルカウンター APH036P1

値段を見て選びたいハンディ測定

値段を公開しているハンディ型で、6粒径のAPH036P1は514,800円(税込)⁠で⁠す⁠。本体に15,000データを残せ、BLEとLANでリモート操作もできます。電池で4時間続けて測れます。

コスト514,800円税込

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・3.0・5.0・10.0 μm
流量
2.83 L/min(自動流量制御)
最大濃度
4,000,000個/ft³(計数損失5%⁠⁠⁠以内)
光源
レーザーダイオード
規格
ISO 21501-4、JIS B 9921
データ
15,000データ
通信
LAN、BLE、USB
電源
ACアダプター(AC100〜240 V)、リチウムイオン電池
大きさ
197×92×48 mm(H×W×D)
質量
809 g
特長
電池で連続4時間
公式ページへ
日本カノマックス株式会社

Model 3889

製薬・食品工場の環境モニタリング

FDA 21 CFR Part11に合わせ、ユーザー管理・操作履歴のログ・改ざんしにくいデータ保存を持つハンディ型です。データは最大10,000個までCSVで残せます。別売の台座を使うと、Wi‑FiやEthernetでパソコンから操作できます。

コスト要見積

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・3.0・5.0・10.0 μm(6粒径)
流量
2.83 L/min
最大濃度
2,000,000個/cf(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
規格
ISO 21501-4、JIS B 9921
データ
最大10,000個、CSV形式
通信
USB(別売の台座でEthernet・Wi‑Fi・RS485⁠)
電源
Li-ion充電池、ACアダプター(100〜240 V)
大きさ
100×213×55 mm(W×H×D)
質量
650 g(電池を含まない)
特長
FDA 21 CFR Part11に準拠
記載なし
光源
公式ページへ
ベックマン・コールター株式会社

MET ONE HHPC 6+

クリーンルームの抜き取り点検

0.3 μmで計数効率50%、0.45 μmより大きい粒子は100%で数えるハンディ型です。データは10,000⁠件まで残せ、電池は通常の使い方で10時間以上もちます。ゼロカウントはJIS B 9921に適合しています。

コスト要見積

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
6チャンネル
流量
2.83 L/min
最大濃度
4,000,000個/ft³(計数損失10%)
規格
ゼロカウントはJIS B 9921に適合
データ
10,000件
電源
リチウムイオン電池(通常の使い方で10時間以上)
大きさ
幅27×奥行10×高さ5.3 cm
質量
0.7 kg
特長
計数効率は0.3 μmで50%、0.45 μm超で100%
記載なし
光源・⁠⁠⁠通信
公式ページへ
リオン株式会社

KC-52A

製薬工場の点検を手で持って測る

データの改ざんを防ぐPDF出力とオーディットトレイルを積んだ、リオンのハンディ型の上位機です。0.3〜10 μmを6段階に分け、2.83 L/minで吸って数えます。高精細のカラー液晶で、リアルタイムと履歴のグラフを本体で見られます。

コスト要見積

種類
ハンディ型⁠(気中)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1・2・5・10 μm(6段階)
流量
2.83 L/min
最大濃度
140,000,000個/m³(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ(780 nm)
規格
ISO 21501-4(JIS B 9921)
データ
PDF出力、オーディットトレイル
電源
内蔵バッテリ、ACアダプタ(AC100〜240 V)
大きさ
約307×93×54 mm(H×W×D)
質量
約680 g
特長
リアルタイムと履歴のグラフ表示
記載なし
通信
公式ページへ

ポータブル型(大流量)3製品

スペクトリス株式会社

Lasair Pro

医薬品の無菌区域の清浄度評価

流量を28.3・50・100 L/minの3つのモデルから選べる持ち運び型です。手袋のままさわれるタッチパネルとNFCカードで、測る人の入力を減らせます。サンプル10,000⁠件と監査証跡30,000⁠件を本体に残せます。

コスト要見積

種類
ポータブル型(大流量)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
8チャンネル、またはファーマモード(0.5・5.0 μm)
流量
28.3・50・100 L/min(モデル310・350・5100⁠)
規格
ISO 14644:2015に準じた清浄度の検証
データ
サンプル10,000件、監査証跡30,000件
通信
USB‑A、PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、4〜20 mA、NFC
大きさ
幅256.5×奥行256.2×高さ245.5 mm
質量
5.4 kg(バッテリなし)、6.4 kg(バッテリ2個⁠)
特長
FDA 21 CFR Part 11・EU GMP Annex 11に沿ったデータ管理
記載なし
最大濃度・光源・⁠⁠⁠電源
公式ページへ
日本カノマックス株式会社

Model 3910

清浄度の高い部屋のスポット測定

50.0 L/minの大流量で、清浄度の高い部屋を測る持ち運び型です。クリーンルームの図面を本体に読み込み、測定点と測る内容を登録して呼び出せます。別売のプローブで、風速・温湿度・差圧も一緒に測れます。

コスト要見積

種類
ポータブル型(大流量)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・3.0・5.0・10.0 μm(6粒径)
流量
50.0 L/min
最大濃度
500,000個/cf(コインシデンスエラー5%以下)
規格
ISO 21501-⁠4
通信
イーサネット
電源
リチウムイオン電池、ACアダプター(100〜240 V)
大きさ
200×200×205 mm(W×H×D)
質量
5.5 kg(電池1個⁠)
特長
風速・温湿度・差圧のプローブをつなげる
記載なし
光源・データ
公式ページへ
リオン株式会社

KC-⁠31

医薬品工場の清浄度クラスの評価

28.3 L/minの大流量を、バッテリで動かせる持ち運び型です。筐体はステンレスで、消毒の薬品に強くしています。21CFR Part11に合わせ、権限ごとに操作を分けて履歴を確かめられます。

コスト要見積

種類
ポータブル型(大流量)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3・0.5・1.0・2.0・5.0・10.0 μm(6段階)
流量
28.3 L/min
最大濃度
28,000,000個/m³(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ(780 nm)
規格
ISO 21501-4(JIS B 9921)
データ
約5,000回分、USBメモリへコピー
電源
リチウムイオン電池、ACアダプタ(AC100〜240 V)
大きさ
約203×260×266 mm(H×W×D)
質量
約5.5 kg(バッテリ1個⁠)
特長
21CFR Part11に対応
記載なし
通信
公式ページへ

リモート型(常時監視)3製品

アリアテクニカ株式会社

リモートパーティクルセンサー APS132P1

クリーンルームの常時監視

ブロアを内蔵し、28.3 L/minを自動で保ちながら測り続けるリモート型です。4〜20 mAのアナログ出力を2チャンネル持ち、Modbusで監視の画面へ数字を送れます。本体の液晶で、全粒径の個数を同時に見られます。

コスト要見積

種類
リモート型(常時監視)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3 μm固定+0.5〜7.0 μmから選ぶ(標準2粒径・最大6粒径)
流量
28.3 L/min(自動フロー制御)
光源
半導体レーザー
データ
3,000レコード
通信
Modbus TCP/IP、Modbus RTU
電源
DC12〜24 V
大きさ
195×127×122 mm(W×H×D)
質量
2.48 kg(本体のみ)
特長
4〜20 mAのアナログ出力を2チャンネル
記載なし
最大濃度・⁠⁠⁠規格
公式ページへ
スペクトリス株式会社

IsoAir Pro-⁠E

無菌の製造区域の常時監視

LANケーブル1本で電源と通信をまかなえる、ブロワ内蔵の据え置き型です。防塵・防水はIP65なので、拭き掃除や除染をする部屋の中に付けられます。ブロワやプローブの異常を見つけると、自分で止まります。

コスト要見積

種類
リモート型(常時監視)
最小可測粒径
0.3 μm
粒径区分
0.3〜25.0 μmの8チャンネル、または製薬モード(0.5・5.0 μm)
流量
28.3 L/min
データ
3,000件
通信
PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、NFC
電源
PoE受電
大きさ
幅220×奥行101×高さ188 mm
質量
3.67 kg
特長
防塵・防水IP65
記載なし
最大濃度・光源・⁠⁠⁠規格
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リオン株式会社

KC-⁠24

半導体のスーパークリーンの評価

0.1 μmの粒子を28.3 L/minで数えられる据え置き型です。半導体のスーパークリーンの評価や、フィルタのリーク試験に使います。リオンの多点モニタリングシステムに組み込んで、測り続けられます。

コスト要見積

種類
リモート型(常時監視)
最小可測粒径
0.1 μm
粒径区分
0.1・0.15・0.2・0.3・0.5 μm(5段階)
流量
28.3 L/min
最大濃度
2,000,000個/m³(計数損失10%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ励起固体レーザ(1064 nm)
規格
ISO 21501-4(JIS B 9921)
データ
CFカード
通信
多点モニタリングシステムに組み込める
電源
AC100〜240 V
大きさ
約280×320×450 mm(H×W×D)
質量
約19.4 kg
特長
スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験
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液中パーティクルカウンター2製品

スペクトリス株式会社

Ultra DI 20 Plus

半導体工場の超純水の監視

超純水の配管につなぎ、20 nmの粒子まで流しながら数えるインライン型です。粒径は20・50・70・100 nmの4つに分け、75 mL/minで測ります。熱電冷却器を積み、筐体はステンレス鋼です。

コスト要見積

種類
液中パーティクルカウンター
最小可測粒径
20 nm
粒径区分
20・50・70・100 nm(⁠4チャンネル⁠)
流量
75 mL/min
通信
PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、4〜20 mA、RS‑232
大きさ
奥行508×幅427×高さ368 mm
質量
32.2 kg
特長
超純水のインライン監視
記載なし
最大濃度・光源・規格・データ・⁠⁠⁠電源
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リオン株式会社

KS-42B

半導体の薬液の粒子管理

液体の中の0.2 μmの粒子を数える液中パーティクルセンサです。粒子を全部とらえる全量検出なので、少ない試料で測れます。セルは石英で、接液部は合成石英・PFA・PTFEです。

コスト要見積

種類
液中パーティクルカウンター
最小可測粒径
0.2 μm
粒径区分
0.2〜2 μmで10段階(出荷時は0.2・0.3・0.5・1・2 μm)
流量
10 mL/min
最大濃度
1,200個/mL(計数損失5%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ(780 nm)
電源
DC12 V(KE-40B1から供給)
大きさ
約125×240×151 mm(H×W×D)
質量
約3.2 kg
特長
接液部は合成石英・PFA・PTFE
記載なし
規格・データ・⁠⁠⁠通信
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Q&A

パーティクルカウンター選びで、よくある疑問

購買担当の疑問パーティクルカウンターの価格は、いくら?

値段を公開しているのは、アリアテクニカのハンドヘルドで、6粒径のAPH036P1が514,800円(税込)、3粒径のAPH033P1が360,800円(税込)⁠で⁠す⁠。ほかの11製品は値段を出していないので、型式と台数を決めて見積もりを取ります。リオンは商社を通して売っています。

設備担当の疑問気中パーティクルカウンターと液中パーティクルカウンターの違いは?

気中は空気を吸い込んでクリーンルームの粒子を数え、液中は薬液や超純水を流してその中の粒子を数えます。校正の方法も分かれていて、気中はJIS B 9921(ISO 21501-4)、液中はJIS B 9925(ISO 21501-2)で⁠⁠⁠⁠す⁠。

工場長の疑問流量は2.83 L/minと28.3 L/min、どちらを選ぶ?

日々の点検や場所探しなら、ハンディ型の2.83 L/minで足ります。清浄度の高い部屋でクラスを評価するなら、28.3 L/min以上のポータブル型を選びます。リオンの解説では、1点で吸う量は上限粒子数が20個になる量か、1分か2 Lの大きいほうです。

設備担当の疑問最小可測粒径は、どれを選ぶ?

測りたい清浄度クラスの粒径で選びます。ISO 14644-1の分類は0.1〜5 μmの粒径で決まり、医薬品の区域では0.5 μmと5 μmを測ります。半導体のスーパークリーンの評価には、0.1 μmまで測るリオンのKC-24があります。

総務の疑問ISO 14644-1の清浄度クラスは、どう決まる?

決めた粒径以上の粒子が1 m³にいくつあるかで、クラス1〜9に分けます。たとえばクラス5は、0.5 μm以上が3,520個/m³までです。昔の「クラス100」はFed-Std-209Eの呼び方で、この規格は2001年に廃止されています。

施設管理の疑問パーティクルカウンターの測定方法は? 測定点の数は、どう決める?

ISO 14644-1:2015では、部屋の面積で測定点の数が決まり、各点で原則として作業台の高さの空気を吸って測ります。リオンの解説の表では、面積が2 m²なら1点、24 m²なら6点、1,000 m²なら27点です。

設備担当の疑問JIS B 9921・ISO 21501-4に合っている機種を選ぶ理由は?

JIS B 9921は気中の粒子計数器の校正と検証の方法を決めた規格で、ISO 21501-4を基にしています。計数効率や偽計数、流量の誤差の決まりに沿って校正されているので、機種が違っても数字を比べやすくなります。リオンのKC-31、カノマックスの3889、アリアテクニカのAPH036P1は、公式に適合や準拠を書いています。

工場長の疑問計数損失・最大濃度とは?

粒子が多すぎると2つの粒子が同時に光を通り、1個として数えて少なく出ます。これを計数損失(同時通過損失)と呼び、最大濃度でも10%以下と決まっています。リオンのKC-52Aは140,000,000個/m³で計数損失10%以内です。

経営者の疑問医薬品工場のデータ管理(21 CFR Part 11)に合う機種は?

カノマックスの3889はFDA 21 CFR Part11に準拠し、PMSのLasair Proは21 CFR Part 11とEU GMP Annex 11に沿ったデータの保存と監査証跡を持ちます。リオンのKC-52Aも、PDF出力やオーディットトレイルでデータの改ざんを防ぎます。

施設管理の疑問校正はどれくらいの間隔で受ける?

リオンは1年に1回の校正をすすめていて、校正証明書は有償で出します。ISO 14644-1:2015でも、ISO 21501-4に基づく校正周期は1年以内が望ましいと書いています。生産が終わった機種の修理は、原則として生産終了後8年までです。

工場長の疑問圧縮エアーや配管の中のガスも測れる?

リオンのFAQでは、大気圧で使う設計のため、圧縮エアーをそのまま測るのは保証外です。PMSのLasair Proは、別売の高圧ディフューザ HPD IIIを使って不活性ガスを測れます。

TYPES

パーティクルカウンターの種類の違い

ボタンを押すと、表がその種類の製品だけになります。

ハンディ型⁠(気中)

片手で持てる大きさの気中パーティクルカウンターで、流量は2.83 L/minが中心です。電池で動き、クリーンルームの中を歩いて、作業台の上や装置のまわりを1点ずつ測ります。日々の点検や、粒子が出ている場所を探すのに使います。

向いている使い方

  • クリーンルームの日々の点検
  • 装置のまわりで粒子が出ている場所を探す
  • クリーンベンチやパスボックスの確認

根拠:清浄度のクラス表示は、ISO 14644-1により定められています(リオン)(出典1)

この種類の4製品を表で見る

ポータブル型(大流量)

28.3 L/min以上の大流量で空気を吸う持ち運び型です。吸う量が多いので、清浄度の高い部屋でも1点の測定に時間がかかりません。ISO 14644-1の清浄度クラスの評価や、医薬品工場の環境モニタリングに使います。

向いている使い方

  • ISO 14644-1の清浄度クラスを評価する
  • 医薬品の無菌区域を測る
  • HEPAフィルタのリーク試験

根拠:JIS B 9920-1は粒径0.1〜5 μmの累積個数濃度で清浄度を分類します(日本規格協会)(出典2)

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リモート型(常時監視)

部屋の壁や装置に付けたまま測り続ける気中パーティクルカウンターです。LANや4〜20 mAで監視の画面へ数字を送り、決めた値を超えると知らせます。何か所も並べて、清浄度多点監視システムを組みます。

向いている使い方

  • 製造中のクリーンルームを測り続ける
  • 無菌の充填ラインのそばで見張る
  • 何か所もの数字を1つの画面で見る

根拠:いろいろなセンサの情報を含めて統合処理を行う清浄度多点監視システムの重要性が高まっています(リオン)(出典3)

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液中パーティクルカウンター

薬液や超純水の中の粒子を数えるパーティクルカウンターです。液を流しながら光を当てて数え、半導体の洗浄の薬液や超純水、フォトレジストの粒子の管理に使います。配管につないで流しながら測るインライン型と、試料を取って測る型があります。

向いている使い方

  • 半導体の洗浄の薬液を管理する
  • 超純水の配管で測り続ける
  • 受け入れた薬液を検査する

根拠:液中パーティクルカウンタは、半導体用高純度化学薬品やフォトレジストなどの粒子管理や、超純水の粒子管理に用いられます(リオン)(出典4)

この種類の2製品を表で見る

この比較表のデータ:CSV・JSON(出典を明記すれば引用できます)

掲載基準と並び順

掲載基準:クリーンルーム、半導体・電子部品、医薬品、食品の工場で、空気や薬液・超純水の清浄度を管理するために使う業務用のパーティクルカウンター(光散乱式の気中粒子計数器・液中粒子計数器⁠)に限ります。気中は、手で持つハンディ型、28.3 L/min以上の大流量で測るポータブル型、部屋や装置に付けて測り続けるリモート型(常時監視)に分け、液中は薬液・超純水用を載せています。メーカーが自社で作るか、日本法人(日本の事業部)が自社グループの製品として売り、公式サイトで今案内している製品だけです。PMS(Particle Measuring Systems⁠)⁠の製品は、日本法人スペクトリス株式会社のPMS事業部が扱うものとして載せています。PM2.5などの大気の粉じん計・デジタル粉じん計(別の比較で扱います)、油圧作動油の汚染度を測る油中パーティクルカウンター、生物粒子計数器(微生物)、凝縮粒子計数器(CPC)、クリーンブース、空気清浄機、家庭用の空気質モニター、清浄度の測定サービスだけのもの、中古品、代理店や商社が売る他社製品は除いています。TSI(AeroTrak)は日本法人を公式資料で確かめられず、パーティクルプラスとフルークは公式サイトがこちらからの自動取得を拒むため、今回は載せていません。各社1〜3製品の代表機種を載せています。

並び順:種類ごとに分け、その中はメーカー名の五十音順です。おすすめ順ではなく、掲載料で順番は変えません。

パーティクルカウンターを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

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