Ultra DI 20 Plusスペクトリス株式会社

仕様

向いている所：半導体工場の超純水の監視

種類

液中パーティクルカウンター

最小可測粒径

20 nm

粒径区分

20・50・70・100 nm（⁠4チャンネル⁠）

流量

75 mL/min

最大濃度

—公式資料で確認できず

光源

—公式資料で確認できず

規格

—公式資料で確認できず

データ

—公式資料で確認できず

通信

PMS TCP/IP、Modbus TCP/IP、4〜20 mA、RS‑232

電源

—公式資料で確認できず

大きさ

奥行508×幅427×高さ368 mm

質量

32.2 kg

価格

—公式資料で確認できず

特長

超純水のインライン監視

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

PMS（Particle Measuring Systems⁠）⁠の製品。50 nmのUltra DI 50もある。

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